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衬底隔振台应用

来源: 发布时间:2021-03-29

TS-140+40

TS-140 +40结合了久经考验的技术特点与优雅且用户友好的设计

这种中型动态隔振系统非常适合所有需要顶板上空间比TS-150更大的应用。

在公制(M6 x 25mm)或非公制网格上钻孔的顶板可将各种设备安装在隔离的桌面上。


TS-140 +40结合了久经考验的技术***性与优雅且用户友好的设计

TS-140 +40的隔离始于0.7 Hz,超过10Hz后迅速增加至40db

缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多

TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性

TS 140 +40的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式

精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平

遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”

用户友好,实用的操作优势是创新建筑理念的结果

TS-140 +40的高度*84毫米

TS 140 +40的重量*为28.5千克 励磁箱允许将激励信号施加到TS隔离系统,以便该系统可以在任何方向上用作振动器。衬底隔振台应用

LFS控制单元上的每个D-Sub15插座都有4个对应于AVI元件的开关输出,这些AVI元件以任意4个矩形方向(即平行或直角)放置,不允许其他方向。

面向LFS传感器的蓝色LED直立。将***个AVI元件连接到后面板上的12个D-Sub15插座中的任何一个。使用笔在位置A和D之间滑动开关。

传感器的位置:

传感器可以移动到任何所需位置。它可能位于负载下方或外部,但必须位于支持AVI元件的同一表面上。连接后,传感器与AVI单元的方向必须保持不变。

支承面刚度:

支承面的刚度很重要。水平传感器无法区分水平加速度和倾斜。因此,LFS和AVI元件所在的支承面必须尽可能坚硬,以便在附近移动时不会明显倾斜。倾斜将导致传感器输出饱和,隔离将失效。 半导体隔振台供应商家AVI 400-M紧凑型装置不需要任何大型安装工具。

关键词:主动式隔震台、主动式隔振台、主动式防振台、防振台、AVI、Herz、Tablestable、


·AVI系列振动传递率


横坐标为频率,纵坐标为传递率的数据,在10hz频率以上时,传递率的数据小于0.02,很好地起到了隔振作用。

AVI承载不同重量时不同方向上振动衰减的数据(实验室实验数据)

垂直方向上的振动传递衰减,在承重时10hz的频率以上时,比较大可以达到40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。


AVI400-S

AVI 400-S的基本配置包括两个紧凑型单元和一个控制单元,比较大负载为800公斤。通过增加紧凑型模块的数量,可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI400-S适应用户特定的应用,可以使用不同长度的紧凑型装置。

AVI 400-S的隔离始于1,2 Hz,超过10HZ以上迅速增加至35 db

减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能

AVI 400-S系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性

AVI 400-S的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式

AVI 400-S紧凑型装置不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单,友好的概念-因此,在装置上放置沉重的设备(例如SEM)时,避免了任何复杂的过程。


技术指标:

频率: 1,2-200 Hz

负载范围: 0-800公斤

(单个): 400公斤 使用D-Sub 15M-F电缆将T-Box连接到TS的背面。无需单独的电源。通过模式开关可以选择不同的激励方向。

1、使用2 mm内六角扳手(包括在内)拆下模块端板。

2、根据扫描电镜的重量调整模块。

在每个中心柱上的横梁上方和下方应该有一个间隙,允许每侧大约有2mm的行程。

B、使用M6活动扳手(包括)转动位于支撑弹簧顶部的调整螺母。向右转动扳手可降低模块并增加上部间隙(在**止动螺母和横撑之间)。向左转动扳手可升高模块并减小上部间隙。

C、计算每个螺母的圈数;尽可能均匀地调整所有螺母。并非所有中心柱上的间隙都完全相同。

D、不要转动螺母太远,否则可能损坏系统。在任何情况下,外露螺纹不得超过10mm

3.装回模块上的端板 LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz。晶圆片隔振台代理商

Table Stable通过主动控制没有共振点,可以防止低频范围的振动。衬底隔振台应用

TS-150

TS-150结合了久经考验的技术特点和优雅且用户友好的设计

TS 150的隔离频率始于0.7 Hz,超过10Hz时迅速增加至40db

缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多

TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性

TS 150的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式

精确的**于载荷的自动高度调节机构即使在载荷发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平

遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”


频率:0,7-1000 Hz

负载范围:0-150公斤

尺寸 :400 x 450 x 78.5 毫米


TS-150结合了久经考验的技术***性和优雅且用户友好的设计。TS 150的隔离频率始于0.7 Hz,超过10Hz时迅速增加至40db缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多。

TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性。TS 150的出色性能包括所有六个平移和旋转振动模式精确的**于载荷的自动高度调节机构即使在载荷发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平。遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”用户友好,实用的操作优势是创新建筑理念的结果。

TS-150的高度*为78.5毫米

TS-150的重量*为17.5千克 衬底隔振台应用

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