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江苏迈茨工业智能装备有限公司2025-04-17
需达到：①定位精度 ±0.01mm，重复定位精度 ±0.005mm；②无油润滑设计，避免颗粒污染；③防静电涂层，防止芯片吸附粉尘；④支持真空环境（压力≤10?3Pa），适配晶圆搬运。
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