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来源: 发布时间:2022-06-18

以降低成本,简化工艺流程。在该步骤中,衬底101推荐为晶圆(wafer),便于形成小面积的电路板。晶圆清洁完成后,在晶圆的表面旋涂负光刻胶,并对负光刻胶进行硬烤。进一步地,在光刻胶层102上形成绝缘层111,如图5b所示。绝缘层111的材料为pmma(poly(methylmethacrylate)-聚甲基丙烯酸甲酯)、特氟隆、硅树脂、聚酰亚胺、聚对苯二甲酸(polyethyleneterephthalate),派瑞林(尤其是parylene-c)。在该步骤中,推荐绝缘层111为派瑞林膜,并采用化学气相沉积(chemicalvapordeposition,cvd)工艺形成派瑞林膜。进一步地,在绝缘层111的表面形成具有图案的第二光刻胶层103,如图5c所示。在该步骤中,例如,在绝缘层111的表面形成第二光刻胶层103,并对第二光刻胶层103曝光、显影,以形成具有图案的第二光刻胶层103。进一步地,形成图案化的金属层112,如图5d所示。在该步骤中,形成填充于第二光刻胶层103的图案内的金属层112,并去除第二光刻胶层103,以形成图案化的金属层112,金属层112具有开口104,开口104将用于形成通孔的一部分。在替代的实施例中,可以省去形成第二光刻层103的步骤,在绝缘层111的表面形成金属层112后,对金属层112进行图案化处理。进一步地。上海海谷电子有限公司有限公司是一家专业提供 电子料回收的公司,欢迎您的来电哦!甘肃废旧电子料回收平台

提取部134从八个模式的准备位置信息之中提取特定准备图像,在使旋转头33的分度角度与和特定位置信息对应的旋转头33的分度角度一致的状态下,拍摄保持于八个元件保持部35的元件p。在该情况下,与准备位置信息为一个的情况相比,能够减小从元件供给位置至到达元件相机41的拍摄位置所需的旋转头33的旋转量。由此,电子元件安装处理能够削减在从元件供给位置移动至元件相机41的拍摄位置为止的期间,旋转头33的分度所需的时间。特别是在s1的处理中,准备拍摄部132基于在分度至旋转头33的全部分度角度中的各分度角度的状态下通过元件相机41拍摄到的八个模式的准备图像g1~g8来掌握元件保持部35的中心坐标35p,并将所掌握的中心坐标35p作为准备位置信息存储。并且,元件拍摄部131在s34的处理中,以在拾取处理(s2)中后拾取元件p时的旋转头33的分度角度来拍摄保持于元件保持部35的元件p。因此,电子元件安装处理能够避免在从安装头32到达元件相机41的拍摄位置至开始基于元件相机41的拍摄为止的期间产生用于对旋转头33进行分度的待机时间。由此,元件安装机1能够高效地进行元件p的安装作业。2.第二实施方式接着,说明第二实施方式。在实施方式中,在准备拍摄处理中。河北呆滞电子料回收收购上海海谷电子有限公司有限公司致力于提供 电子料回收,期待您的光临!

由此能够缩短s34的处理所需的时间。在s34的处理之后,元件保持状态确认处理(s3)进行基于测定部135的控制,测定根据特定位置信息识别出的元件保持部35的位置(中心坐标35p的位置)与根据在s34的处理中得到的元件图像g识别出的元件p的位置之间的位置偏差量(s35:测定工序)。在s35的处理之后,元件安装处理使元件保持状态确认处理(s3)结束并移向安装处理(s4)。接着,参照图9所示的流程图来说明在元件安装处理中执行的安装处理(s4)。如图9所示,安装处理(s4)个进行基于安装控制部120的控制,将旋转头33的分度角度设定为0度或者180度(s41:安装前分度工序)。该s41的处理是为了从保持于元件保持部35a的元件p起开始元件p对于电路基板k的安装而进行的处理。即,在s41中,安装有元件保持部35a的吸嘴座34的卡合片36配置在与z轴驱动装置90a的一对夹持部95a或者第二z轴驱动装置90b的一对夹持部95b中的任意一个对应的位置(升降位置)。另外,安装处理(s4)与s41的处理并行地进行基于安装控制部120的控制,使安装头32向基板相机42的拍摄位置移动(s42)。在该情况下,在与安装头32的移动并行地进行旋转头33的分度时。

