客户示范

■工艺开发

■材料测试

■与合作伙伴共同研发

■资助项目

■小批量试生产

■IP管理

■过程技术许可证

■流程培训

→世界前列的洁净室基础设施

→**的设备

→技术**

→**计量

→工艺知识

→应用知识

→与NIL的工作印模材料和表面化学有关的化学专业知识

新应用程序的开发通常与设备功能的提高紧密相关。 EVG的NIL解决方案能够产生具有纳米分辨率的多种不同尺寸和形状的图案，并在显示器，生物技术和光子应用中实现了许多新的创新。

岱美作为EVG在中国区的代理商，欢迎各位联系我们，探讨纳米压印光刻的相关知识。我们愿意与您共同进步。

EVG ? 770是分步重复纳米压印光刻系统，使用分步重复纳米压印光刻技术，可进行有效的母版制作。台积电纳米压印国内用户

EVG ® 7200 LA特征：

专有SmartNIL ®技术，提供了****的印迹形大面积

经过验证的技术，具有出色的复制保真度和均匀性

多次使用的聚合物工作印模技术可延长母版使用寿命并节省大量成本

强大且精确可控的处理

与所有市售的压印材料兼容

EVG ® 7200 LA技术数据：

晶圆直径（基板尺寸）：直径200毫米（比较大Gen3）（550 x 650毫米）

解析度：40 nm-10 μm（分辨率取决于模板和工艺）

支持流程：SmartNIL ®

曝光源：大功率窄带（> 400 mW /cm2）

对准：可选的光学对准：≤±15 μm

自动分离：支持的

迷你环境和气候控制：可选的

工作印章制作：支持的

晶圆片纳米压印原理EVG ? 520 HE是热压印系统。

EV Group的一系列高精度热压花系统基于该公司市场**的晶圆键合技术。出色的压力和温度控制以及大面积上的均匀性可实现高精度的压印。热压印是一种经济高 效且灵活的制造技术，具有非常高的复制精度，可用于**小50 nm的特征尺寸。该系统非常适合将复杂的微结构和纳米结构以及高长宽比的特征压印到各种聚合物基材或旋涂聚合物中。

NILPhotonics®能力中心-支持和开发

NILPhotonics能力中心是经过验证的创新孵化器。

欢迎各位客户来样制作，验证EVG的纳米压印设备的性能。

IQ Aligner UV-NIL特征：

用于光学元件的微成型应用

用于全场纳米压印应用

三个**控制的Z轴，可在印模和基材之间实现出色的楔形补偿

三个**控制的Z轴，用于压印抗蚀剂的总厚度变化（TTV）控制

利用柔软的印章进行柔软的UV-NIL工艺

EVG专有的全自动浮雕功能

抵抗分配站集成

粘合对准和紫外线粘合功能

IQ Aligner UV-NIL技术数据：

晶圆直径（基板尺寸）：150至300毫米

解析度：≤50 nm（分辨率取决于模板和工艺）

支持流程：柔软的UV-NIL，镜片成型

曝光源：汞光源

对准：≤±0.5微米

自动分离：支持的

前处理：涂层：水坑点胶（可?。?

迷你环境和气候控制：可选的

工作印章制作：支持的

SmartNIL技术可提供功能强大的下一代光刻技术，几乎具有无限的结构尺寸和几何形状功能。

EVG ® 770特征：

微透镜用于晶片级光学器件的高 效率制造主下降到纳米结构为SmartNIL ®

简单实施不同种类的大师

可变抗蚀剂分配模式

分配，压印和脱模过程中的实时图像

用于压印和脱模的原位力控制

可选的光学楔形误差补偿

可选的自动盒带间处理

EVG ® 770技术数据：

晶圆直径（基板尺寸）：100至300毫米

解析度：≤50 nm（分辨率取决于模板和工艺）

支持流程：柔软的UV-NIL

曝光源：大功率LED（i线）> 100 mW /cm2

对准：顶侧显微镜，用于实时重叠校准≤±500 nm和精细校准≤±300 nm

较早印刷模具到模具的放置精度：≤1微米

有效印记区域：长达50 x 50毫米

自动分离：支持的

前处理：涂层：液滴分配（可?。?

SmartNIL集成多次使用的软标记处理功能，并具有显着的拥有成本的优势，同时保留可扩展性和易于维护的特点。广东纳米压印要多少钱

**小外形尺寸和大体积创新型光子结构提供了更多的自由度，这对于实现衍射光学元件（DOE）至关重要。台积电纳米压印国内用户

仪器仪表行业飞速发展一是因为我国的经济高速稳定发展的运行;按照过去的经验，如果GDP的增长在10%以上时，仪表行业的增长率则在26%～30%之间。二是因为我国宏观调控对仪表行业的影响有一个滞后期，仪表往往在工程的后期才交付使用，因此，因宏观调控政策而减少的收入对仪表行业的影响不会太大。我国现有有限责任公司企业数千多家，已经形成门类品种比较齐全，具有一定技术基础和生产规模的产业体系。但同时业内行家也指出，虽然我国测试仪器产业有了一定的发展，但远远不能满足国民经济各行各业日益增长的迫切需求。随着手机移动网络的消费潜力不断隐现，消费者利用手机消费的频率和份额逐年递增。移动互联网所隐藏的商业价值被更多地挖掘出来之后，各种传统行业（包括磁记录，半导体，光通讯生产，测试仪器的批发行业）的移动网上平台相继诞生。随着中国的不断进步，世界上只有一个救世主——市场，能救企业的只有你自己——自强，提高其他型重点竞争力才是中国制造业的独一出路。以显微科学仪器行业的发展与变化为例，以亲身的实践为例，毛磊认为，随着经济的不断发展，我国的环境和实力都发生了巨大变化，有了完全不同的基础，这为国产科学仪器走向**增强了信心。台积电纳米压印国内用户

岱美仪器技术服务（上海）有限公司总部位于中国(上海)自由贸易试验区加太路39号第五层六十五部位，是一家磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理（拍卖除外）及其相关配套服务，国际贸易、转口贸易，商务信息咨询服务。 【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理（拍卖除外）及其相关配套服务，国际贸易、转口贸易，商务信息咨询服务。 【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】的公司。岱美仪器技术服务拥有一支经验丰富、技术创新的专业研发团队，以高度的专注和执着为客户提供磁记录，半导体，光通讯生产，测试仪器的批发。岱美仪器技术服务致力于把技术上的创新展现成对用户产品上的贴心，为用户带来良好体验。岱美仪器技术服务创始人陈玲玲，始终关注客户，创新科技，竭诚为客户提供良好的服务。