成都微伺科技有限公司2025-03-27

伺服系统定位精度的激光干涉仪校准流程如下： 准备工作? 确保测量环境稳定，控制温度、湿度和气压，以减少外部因素对测量结果的影响?。 安装激光干涉仪，并将其与伺服系统的运动轴对准，确保光路准确?。 光路校准? 调整激光干涉仪的干涉镜和反射镜，使激光束与被测轴精确对准?。 使用激光头后方的指形轮和三脚架旋钮，确保两道光束完全重合并进入回光孔?。 数据采集? 在伺服系统运动轴上设置若干等距定位点，并启动测量软件，输入相关参数（如材料膨胀系数）?。 采用基于位置的目标采集方式，记录每个定位点的数据，并生成分析曲线?。 误差分析与补偿? 通过测量软件分析数据，绘制误差补偿图表，确定每个定位点的补偿值?。 将补偿数据写入伺服系统控制系统，以修正定位误差?。 验证与调整? 重新测量伺服系统的定位精度，验证补偿效果?。 若误差仍超出允许范围，重复调整光路和补偿参数，直至满足精度要求?。 记录与存档? 详细记录校准过程中的所有步骤和结果，便于后续复查和分析?。 通过以上流程，可有效提升伺服系统的定位精度，确保其在高精度应用中的稳定性和可靠性?。

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