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RTP快速退火炉有什么特点?

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司2025-04-05

①红外卤素灯管加热,冷却采用风冷;②灯管功率PID控温,可准确控制温度升温,保证良好的重现性与温度均匀性;③标配三组工艺气体

东莞市晟鼎精密仪器有限公司
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简介:晟鼎精密主营产品RTP快速退火炉、等离子清洗机、等离子去胶机、接触角测量等表面性能处理及检测设备。
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退火炉+等离子
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    东莞市晟鼎精密仪器有限公司 2025-04-05

    ①采用平行进气方式,气体的进入口设置在WAFER表面,避免退火过程中冷点产生,保证产品良好的温度均匀性;②大气与真空处理方式均可选择,进气前气体净化处理;③可测样品尺寸为6-12英寸

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