米开罗那(上海)工业智能科技股份有限公司2024-11-19
在半导体器件的制造过程中,许多步骤对环境条件极为敏感,例如光刻、蚀刻和沉积等。手套箱提供了一个可控的、无水、无氧的环境,有助于防止材料氧化和水解,确保工艺的精确性和器件的性能。此外,手套箱还可以用于存储敏感的半导体材料,?;に敲馐芑肪骋蛩氐乃鸷ΑT诎氲继逍幸抵校痔紫涞氖褂锰岣吡松屎筒分柿浚鞘迪指呔戎圃斓墓丶璞钢?。
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