上海哲海壹天电子系统工程有限公司2025-04-05

为实现大面积高解析度的液晶显示，通常需要采用低阻抗金属材料、高性能开关元件以及高精细加工技术等手段。在低阻抗金属制作 TFT 总线上，研究和使用较多的材料是铝。通过围绕解决铝易形成小丘、化学腐蚀以及氧化等问题，先后报道了合金法 （如 Al- Cu、Al- Si、Al- Nd以及 Al- Ti 等） 和夹层法 （如 Mo/Al/Mo、Cr/Al/Cr以及 Ti/Al/Ti 等），合金法在工艺上相对比较简单，但材料的电阻率较高 。1998 年5 月，IBM 利用Al- Nd 合金作为栅电极，开发出 16 . 3 英寸超高解析度（200ppi）a- Si TFT 显示器，并已实现批量生产 。1999 年4月， 东 芝 推 出 的 20.8 英寸16- SVGA（3 , 200 ×2 , 400）a- Si TFT- LCD，可谓是象征了 a- Si TFT- LCD 在高解析度和高容量方面的比较高水平。

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