本发明的实施例总体涉及半导体领域，更具体地，涉及集成电路及其形成方法。背景技术：许多现代电子器件包含配置为存储数据的电子存储器。电子存储器可以是易失性存储器或非易失性存储器。易失性存储器在上电时存储数据，而非易失性存储器能够在断开电源时存储数据。磁阻式随机存取存储器(mram)是用于下一代非易失性存储器技术的一种有前景的候选。技术实现要素：根据本发明的一个方面，提供了一种集成芯片，包括：工作磁隧道结(mtj)器件，连接至位线，其中，所述工作磁隧道结器件被配置为存储数据状态；以及调节访问装置，连接在所述工作磁隧道结器件和字线之间，其中，所述调节访问装置包括被配置为控制提供给所述工作磁隧道结器件的电流的一个或多个调节磁隧道结器件。根据本发明的另一个方面，提供了一种集成电路，包括：互连层，布置在衬底上方的介电结构内，其中，所述互连层通过所述介电结构与所述衬底分隔开；以及工作mtj器件，布置在所述互连层正上方并且被配置为存储数据状态，其中，所述工作mtj器件通过包括多个互连层且不延伸穿过所述衬底的连续导电路径电连接在位线和字线之间。根据本发明的又一个方面，提供了一种形成集成电路的方法。上海海谷电子有限公司为您提供回收，有想法的可以来电咨询！江苏电子料上门回收网

在一些实施例中，每个单元线路结构的四条栅极线通过例如sadp形成，并且每个单元线路结构的四条栅极线在方向上布置成交替地具有栅极节距和第二栅极节距。通常，在一些实施例中，作为另一示例，每个单元线路结构的四条栅极线通过例如自对准四倍图案化(saqp)形成，并且每个单元线路结构的四条栅极线在方向上布置成顺序地具有栅极节距、第二栅极节距、栅极节距和第三栅极节距。在一些实施例中，每个单元线路结构包括十二条金属线和八条栅极线。此外，在一些实施例中，每个单元线路结构的十二条金属线通过自对准四倍图案化(saqp)形成，并且每个单元线路结构的十二条金属线在方向上布置成顺序地且重复地具有金属节距、第二金属节距、金属节距和第三金属节距。此外，在一些实施例中，每个单元线路结构的八条栅极线通过单图案化形成，并且每个单元线路结构的八条栅极线在方向上布置成具有相等的栅极节距。在一些实施例中，每个单元线路结构包括十二条金属线和八条栅极线，每个单元线路结构的十二条金属线通过自对准四倍图案化(saqp)形成，并且每个单元线路结构的十二条金属线在方向上布置成顺序地且重复地具有金属节距、第二金属节距、金属节距和第三金属节距。此外，例如。辽宁二极管回收联系方式上海海谷电子有限公司致力于提供回收，有想法的可以来电咨询！

调节mtj器件、第二调节mtj器件和工作mtj器件106分别包括mtj，mtj具有通过介电遂穿阻挡层与自由层分隔开的固定层。在一些实施例中，固定层110可以包括钴(co)、铁(fe)、硼(b)、镍(ni)、钌(ru)、铱(ir)、铂(pt)等。在一些实施例中，介电遂穿阻挡层可以包括氧化镁(mgo)、氧化铝(al2o3)等。在一些实施例中，自由层可以包括钴(co)、铁(fe)、硼(b)等。在其它实施例中，调节访问装置108可以包括一个或多个电阻器(例如，包括氮化钽、钽、氮化钛、钛、钨等的薄膜电阻器)。例如，在一些实施例中，调节访问装置108可以包括与工作mtj器件106并联连接的薄膜电阻器和第二薄膜电阻器。在各个实施例中，调节访问装置108可以包括具有基本类似的尺寸或具有不同的尺寸的电阻器。存储器阵列102通过多条位线bl1至bl2和多条字线wl1至wl2连接至控制电路115。在一些实施例中，控制电路115包括连接至多条位线bl1至bl2的位线解码器116和连接至多条字线wl1至wl2的字线解码器118。调节访问装置108连接在字线wlx(x＝1或2)和工作mtj器件106之间，而工作mtj器件106连接在调节访问装置108和位线bly(y＝1或2)之间。为了访问工作mtj器件106。

