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来源: 发布时间:2024-02-21

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    电子膜材料是微电子技术和光电子技术的基础,因而对各种新型电子薄膜材料的研究成为众多科研工作者的关注热电.AIN于19世纪60年代被人们发现,可作为电子薄膜材料,并具有广泛的应用.近年来,以ⅢA族氮化物为的宽禁带半导体材料和电子器件发展迅猛被称为继以硅为的一代半导体和以砷化镓为的第二代半导体之后的第三代半导体.A1N作为典型的ⅢA族氮化物得到了越来越多国内外科研人员的重视.目前各国竞相大量的人力、物力对AlN薄膜进行研究工作.由于A1N有诸多优异性能,带隙宽、极化强禁带宽度为、微电子、光学,以及电子元器件、声表面波器件制造、高频宽带通信和功率半导体器件等领域有着广阔的应用前景.AIN的多种优异性能决定了其多方面应用,作为压申薄膜已经被广泛应用;作为电子器件和集成申路的封装、介质隔离和绝缘材料有着重要的应用前景。

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    在现有可作为基板材料使用的陶瓷材料中,氮化硅陶瓷抗弯强度,耐磨性好,是综合机械性能好的陶瓷材料,同时其热膨胀系数小。而氮化铝陶瓷具有高热导率、好的抗热冲击性、高温下依然拥有良好的力学性能。可以说,从性能的角度讲,氮化铝与氮化硅是目前适合用作电子封装基片的材料,但他们也有个共同的问题就是价格过高。3、应用于发光材料氮化铝(AlN)的直接带隙禁带最大宽度为,相对于间接带隙半导体有着更高的光电转换效率。AlN作为重要的蓝光和紫外发光材料,应用于紫外/深紫外发光二极管、紫外激光二极管以及紫外探测器等。此外,AlN可以和III族氮化物如GaN和InN形成连续的固溶体,其三元或四元合金可以实现其带隙从可见波段到深紫外波段的连续可调,使其成为重要的高性能发光材料。 芜湖原材料氮化铝陶瓷氧化镁氧化锆氧化铝等

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