上海碟嘉真空阀门有限公司2025-06-08

膜层均匀性依赖真空度稳定性，高真空蝶阀通过动态平衡算法与低放气率设计实现。其阀体表面镀镍磷合金，出气率低于5×10?1? Pa·m3/s·cm2，配合PID控制器，将真空波动控制在±0.5%以内。在AR镀膜中，阀门将铝层厚度偏差从±8%降至±2%，反射率一致性提升至99.5%，同时减少靶材浪费15%，降低生产成本。

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