EVG®610 掩模对准系统

■   晶圆规格

：100 mm / 150 mm / 200 mm

■   顶/底部对准精度达到 ± 0.5 μm / ± 1.0 μm

■   用于双面对准高/分辨率顶部和底部分裂场显微镜

■   软件，硬件，真空和接近式曝光

■   自动楔形补偿

■   键合对准和NIL可选

■   支持**/新的UV-LED技术

EVG®620 NT / EVG®6200 NT

掩模对准系统（自动化和半自动化）

■   晶圆产品规格

：150 mm / 200 mm

■   接近式楔形错误补偿

■   多种规格晶圆转换时间少于5分钟

■   初次印刷高达180 wph / 自动对准模式为140 wph

■   可选**的抗震型花岗岩平台

■   动态对准实时补偿偏移

■   支持**/新的UV-LED技术 在全球范围内，我们为许多用户提供了量产型的光刻机系统，并得到了他们的无数好评。LED光刻机质保期多久

这使得可以在工业水平上开发新的设备或工艺，这不仅需要高度的灵活性，而且需要可控和可重复的处理。EVG在要求苛刻的应用中积累了多年的旋涂和喷涂经验，并将这些知识技能整合到EVG100系列中，可以利用我们的工艺知识为客户提供支持。

光刻胶处理设备有：EVG101光刻胶处理，EVG105光刻胶烘焙机，EVG120光刻胶处理自动化系统；EVG150 光刻胶处理自动化系统。如果您需要了解每个型号的特点和参数，请联系我们，我们会给您提供**/新的资料?；蛘叻梦饰颐堑墓偻袢∠喙匦畔?。

功率器件光刻机应用EVG所有光刻设备平台均为300mm。

EVG ® 150光刻胶处理系统技术数据：

?？槭?

工艺?？椋?

烘烤/冷却?？椋?*多20个

工业自动化功能：

Ergo装载盒式工作站/ SMIF装载端口/ SECS / GEM / FOUP装载端口

智能过程控制和数据分析功能（框架软件平台）

用于过程和机器控制的集成分析功能

并行任务/排队任务处理功能

设备和过程性能跟/踪功能

智能处理功能

事/故和警报分析/智能维护管理和跟/踪

晶圆直径（基板尺寸）：高达300毫米

可用?？椋?

旋涂/ OmniSpray ® /开发

烘烤/冷却

晶圆处理选项：

单/双EE /边缘处理/晶圆翻转

弯曲/翘曲/薄晶圆处理

光刻机处理结果:EVG在光刻技术方面的核心竞争力在于其掩模对准系统（EVG6xx和IQ Aligner系列）以及高度集成的涂层平台（EVG1xx系列）的高吞吐量的接近和接触曝光能力。EVG的所有光刻设备平台均为300mm，可完全集成到HERCULES光刻轨道系统中，并辅以其用于从上到下侧对准验证的计量工具。高级封装：在EVG®IQAligner®上结合NanoSpray?曝光的涂层TSV底部开口 ；在EVG的IQ

Aligner NT®上进行撞击40μm厚抗蚀剂；负侧壁，带有金属兼容的剥离抗蚀剂涂层; 金属垫在结构的中间；用于LIGA结构的高纵横比结构，用EVG® IQ Aligner®曝光200μm厚的抗蚀剂的结果；西门子星状测试图暴露在EVG®6200NT上，展示了高/分辨率的厚抗蚀剂图形处理能力；MEMS结构在20μm厚的抗蚀剂图形化的结果。 HERCULES平台是“一站式服务”平台。

曝光光学：提供不同配置的曝光光学系统，旨在实现任何应用的**/大灵活性。汞灯曝光光学系统针对150，200和300 mm基片进行了优化，可与各种滤光片一起用于窄带曝光要求，例如i-，g-和h-线滤光片，甚至还有深紫外线。 IQ Aligner NT 光刻机系统使用零辅助桥接工具-双基片，支持200mm和300mm尺寸的晶圆。甘肃IQ Aligner NT光刻机

可以在EVG105烘烤?？樯现葱腥砗婵?、曝光后烘烤和硬烘烤操作。LED光刻机质保期多久

EVG ® 150特征2：

先进且经过现场验证的机器人具有双末端执行器功能，可确保连续的高产量

处理厚或超薄，易碎，弯曲或小直径的晶圆

用于旋涂和喷涂，显影，烘烤和冷却的多功能模块的多功能组合为许多应用领域提供了巨大的机会

EFEM（设备前端?？椋┖涂裳〉腇SS（FOUP存储系统）

工艺技术卓/越和开发服务：

多用户概念（无限数量的用户帐户和程序，可分配的访问权限，不同的用户界面语言）

智能过程控制和数据分析功能[Framework SW Platform]

用于过程和机器控制的集成分析功能

设备和过程性能跟/踪功能

并行/排队任务处理功能

智能处理功能

发生和警报分析

智能维护管理和跟/踪

LED光刻机质保期多久

岱美仪器技术服务（上海）有限公司专注技术创新和产品研发，发展规模团队不断壮大。目前我公司在职员工以90后为主，是一个有活力有能力有创新精神的团队。诚实、守信是对企业的经营要求，也是我们做人的基本准则。公司致力于打造***的磁记录，半导体，光通讯生产，测试仪器的批发。一直以来公司坚持以客户为中心、磁记录，半导体，光通讯生产，测试仪器的批发市场为导向，重信誉，保质量，想客户之所想，急用户之所急，全力以赴满足客户的一切需要。