对比项 传统滚镀 半导体滚镀 对象 小型金属零件(螺丝、纽扣等) 晶圆、芯片、微型半导体元件 精度 微米级 纳米级(≤100nm) 洁净度 普通工业环境 无尘室(Class100~1000) 工艺控制 电流/时间粗调 实时闭环控制(电流、流量、温度) 镀液类型 酸性/碱性镀液 高纯度镀液(低杂质)
大尺寸晶圆兼容:适配12英寸(300mm)晶圆,向18英寸过渡?;繁6埔海何尬?、低毒配方,减少废水处理压力。智能化集成:AI工艺优化:通过机器学习预测镀层缺陷。与CMP(化学机械抛光)、PVD设备联动,形成全自动金属化产线
半导体滚镀设备是封装与芯片制造的关键装备,通过精密旋转与镀液控制,实现纳米级金属镀层的均匀沉积。其技术在于洁净环境下的高精度工艺控制 ??榛缍粕璞钢С植厶遄杂勺楹?,可快速切换挂镀、滚镀模式,灵活适配多品种小批量生产需求。微弧氧化电镀设备价格
是电镀自动化生产系统的控制单元,主要用于协调龙门机械手、电镀槽、电源系统、液位/温度传感器等设备的运行,确保电镀工艺精细执行。
特性说明:主要电器采用西门子及三菱PLC、欧姆龙、富士电器等品牌,每一台行车可自动、半自动转换,开放式自由程序选择,智能控制管理,在电脑和人机界面触摸屏对数据实时处理及进行有效监控,设计科学合理、紧凑、自动化程度高;用于ABS塑料、汽车、五金、电子、卫浴、灯饰家电等行业 微弧氧化电镀设备价格检测设备配备 X 射线测厚仪与 pH 传感器,在线监测镀层厚度及药液参数,实时反馈并修正工艺偏差。
是一种于半导体制造中金属化工艺的精密设备,主要用于在半导体晶圆、芯片或微型元件表面沉积均匀的金属镀层。其在于通过可控的电化学或化学镀工艺,实现高精度、高一致性的金属覆盖,满足集成电路封装、先进封装及微机电系统等领域的特定需求
与传统滚镀不同,半导体滚镀更注重工艺洁净度、镀层精度及与半导体材料的兼容性。
1.金属互连:在晶圆上形成铜导线。
2.凸块制备:沉积锡、铜、金等材料,用于芯片与基板的电气连接。
3.阻挡层/种子层镀覆:镀钛、钽等材料,防止金属扩散并增强附着力。
1.电镀槽:
材质:耐腐蚀材料,避免污染镀液
镀液循环系统:维持镀液成分均匀,过滤颗粒杂质
2.旋转载具:
晶圆固定装置:真空吸附或机械夹持,确保晶圆平稳旋转
转速控制:通过伺服电机调节转速,优化镀层均匀性
3.阳极系统:
可溶性/不溶性阳极:铜、铂等材料,依镀层需求选择
阳极位置调节:控制电场分布,减少边缘效应
4.供液与喷淋系统:
多点喷淋头:均匀分配镀液至晶圆表面,避免气泡滞留
流量控制:精确调节镀液流速,匹配不同工艺需求
5.控制系统:
PLC/工控机:集成温度、pH值、电流密度等参数监测与反馈。
配方管理:存储不同镀层的工艺参数
是一种高效、智能化的电镀生产系统,通过龙门机械手实现工件的全流程自动化传输与精细加工,广泛应用于金属表面处理行业。
一、设备结构与组成龙门架与机械手龙门桁架:横跨电镀槽上方,搭载伺服驱动的机械臂,实现三维空间内的精确定位(重复精度±0.1mm)。夹具系统:根据工件形状(如螺丝、连接器、汽车零件)定制夹具,确保抓取稳固。电镀槽组包含 前处理槽(除油、酸洗)、电镀槽(镀锌、镀镍等)、后处理槽(钝化、烘干)等,槽位数量可按工艺扩展(如8~20槽)。槽内配备液位传感器、温控装置及循环过滤系统,保障镀液稳定性??刂葡低砅LC+HMI:控制器预设工艺参数(电流、时间、温度),触摸屏实时监控运行状态。智能调度算法:优化机械手路径,减少空载时间,提升产能(如每小时处理500~2000件) 前处理的超声波除油设备结合碱性洗液,高频振动剥离顽固油污,提升复杂结构工件清洁效果。
废气处理设备是电镀设备不可或缺的配套设施,在电镀生产过程中发挥着重要作用,具体关系如下:
电镀过程中会产生如酸雾、碱雾、物气体等有害废气。若不进行处理,这些废气会弥漫在车间内,不仅会对操作人员的身体健康造成严重危害。废气处理设备通过收集和净化这些有害废气,能将车间内的空气质量维持在安全标准范围内,同时确保排放到大气中的废气符合环保要求,从而保护环境和人员健康。
电镀车间内的酸性或碱性废气具有腐蚀性,长期暴露在这些废气中,电镀设备如镀槽、整流器、加热装置等的金属部件会被腐蚀,导致设备的使用寿命缩短,维修成本增加。
废气处理设备有效去除有害废气,减少对电镀设备的腐蚀,保障电镀生产的稳定进行。
如果车间内废气弥漫,空气中的灰尘、杂质等容易吸附在待镀工件表面,影响镀层与工件的结合力,导致镀层出现麻点、、起皮等缺陷,降低电镀产品的质量和良品率。废气处理设备有助于保持车间内空气的清洁,减少空气中杂质对镀件的污染
随着环保法规的日益严格,电镀企业必须确保其生产过程中的废气排放达到国家和地方的环保标准。
镀铬设备配置铅锑合金阳极与阳极袋,过滤阳极泥渣,防止杂质污染镀液,维持硬铬镀层高硬度。江苏防爆型电镀设备
贵金属电镀设备配备净化循环系统,严格把控镀金液杂质含量,满足芯片键合线的超高纯度要求。微弧氧化电镀设备价格
集气罩:根据前处理设备形状、废气散发特点定制,如槽边侧向集气罩等,可高效收集废气,常见材质有 PP 等耐腐蚀材料 。
通风管道:多选用耐腐蚀的 PP 材质,用于连接抽风设备各部件,将废气输送至处理设备,其设计需考虑废气流量、阻力等因素 。
引风机:常安装在输送通道出风口处,为废气的抽取和输送提供动力 ,可根据实际需求选择不同规格和性能的引风机。
此外,一些抽风装置还可能配备过滤处理箱、活性炭吸附网板等,用于对废气进行初步过滤、吸附,减少大颗粒杂质等对风机的损害 。 微弧氧化电镀设备价格