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半导体设备安装如何选无尘车间场地?

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上海笙电电力科技有限公司2025-02-20

半导体设备对环境要求严苛,选无尘车间场地时,要考量多方面因素。首先,车间的洁净度等级需契合设备需求,像光刻设备,应置于至高等级的洁净区,尘埃粒子数要严格控制在极小范围内,如每立方米不超过10颗(ISO1级标准),防止尘埃污染芯片。其次,场地的温湿度稳定性至关重要,一般温度控制在22±0.5℃,湿度40%-60%,避免温湿度波动影响设备精度与芯片性能。再者,车间要远离震源,如工厂大型设备、交通要道,地面承载能力足够,防止设备运行受振动干扰或因地面沉降造成损坏,保障半导体制造高精度环境。我们笙电电力科技可提供包括但不限于发电厂、变电站、工业厂房、商业楼宇等设备的安装服务,我司锐意进取,持续创新为各行各业提供专业化服务!

上海笙电电力科技有限公司
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简介:上海笙电电力科技有限公司是一家专业从事机电设备生产、安装、调试、维护和技术支持的企业。
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