TS-300结合了久经考验的技术特点和优雅且用户友好的设计
TS-300的隔离始于0.7 Hz,超过10Hz时迅速增加至40dB
缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多
TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性
TS-300的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式
精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平
遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”
如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。 AVI主动隔振系统帮助精密仪器在基础研究、应用研究、生产等方面创造稳定的测量和生产环境。除震台隔振台推荐型号
传感器位置
传感器可以移动到任何期望的位置。 它可能位于负载下方或外部,但必须位于支持AVI元素的同一表面上。 制作后连接时,传感器与AVI单元的方向必须保持不变。
支撑面的刚性
支撑表面的刚性很重要。 水平传感器无法区分在水平加速度和倾斜之间。 LFS和因此,AVI元素所在的位置必须尽可能坚硬,以使其不会明显倾斜当人们在附近移动时。 倾斜会导致传感器输出饱和并失去隔离。
运作方式
设置好并将电源连接到传感器后,就可以使用系统了。按下电源上的电源旋钮打开电源。 绿色LED将点亮。 红色LED开始闪烁,这意味着存在一些振动。现在,您可以通过按启用按钮来启用系统。 红色LED不应点亮了。 如果它们点亮,则表示系统过载且振动建筑物中存在的物体太严重。
请注意,如果未启用LFS,则它将无效。
敏感的传感器单元,请勿撞击,敲打或跌落!
1.更换SEM侧面板(如有必要)。检查隔离系统和SEM的所有电缆是否松动连接。 检查并确保没有将SEM耦合到地面或其他振动源。
2.将电源线插入控制器背面。
翻转前面板上的“ ON”开关。 按红色按钮启用活动隔离。
3.几秒钟后,使能LED指示灯将变稳定,指示系统已正确隔离。 轻轻敲击SEM时,控制器上的红灯应短暂点亮然后熄灭。
4.如果一个或多个指示灯持续亮起,或者在正常情况下指示灯不熄灭,或者如果点击不亮,则表明传感器过载。
请仔细检查以下内容:没有任何东西触及模块,连接模块和SEM的所有电缆均松弛,并且已针对负载适当调整了模块。
TS-C
TS-C系列是紧凑的动态防振系统,可隔离所有六个平移和旋转振动模式。
这些价格适中的动态振动隔离系统在体积上却比比较大,**昂贵的无源系统更好地实现了隔离。使用压电力马达的惯性反馈不仅可以隔离建筑物的振动,还可以隔离放置在系统本身上的振动源。例如,这意味着即使通过操作员的手施加了力,由系统隔离的精密显微镜也将保持静止。
该系统的固有刚度比1Hz谐振无源隔离器的固有刚度大25倍,可提供出色的方向和位置稳定性。
有源隔离系统的特性通常表现为几乎没有低频共振,这种共振困扰着所有无源隔离系统。
该系统的设计即使在低至2-3
Hz的频率下也能提供出色的隔离度,在该频率下,许多建筑物由于绕垂直轴的振荡而显示出较大的水平振幅。隔离从大约0.7Hz开始,并迅速增加到至少10Hz以外的至少40 dB。 LFS-3传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度,频率约为0.2Hz。
LFS
LFS传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度,直到频率约为0.2Hz。该传感器直接放置在地板上,并与标准AVI / LP系统结合使用在前馈环路中,以提高非常低频率的振动隔离。LFS可以改装为现有的AVI-LP系统。
LFS-3的设计、制造和测试均符合测量和控制设备的安全规定,并满足EEC指令73/23的相关要求。系统符合EEC指令89/336(电磁兼容性)
每个单独的AVI元件必须连接到传感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的实际位置并不重要,但它当然必须放置在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上D-Sub 15插座(诊断插座)连接到传感器。 振动分析系统VA-2C是带有远程测量头的系统,可轻松测量三个正交方向上的加速度,速度或位移。晶圆片隔振台学校会用吗
隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。除震台隔振台推荐型号
TS-300
TS系列产品中比较大的系列,比TS-140 / TS-150更大。
在公制(M6 x 25mm)或非公制网格上钻孔的顶板可将各种设备安装在隔离的桌面上。
频率
负载范围TS-300
负载范围TS-300LT
尺寸图
0,7-1000赫兹
0-300公斤
0-120公斤
600
x 800 x 120毫米
TS-300结合了久经考验的技术***性和优雅且用户友好的设计
TS-300的隔离始于0.7 Hz,超过10Hz时迅速增加至40dB
缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多
TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性
TS-300的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式
精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平
遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭” 除震台隔振台推荐型号
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