广东华芯半导体技术有限公司2025-06-05
采用五面加热设计(顶部、底部、左右侧、背部),配合双循环热风系统,温度均匀性≤±1.5℃(300mm×300mm 区域)。广东华芯半导体技术有限公司的设备在甲酸活化区增设单独温控模块,确保局部温度精确可控。
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