与集成电路204热耦联的第二热接口材料层206；以及与第二热接口材料层206热耦联的能够移除的散热器208，所述散热器208具有越过印刷电路板202的与连接侧304相对的侧延伸的顶表面302。在906处，将两个印刷电路装配件相对地放置在一起，使得所述印刷电路装配件400中的每个印刷电路装配件上的散热器208的顶表面302与另一个印刷电路装配件400上的热接口材料层408接触，并且与该热接口材料层408热耦联。在908处，流程900包括将每个冷却管406的端部耦联至分流管606a，以及将每个冷却管406的第二端部耦联至第二分流管606b。在910处，流程900包括将泵110、热交换器112和储液器114与分流管606a和第二分流管606b流体流通地耦联。流程900包括操作泵110以将液体传送通过各冷却管406。如本文所使用的，术语“或”可以解释为包含性或排除性的意义两者。此外，以单数形式对资源、操作或结构的描述不应解读为排除复数形式。其中，诸如“能够”、“可以”、“可能”、或“可”的条件语句，除非另有明确说明，或在所使用的上下文中另有理解，一般旨在传达某些实施例包含特定特征、元素和/或步骤，而其他实施例不包含这些特定特征、元素和/或步骤。除非另有特别说明。回收，就选上海海谷电子有限公司，用户的信赖之选，有需要可以联系我司哦！

每个单元线路结构的六条列金属线ml1至ml6可以在方向x上布置成交替地具有金属节距pm11和第二金属节距pm12。金属节距pm11和第二金属节距pm12可以由表达式1表示。表达式1pm11＝wdm+wmlpm12＝pdm-(wdm+wml)在表达式1中，wdm表示双倍心轴图案dpm1、dpm2和dpm3的宽度，wml表示列金属线ml1至ml6的宽度。在形成列金属线ml1至ml6之前，可以在列导电层ccl下方的栅极层gtl中形成针对每个单元线路结构的四条栅极线gl1至gl4。参照图5，每个单元线路结构uws1的四条栅极线gl1至gl4可以通过单图案化形成。在这种情况下，每个单元线路结构uws1的四条栅极线gl1至gl4可以在方向x上布置成具有相等的栅极节距pg1。栅极节距pg1可以等于通过曝光工艺形成的抗蚀剂图案的节距。图5示出了均具有相同的布图或相同的形貌(topography)的两个单元线路结构：左侧的一个被标识为uws1，在x轴上向右侧移位的一个也被标识为uws1。图5的左侧的uws1内的空间关系与右侧的uws1内的空间关系相同。空间关系包括gtl中的gl1、gl2、gl3、gl4之间的节距以及ccl中的ml1、ml2、ml3、ml4、ml5、ml6之间的节距还有ccl和gtl中的特征之间的相对节距。图5表示其中存在6n条金属线和4n条栅极线的通常示例。回收，就选上海海谷电子有限公司，用户的信赖之选。湖南电子料高价回收价格

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四倍心轴图案qpm1、qpm2和qmp3可以布置为在方向x上具有相同的四倍心轴节距pqm，四倍心轴节距pqm可以与抗蚀剂图案的节距相同。针对单元线路结构uws4、uws5和uws6中每个，可以使用三个四倍心轴图案qpm1、qpm2和qpm3在列导电层ccl中形成十二条列金属线ml1至ml12。每个单元线路结构的十二条列金属线ml1至ml12可以在方向x上布置成顺序地且重复地具有金属节距pm21、第二金属节距pm22、金属节距pm21和第三金属节距pm23。金属节距pm21、第二金属节距pm22和第三金属节距pm23可以由表达式4表示。表达式4pm21＝wdm+wmlpm22＝wqm-wmlpm23＝pqm-(wqm+2wdm+wml)在表达式4中，wdm表示双倍心轴图案dpm1至dpm6的宽度，wqm表示四倍心轴图案qpm1、qpm2和qpm3的宽度，wml表示列金属线ml1至ml12的宽度。在形成列金属线ml1至ml12之前，可以在列导电层ccl下方的栅极层gtl中形成针对每个单元线路结构的八条栅极线gl1至gl8。参照图8，每个单元线路结构uws4的八条栅极线gl1至gl8可以通过单图案化形成。在这种情况下，每个单元线路结构uws4的八条栅极线gl1至gl8可以在方向x上布置成具有相等的栅极节距pg2。栅极节距pg2可以等于通过曝光工艺形成的抗蚀剂图案的节距。参照图9。江苏电子料上门回收网

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