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高精密仪器隔振台干涉测量应用

来源: 发布时间:2021-08-01

LFS控制单元上的每个D-Sub15插座都有4个对应于AVI元件的开关输出,这些AVI元件以任意4个矩形方向(即平行或直角)放置,不允许其他方向。

面向LFS传感器的蓝色LED直立。将***个AVI元件连接到后面板上的12个D-Sub15插座中的任何一个。使用笔在位置A和D之间滑动开关。

传感器的位置:

传感器可以移动到任何所需位置。它可能位于负载下方或外部,但必须位于支持AVI元件的同一表面上。连接后,传感器与AVI单元的方向必须保持不变。

支承面刚度:

支承面的刚度很重要。水平传感器无法区分水平加速度和倾斜。因此,LFS和AVI元件所在的支承面必须尽可能坚硬,以便在附近移动时不会明显倾斜。倾斜将导致传感器输出饱和,隔离将失效。 主动防振台通过电气控制,向传入振动瞬间施加反方向的力,从而消除振动。高精密仪器隔振台干涉测量应用

AVI400-M

AVI 400-M的基本配置包括两个紧凑型隔振模块和一个控制单元,比较大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量,可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI400-M适应用户特定的应用,可以使用不同长度的紧凑型装置。


AVI 400-M的隔离始于1,2 Hz,超过10HZ以上迅速增加至35 db

减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能

AVI 400-M系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性

AVI 400-M的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式

AVI 400-M紧凑型装置不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单,友好的概念-因此,在装置上放置沉重的设备(例如SEM)时,避免了任何复杂的过程。


技术指标:

频率:  1.2-200Hz

负载范围:  0-800公斤

(单件): 400公斤 芯片隔振台参数TS-140结合了久经考验的技术***性与优雅且对用户友好的设计。

AVI单元和传感器的方向

隔离单元和LFS传感器必须正确安装,这一点很重要取向!LFS控制单元上的每个D-Sub15插座都有4个对应于AVI的开关输出以任意4个矩形方向(即平行或成直角)放置的元素。不允许其他方向。


为确保连接正确,请按照下列步骤操作:

面向LFS传感器的蓝色LED站立。 将***个AVI元素连接到以下任意一个后面板上的12个D-Sub15插座。用笔滑动开关在位置A和D之间。



所有AVI元素必须连接到LFS单元上的插槽。正确的开关位置对于获得良好的性能至关重要隔离。



地板上没有AVI产品加速度的数据。(图中横坐标为频率,纵坐标为加速度)

加上AVI产品开启隔振功能后,加速度的数据。(图中横坐标为频率,纵坐标为加速度)

Herz

Low Frequency Sensor (LFS-3)低频感应器

LFS-3性能

LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz. 感应器直接放到地板上和AVI系列产品连在组成一个正向循环可以提高低频的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列产品。

如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。谢谢! 安置好后只需简单地调节弹簧即可使用。

AVI 200-M

AVI 200-M的隔离始于1,2 Hz,超过10HZ以上迅速增加至35 db

减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能

AVI 200-M系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性

AVI 200-M的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式

AVI 200-M隔振模块不需要任何大型工具即可安装。我们努力提供一种简单,友好的概念-避免在安装出现中比较复杂的过程

技术指标:

频率: 1,2-200 Hz

负载范围: 0-400公斤

(单个):  200公斤

如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。 LFS-3可以被复装到现有的AVI/LP系统中。干涉测量隔振台大型半导体设备防震台应用

垂直方向上的振动传递衰减,在承重时10hz的频率以上时,比较大可以达到40dB的衰减。高精密仪器隔振台干涉测量应用

Table Stable生产的主动式微振动控制系统AVI是一款多功能的主动式防振系统,具有**的防振单元和控制器。

可能有多种变化,例如将其用作电子显微镜(SEM)的隔振台,或与光学平台结合使用的高性能光学实验台。


特点:

?通过主动控制没有共振点,可以防止低频范围的振动。

?安装时不需要参数调整,安装后可以立即使用。-由于不使用空气弹簧,因此不需要空气弹簧。

?振动状态一目了然。

(可以目视观察控制器的每个LED闪烁单元的振动状态。)

-加速度信号可以从外部输出。

(通过将BNC连接器连接到示波器,可以看到活动对象正在正常工作。 高精密仪器隔振台干涉测量应用

岱美仪器技术服务(上海)有限公司致力于仪器仪表,是一家其他型公司。公司业务分为磁记录,半导体,光通讯生产,测试仪器的批发等,目前不断进行创新和服务改进,为客户提供良好的产品和服务。公司将不断增强企业重点竞争力,努力学习行业知识,遵守行业规范,植根于仪器仪表行业的发展。岱美仪器技术服务秉承“客户为尊、服务为荣、创意为先、技术为实”的经营理念,全力打造公司的重点竞争力。

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