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广东华芯半导体技术有限公司2025-06-06
通过 PID 串级控制算法，真空度与甲酸浓度形成动态联动：当真空度低于 5Pa 时，自动降低甲酸流量以避免过度活化；当真空度高于 10Pa 时，提升甲酸浓度补偿氧化风险。广东华芯半导体技术有限公司的设备可实现真空 - 浓度曲线的自定义编程，适应复杂工艺需求。
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手 机： 19022368597
