石墨盘烤盘炉

一.产品介绍

真空烤盘炉是与MOCVD设备配套使用的炉体，炉内抽真空，被处理工件放置在炉膛内，采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗（清洗气体：N2，H2）。主要用于有效清洗除MOCVD承受器（SiC涂层石墨盘或石英盘）上的氮化镓和氮化铝等，可达到有效清洁处理，提高制品质量的目的。

二、设计特点

1、后门设计热风电机

2、降温时风机开启，同时两端降温封头开启，炉膛内产生如图所示的气体流向

3、通过气体介质将隔热层内与水冷壁之间进行热交换，达到快速降温的目的

三、技术指标

1、使用温度：1450℃；比较高温度：1500℃；

2、绝热材料：石墨纤维毯、石墨纸；

4、加热元件：石墨加热棒；

5、冷却方式：气冷 + 循环风冷降温；

6、控温稳定度：±2℃，具有PID参数自整定功能；

7、炉膛温度均匀度：±5℃（恒温1500℃）；

8、气氛: 可向炉膛内通入干燥、洁净、无油的高纯度氮气,纯度≥99.999%；

9、极限真空: 10-3torr级；

10、抽气速率：空载下，30min达到10-2torr

11、升温功率：170kW；

12、升温速率：15℃/min（空载）；

13、降温速率：1450℃至80℃,240分钟

14、腔体尺寸：1000*1000*1000mm（宽*深*高） 工业烤箱怎样使用？合肥真萍告诉您。温州工业烤箱标准

恒温恒湿试验箱的控制系统可说是整个设备的心脏，掌管着制冷、制热、控湿、循环、控制等大权。  在制冷方面，压缩机是采用德国进口的压缩机。制冷系统由高温部分和低温部分组成，每一部分是一个相对单独的制冷系统。高温部分中制冷剂的蒸发吸收来自低温部分的制冷剂的热量而汽化；低温部分制冷剂的蒸发则从被冷却的对象(试验机内的空气)吸热以获取冷量。高温部分和低温部分之间是用一个蒸发冷凝器联系起来，它既是高温部分的冷凝器，也是低温部分的冷凝器。  加热系统采用完全单独的镍铬合金电加热式，电阻率大、电阻温度系数小，在高温下变形小且不易脆化，自身加热温度可达1000～1500℃，使用寿命长。  加湿是恒温恒湿试验箱不同于高低温试验箱的相当主要一部分，恒温恒湿试验箱采用外置隔离式，全不锈钢锅炉式浅表面蒸发式加湿器。祛湿方式采用机械制冷祛湿，将空气冷却到温度以下，使大于饱和含湿量的水汽凝结析出，这样就降低了湿度。  送风循环系统：空气循环系统由耐温低噪音空调型电机，多叶式离心风轮构成。它提供了试验机内空气的循环。合肥工业烤箱图片合肥真萍与您分享工业烤箱发挥的重要作用。

真萍科技电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex阿摩利亚气体)破坏，解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线，解决液晶的受潮问题，解决线路板受潮问题。氮气监控系统：1.1、2.3”LED大屏幕数字显示湿度/温度。1.2、温湿度显示值0.1％-99.9％RH，温度显示值0.1℃-60.0℃。1.3、温湿度收集采准确传感器，长距离传输无误差。1.4、湿度控制：2.4.1利用湿度设定值来控制氮气流入，到达湿度设定值即停止进气，节省氮气耗用。2.4.2湿度在1％-60％RH可调整。1.5、温湿度记录功能：2.5.1内建内存，可储存温度/湿度，收集时间1~240分钟可自行设定。2.5.2可利用RS232连接阜下载至计算机中读取。2.5.3品管记录格式设计，有助于内部记录追踪并可支持数据库档案格式。1.6、湿度警报系统：1.6.1可设定启动警报的湿度值及条件，内配蜂鸣器（90分贝）及闪烁警示功能。1.6.2可另外选配积层式警示灯。1.7、温湿度偏移校正功能：内建校正功能，确保显示准确度。

箱体结构：

1烘箱总体由箱体部分，电气控制柜部分，电加热部分，风道部分，尘埃物过滤部分，N2 进气排气及风冷部分等组装而成，结构合理，功能实用。

2外箱材料:外箱采用SS41#中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆可防止微尘，内胆材料：采用进口SUS304#2mm不锈钢板全周氩焊,并经碱性苏打水清洁有效的防止了机台本身灰尘的产生。

3保温材料：采用正厂玻璃纤维公司出品的100K级高密度保温板填充，防止了热能浪费。

4电热部分：采用覆套式电热器（SHEATHED HEATER）无尘无氧化电热发生器

5风道部分:整体结构采用了水平送风的方式由左向右送风后经美国进口H.E.P.A,(特殊风道设计)过滤效果可达99.99%,Class100； 工业烤箱的功能具体介绍！

工业烤箱，顾名思义，是在工业生产上用的的烤箱。在不同行业，不同的场所，在名称的叫法上不一样，比如：工业烘箱，干燥箱等。工业烤箱用途多：适用于烘烤有化学性气体及食品加工行业的欲烘烤物品、基板应力的去除、油墨的固化、漆膜的烘干等。使用于电子、电机、通讯、电镀、塑料、五金化工、食品、印刷、制药、PC板、粉体、含浸、喷涂、玻璃、陶瓷、木器建材……等等的精密烘烤、烘干、回火、预热、定型、加工等。质量连续炉的适用范围：连续炉即是连续作业炉，是指连续地或间歇地装料，工件在炉内不断移动，完成加热、保温，有时包括冷却在内全过程的热处理炉。合肥真萍与您分享工业烤箱对如今市场的影响。无锡工业烤箱保养

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一、本产品广泛应用于航空、航天、电子、通讯等科研及生产单位。确定仪器仪表、电工产品、材料、零部件、设备等在低气压、高温单项或同时作用下的环境适应性与可靠性试验.二、主要技术指标：1、工作室温度范围：常温～+300℃用户使用温度260℃2、温度波动度：±1.0℃（空载）；3、温度偏差：常压温度试验：常温～200℃时±2℃200～300℃时±5.0℃低气压高温综合试验:≤100℃时±2.0℃，100℃～200℃时±5.0℃200℃～300℃时±7.0℃4、升降温速率：升温时间：①常压时：90min（常温～+260℃）②低气压0.0001pa时：180min（常温～+260℃）降温时间：3℃～10℃/min（260℃～120℃）,1℃～5℃/min（120℃～常温℃）降温方式：水冷降温5、试验箱承压方式：采用内承压方式6、压力范围：常压～0.0001Pa温州工业烤箱标准