NanoX-8000轮廓仪的自动化系统主要配置 ：

? XY比较大行程650*650mm

? 支持415*510mm/510*610mm两种尺寸

? XY光栅分辨率 0.1um，定位精度 5um，重复精度

1um

? XY 平台比较大移动速度：200mm/s

? Z 轴聚焦：100mm行程自动聚焦，0.1um移动步进

? 隔振系统：集成气浮隔振 + 大理石基石

? 配置真空台面

? 配置Barcode 扫描板边二维码，可自动识别产品信息

? 主设备尺寸：1290(W)x1390(D)x2190(H) mm

如果想要了解更加详细的产品信息，请联系我们岱美仪器技术服务有限公司。 晶圆的IC制造过程可简单看作是将光罩上的电路图通过UV刻蚀到镀膜和感光层后的硅晶圆上这一过程。Nano X轮廓仪**样机试用

三、涵盖面广的2D、3D形貌参数分析：

  表面三维轮廓仪可测量300余种2D、3D参数，无论加工的物件使用哪一种评定标准，都可以提供***的检测结果作为评定依据，可轻松获取被测物件精确的线粗糙度、面粗糙度、轮廓度等参数。

四、稳定性强，高重复性：

  仪器运用高性能内部抗震设计，不受外部环境影响测量的准确性。超精密的Z向扫描模块和测量软件完美结合，保证高重复性，将测量误差降低到亚纳米级别。

 三维表面轮廓仪是精密加工领域必不可少的检测设备，它既保障了生产加工的准确性，又提高了成品的出产效率，满足用户对各项2D，3D参数检测需求的同时，依然能够保持高重复性，高稳定性的运行，其对精密加工所产生的的作用是举足轻重的。 Nano X轮廓仪**样机试用摈弃传统检测方法耗时耗力，精确度低的缺点，**提高加工效率。

轮廓仪的性能 

测量模式

移相干涉（PSI），白光垂直扫描干涉（VSI），单色光垂直扫描干涉（CSI）

样 品 台

150mm/200mm/300mm 样品台（可选配）

XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，倾斜：±5°

可选手动/电动样品台

CCD 相机像素

标配：1280×960

视场范围

560×750um（10×物镜）

具体视场范围取决于所配物镜及 CCD 相机

光学系统

同轴照明无限远干涉成像系统

光 源

高 效 LED

Z 方向聚焦 80mm 手动聚焦（可选电动聚焦）

Z 方向扫描范围 精密 PZT 扫描(可选择高精密机械扫描，拓展达 10mm )

纵向分辨率 ＜0.1nm

RMS 重复性* 0.005nm，1σ

台阶测量** 准确度 ≤0.75％；重复性 ≤0.1%，1σ

横向分辨率 ≥0.35um（100 倍物镜）

检测速度 ≤ 35um/sec , 与所选的 CCD 

轮廓仪的自动拼接功能：

条件： 被测区域明显大于视场的区域，使用自动图片拼接。  

需要点击自动拼接， 轮廓仪会把移动路径上的拍图自动拼接起来。

软件会自适应计算路径上移动的偏差，自动消除移动中偏差，减小误差。

但是误差是一定存在的。

白光轮廓仪的典型应用：

对各种产品，不见和材料表面的平面度，粗糙度，波温度，面型轮廓，表面缺 陷，磨损情况，腐蚀情况，孔隙间隙，台阶高度，完全变形情况，加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。  

轮廓仪可用于：散热材料表面粗糙度分析（粗糙度控制），生物、医药新技术，微流控器件。

表面三维微观形貌测量的意义

 在生产中，表面三维微观形貌对工程零件的许多技术性能的评家具有**直接的影响，而且表面三维评定参数由于能更***，更真实的反应零件表面的特征及衡量表面的质量而越来越受到重视，因此表面三维微观形貌的测量就越显重要。通过兑三维形貌的测量可以比较***的评定表面质量的优劣，进而确认加工方法的好坏以及设计要求的合理性，这样就可以反过来通过知道加工，优化加工工艺以及加工出高质量的表面，确保零件使用功能的实现。

 表面三位微观形貌的此类昂方法非常丰富，通常可分为接触时和非接触时两种，其中以非接触式测量方法为主。

轮廓仪对载物台xy行程为140*110mm（可扩展），Z向测量范围比较大可达10mm。轮廓仪优惠价格

轮廓仪可用于蓝宝石抛光工艺表面粗糙度分析（粗抛与精抛比较）。Nano X轮廓仪**样机试用

    随着时代的发展，轮廓仪也越来重要了，不少的产品检测都需要通过轮廓仪进行检测，***就让我们来了解一下轮廓仪的工作原理与应用吧。轮廓仪工作原理轮廓仪是一种双坐标测量仪器。仪器传感器相对于测量的工件台以恒定速度滑动。传感器的触针检测测量仪表的几何变化，并分别在X和Z方向上对其进行采样，并将其转换为电信号。电信号被放大和处理，然后转换成数字信号并存储在计算机系统的存储器中。计算机以数字方式过滤原始表格的轮廓，分离表面并计算粗糙度分量，测量结果为计算符号。某个曲线的实际值及其与参考点的坐标，或放大的实际轮廓曲线。测量结果通过显示器输出，也可以由打印机输出。轮廓仪应用轮廓仪***用于机械加工、汽车、摩托车、精密五金、精密工具、刀 具、模具、光学元件等行业适用于研究机构、大学、计量机构和企业计量室。在汽车，摩托车和制冷行业，它可以测量活塞，活塞销，齿轮的总线参数和汽车，摩托车和压缩机的阀门柱塞，可以测量各种倾斜部件的参数。在轴承工业中，内护套环的密封槽的形状（角度，倒角R，槽深，槽宽等）；各种滚子轴承的滚子和套圈母线的冠部，角度和对数曲线；电机轴，圆柱销，活塞销，滚针轴承，圆柱滚子轴承。Nano X轮廓仪**样机试用

岱美仪器技术服务（上海）有限公司发展规模团队不断壮大，现有一支专业技术团队，各种专业设备齐全。在岱美仪器技术服务近多年发展历史，公司旗下现有品牌岱美仪器技术服务等。我公司拥有强大的技术实力，多年来一直专注于磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理（拍卖除外）及其相关配套服务，国际贸易、转口贸易，商务信息咨询服务。 【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理（拍卖除外）及其相关配套服务，国际贸易、转口贸易，商务信息咨询服务。 【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】的发展和创新，打造高指标产品和服务。岱美仪器技术服务（上海）有限公司主营业务涵盖磁记录，半导体，光通讯生产，测试仪器的批发，坚持“质量保证、良好服务、顾客满意”的质量方针，赢得广大客户的支持和信赖。