本发明涉及电子元件安装机。背景技术:专利文献1公开了进行载荷控制的技术,在载荷控制中,在使搭载于安装头的吸嘴与载荷传感器抵接时测定载荷传感器所承受的载荷,并以使测定的载荷成为指定好的目标载荷的方式调整吸嘴的压入量。另外,专利文献2公开了以下技术:对在电子元件向基板的安装工序中产生的信息进行收集,并基于收集到的信息进行安装工序中产生的问题的解析。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2006-313838号公报专利文献2:日本特开2006-165127号公报技术实现要素:发明所要解决的课题在专利文献1记载的技术中,在即便进行了使从由吸嘴保持的电子元件施加于基板的载荷成为目标载荷那样的马达的控制也会在安装头等产生不良状况的情况下,有时尽管马达产生相当于目标载荷的扭矩,但是从吸嘴施加于基板的载荷也达不到目标载荷。而且,也有时尽管马达产生相当于目标载荷的扭矩,但是从吸嘴施加于基板的载荷也成为比目标载荷大的载荷。在这些情况下,恐怕产生电子元件的安装不良、电子元件及基板的破损。因此,谋求发现安装头等元件保持装置的异常。本说明书的目的在于提供能够发现元件保持装置的异常的产生的电子元件安装机。上海海谷电子有限公司有限公司 电子料回收值得用户放心。

参照图6所示的流程图来说明由控制装置100执行的元件安装处理的概要。如图6所示,在元件安装处理中,控制装置100个执行准备拍摄处理(s1:准备拍摄工序)。准备拍摄处理(s1)是对未保持有元件p的状态下的安装头32按照旋转头33的各分度角度通过元件相机41进行拍摄的处理。并且,准备拍摄处理(s1)将与以基于通过元件相机41的拍摄而得到的八个模式的准备图像g1~g8所掌握的元件保持部35的中心坐标35p相关的数据作为准备位置信息存储于存储装置110。在准备拍摄处理(s1)结束之后,控制装置100执行拾取处理(s2:拾取工序)。拾取处理(s2)是通过元件保持部35来拾取被供给至元件供给位置的元件p的处理。在拾取处理(s2)结束之后,控制装置100执行元件保持状态确认处理(s3)。该元件保持状态确认处理(s3)是确认元件p相对于元件保持部35的位置的位置偏差量的处理。在元件保持状态确认处理(s3)结束之后,控制装置100执行安装处理(s4)。该安装处理(s4)是将保持于元件保持部35的元件向电路基板k安装的处理。接着,参照图7所示的流程图来说明在元件安装处理中执行的准备拍摄处理(s1)。如图7所示,准备拍摄处理(s1)进行基于安装控制部120的控制,使安装头32向元件相机41的拍摄位置移动(s11)。上海海谷电子有限公司有限公司为您提供 电子料回收。宁夏呆滞电子料回收公司

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元件能够吸附在真空吸盘24;通过电动伸缩杆15的伸出,使活动管12的向上移动,将元件的部分从皮带输送机1上拿起;通过步进电机2的工作,可以带动齿轮3的转动,齿轮3可以带动第二齿轮4的转动,第二齿轮4可以使转动管5在固定柱6上转动,转动管5的转动带动元件的部分的转动,使元件的部分位于元件的第二部分的上方;通过电动伸缩杆15的缩回,可以通过安装板10带动活动管12的向下移动,打开第二电磁阀25,通过进气管26可以使真空吸盘24进入空气,能够方便使元件脱离真空吸盘24,使元件的部分位于元件的第二部分的装配槽内部;通过第二皮带输送机11的工作,使元件的部分和元件的第二部分移动至压板17的下方,通过第二电动伸缩杆18的伸缩可以带动压板17的移动,能够使压板17接触元件,实现对元件的压合组装;通过直线电机19沿着滑轨20进行移动,方便元件进行压合装配,通过第二直线电机28沿着第二滑轨29进行移动,方便对元件的抓取和释放,能够根据原件的位置进行移动,给使用带来便利。本实用新型皮带输送机1和第二皮带输送机11能够对元件的高效输送,可以实现对元件的快速抓取及释放,通过第二电动伸缩杆18的伸缩可以带动压板17的移动,能够使压板17接触元件。甘肃废旧电子料回收平台

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