广州市元奥仪器有限公司2025-04-05

超透镜是一种通过排列亚波长纳米结构实现的平面透镜，局部地向入射光传递透镜状的相移，由于其超薄、轻量化和可定制的特性，在有效载荷的应用中有明显作用，有望其替代折射光学器件。然而，为厘米级超透镜制造高达数十亿亚波长结构的要求可能会限制大型透镜的尺寸可扩展性和批量生产。我们展示了使用深紫外(DUV)投影步进光刻技术制成的、能够在可见光波长下聚焦和成像的、厘米级尺度的全玻璃制超透镜。在这里，我们通过在4英寸的熔融石英晶片平台上制造45个直径为1厘米的超透镜，来展示其尺寸可扩展性和大规模生产的潜力。该透镜在可见光波长下的任何均匀偏振入射下均表现出受行射极限限制的聚焦行为。超透镜的性能通过斯特列尔比(SR)和调制传递函数(MTF)进行量化，然后将其与尺寸和焦距相似的商用折射球面和非球面单透镜进行比较。我们使用拥有彩色像元的sCMOS相机和扫描成像技术进一步探究我们的超透镜的成像能力，表明了这些超透镜在虚拟现实(VR)设备或生物成像技术领域的潜在应用。 广州市元奥仪器有限公司专注于sCMOS相机，欢迎随时交流！

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