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半导体设备安装为什么要做减震措施?

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上海笙电电力科技有限公司2025-02-27

半导体设备多精密昂贵,运行时微小振动都可能影响加工精度。一方面,设备自身的风机、泵等旋转部件运转产生振动,若不隔离,会传递至设备主体,干扰芯片光刻、蚀刻等精细工序。另一方面,外界振动源,如工厂内相邻设备、建筑物周边交通振动,也可能传入。通过在设备与基座间安装橡胶减震垫、空气弹簧减震器等,其特殊弹性结构能吸收、缓冲振动能量,根据设备重量、振动频率精确选型,将振动影响降至至低,保障芯片制造高精度要求。我们笙电电力科技成立于2016年,是一家专业从事机电设备生产、安装、调试、维护和技术支持的企业,细心,精心,用心,服务品质永保称心,欢迎广大客户与我司洽谈合作!

上海笙电电力科技有限公司
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简介:上海笙电电力科技有限公司是一家专业从事机电设备生产、安装、调试、维护和技术支持的企业。
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