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晶圆轮廓仪应用

来源: 发布时间:2021-06-10

1.5. 系统培训的注意事项

    如何使用电子书阅读软件和软、硬件的操作手册;

    数据采集功能的讲解:通讯端口、连接计算器、等待时间等参数的解释和参数设置;

    实际演示一一讲解;

    如何做好备份和恢复备份资料;

    当场演示各种报表的操作并进行操作解说;

    数据库文件应定时作备份,大变动时更应做好备份以防止系统重新安装时造成资料数据库的流失;

    在系统培训过程中如要输入一些临时数据应在培训结束后及时删除这些资料。

    备注:系统培训完成后应请顾客详细阅读软件操作手册,并留下公司“客户服务中心”的电话与个人名片,以方便顾客电话联系咨询。 产能 : 45s/点 (移动 + 聚焦 + 测量)(扫描范围 50um)。晶圆轮廓仪应用

如何正确使用轮廓仪

准备工作

1.测量前准备。

2.开启电脑、打开机器电源开关、检查机器启动是否正常。

3.擦净工件被测表面。

测量

1.将测针正确、平稳、可靠地移动在工件被测表面上。

2.工件固定确认工件不会出现松动或者其它因素导致测针与工件相撞的情况出现

3.在仪器上设置所需的测量条件。

4.开始测量。测量过程中不可触摸工件更不可人为震动桌子的情况产生。

5.测量完毕,根据图纸对结果进行分析,标出结果,并保存、打印。


轮廓的角度处理:  

角度处理:两直线夹角、直线与Y轴夹角、直线与X轴夹角点线处理:两直线交点、交点到直线距离、交点到交点距离、交点到圆心距离、交点到点距离圆处理:圆心距离、圆心到直线的距离、交点到圆心的距离、直线到切点的距离线处理:直线度、凸度、LG凸度、对数曲线


联电轮廓仪供应商家传统光学显微镜的图像包含清晰和模糊的细节.

NanoX-8000轮廓仪的自动化系统主要配置 :

? XY比较大行程650*650mm

? 支持415*510mm/510*610mm两种尺寸

? XY光栅分辨率 0.1um,定位精度 5um,重复精度

1um

? XY 平台比较大移动速度:200mm/s

? Z 轴聚焦:100mm行程自动聚焦,0.1um移动步进

? 隔振系统:集成气浮隔振 + 大理石基石

? 配置真空台面

? 配置Barcode 扫描板边二维码,可自动识别产品信息

? 主设备尺寸:1290(W)x1390(D)x2190(H) mm


如果想要了解更加详细的产品信息,请联系我们岱美仪器技术服务有限公司。

三、涵盖面广的2D、3D形貌参数分析:

  表面三维轮廓仪可测量300余种2D、3D参数,无论加工的物件使用哪一种评定标准,都可以提供***的检测结果作为评定依据,可轻松获取被测物件精确的线粗糙度、面粗糙度、轮廓度等参数。

四、稳定性强,高重复性:

  仪器运用高性能内部抗震设计,不受外部环境影响测量的准确性。超精密的Z向扫描??楹筒饬咳砑昝澜岷希Vじ咧馗葱?,将测量误差降低到亚纳米级别。


 三维表面轮廓仪是精密加工领域必不可少的检测设备,它既保障了生产加工的准确性,又提高了成品的出产效率,满足用户对各项2D,3D参数检测需求的同时,依然能够保持高重复性,高稳定性的运行,其对精密加工所产生的的作用是举足轻重的。 摈弃传统检测方法耗时耗力,精确度低的缺点,**提高加工效率。

轮廓仪的自动拼接功能:

条件: 被测区域明显大于视场的区域,使用自动图片拼接。  

需要点击自动拼接, 轮廓仪会把移动路径上的拍图自动拼接起来。

软件会自适应计算路径上移动的偏差,自动消除移动中偏差,减小误差。

但是误差是一定存在的。



白光轮廓仪的典型应用:

对各种产品,不见和材料表面的平面度,粗糙度,波温度,面型轮廓,表面缺 陷,磨损情况,腐蚀情况,孔隙间隙,台阶高度,完全变形情况,加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。  


表面三维评定参数由于能更***,更真实的反应零件表面的特征。欧洲轮廓仪供应商

反射光通过MPD的***减小到聚焦的部分落在CCD相机上。晶圆轮廓仪应用

轮廓仪产品概述:  

NanoX-2000/3000

系列 3D 光学干涉轮廓仪建立在移相干涉测量(PSI)、白光垂直扫描干涉测量(VSI)和单色光

垂直扫描干涉测量(CSI)等技术的基础上,以其纳米级测量准确度和重复性(稳定性)定量地反映出被测件的表面粗

糙度、表面轮廓、台阶高度、关键部位的尺寸及其形貌特征等。广泛应用于集成电路制造、MEMS、航空航天、精密加

工、表面工程技术、材料、太阳能电池技术等领域。


想要了解更多的信息,请联系我们岱美仪器。 晶圆轮廓仪应用

岱美仪器技术服务(上海)有限公司总部位于中国(上海)自由贸易试验区加太路39号第五层六十五部位,是一家磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理(拍卖除外)及其相关配套服务,国际贸易、转口贸易,商务信息咨询服务。 【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理(拍卖除外)及其相关配套服务,国际贸易、转口贸易,商务信息咨询服务。 【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】的公司。岱美仪器技术服务作为磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理(拍卖除外)及其相关配套服务,国际贸易、转口贸易,商务信息咨询服务。 【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理(拍卖除外)及其相关配套服务,国际贸易、转口贸易,商务信息咨询服务。 【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】的企业之一,为客户提供良好的磁记录,半导体,光通讯生产,测试仪器的批发。岱美仪器技术服务始终以本分踏实的精神和必胜的信念,影响并带动团队取得成功。岱美仪器技术服务始终关注自身,在风云变化的时代,对自身的建设毫不懈怠,高度的专注与执着使岱美仪器技术服务在行业的从容而自信。

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