本公司方法涉及一种基于法向跟踪的自由曲面共焦测量方法及装置，属于光学精密检测领域。背景技术：自由曲面光学元件具有较大的表面形貌自由度，在成像系统中具有改善光学系统成像质量、提高分辨能力、增大作用距离、简化仪器结构、减小仪器体积重量和提高可靠性等优点。使用自由曲面光学系统代替的平面镜、球面镜、共轴二次曲面镜等已经成为光学系统发展的重要趋势。但是，自由曲面在增加了设计自由度的同时，对光学设计、加工和检测提出了更高的要求。随着光学cad与数控金刚石点加工技术在光学设计与制造中得到成功应用，自由曲面的设计与加工已不再是主要技术障碍，但测量问题却成为亟待研究解决的难题。金刚石点加工技术对自由曲面面形的加工精度，主要取决于对面形上各点空间坐标的测量准确度，因此，元件面形能否满足设计要求，必须由高精度的检测技术来保证。目前，国际上自由曲面的表面轮廓测量方法，主要分为光场图像探测法、层析扫描探测法和探针三维扫描探测法三大类。其中，图像探测法测量过程无需对样品进行扫描，测量速度快，但易受到样品表面反射率、粗糙度等特性差异影响，无法适应任意倾角变化的自由曲面高精度测量；层析扫描法原理简单。飞行器类玻璃质量检测，精度1μm。深圳汽车玻璃面型检测公司

    当汇聚光束的角度与自由曲面样品11在测量点m的法线方向不一致时，返回光束经过分光镜4反射在四象限探测器13的光斑不会处于四象限探测器13的中心，因此，法向60bf8332-d34a-4b4a-a33c-ca17根据四象限探测器13的探测信号对x电机5和y电机7进行伺服控制，使得返回光的光束中心位置始终处于四象限探测器13的中心，即说明实现了对自由曲面样品11的法向跟踪；由于已经实现了对自由曲面样品11的法向跟踪，因此探测光束沿原光路返回进入共焦探测模块，轴向60bf8332-d34a-4b4a-a33c-ca18控制物镜驱动器9进行轴向扫描获得共焦轴向强度曲线20，共焦轴向强度曲线20的峰值点对应着物镜10的焦点，即对应自由曲面样品11的轴向坐标，实现了在法向跟踪的前提下利用激光共焦测量方法完成对测量点m的轴向位置的测量；在完成对测量点m的轴向位置测量后，扫描60bf8332-d34a-4b4a-a33c-ca19驱动二维精密位移台12按照图4所示扫描路径进行扫描探测，直至完成全部扫描点，进而重建出自由曲面样品11的三维轮廓。以上所述的具体描述，对公司方法的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述为本公司方法的具体实施例而已，并不用于限定本公司方法的保护范围。上海在线玻璃面型检测质量好价格忧的厂家大面幅玻璃平面度、轮廓、裂纹等缺陷检测，在线检测，高精度检测，减少人工，节约成本。

    用于对汽车玻璃的尺寸进行检测，包括步骤：1)获取标准汽车玻璃图像和待检测的汽车玻璃图像；2)对各汽车玻璃图像进行边缘提取，得到各汽车玻璃图像的像素级边缘轮廓；3)对像素级边缘轮廓进行亚像素定位，得到各汽车玻璃图像的亚像素边缘轮廓；4)按如上所述的配准方法对得到的标准汽车玻璃轮廓和待检测汽车玻璃轮廓进行配准；5)计算待检测玻璃的误差尺寸，通过误差尺寸确定待检测的汽车玻璃是否合格。本方法的基于机器视觉的汽车玻璃检测方法，首先获取汽车玻璃的图像，再对获取到的汽车玻璃图像进行系列处理，计算得到玻璃的尺寸信息，根据设置的公差判断生产的玻璃是否合格，此种非接触式测量方法，耗时较短，测量精度高，可以**提高工厂的生产效率，实现玻璃制造行业的快速高效发展。本实施例中，在步骤2)中，通过canny算子对预处理后的图像进行边缘提取，对应步骤为：)用一维高斯函数对图像进行平滑滤波，高斯函数g(x，y)表示如下：用高斯函数g(x，y)对原始图像f(x，y)进行卷积计算，得到平滑图像i(x,y)：i(x,y)＝g(x,y)*f(x,y))用2×2邻域内的一阶偏导的有限差分对平滑图像i(x,y)进行梯度计算。

    所述步骤s5中滤波处理为通过ua3p处理软件对扫描测量取点进行粗差滤波处理。推荐的，所述步骤s5中测量结果包括模具超精密配件扩展式多项次自由曲面的加工与设计理论值差异的三维轮廓面精度。需更进一步的解释，本公司方法通过构建参数公式并采用c++编程导入ua3p建立设计扩展式多次项自由曲面模型，确保加工的自由曲面工件得以检测及测量结果精度高误差小（精度精确到），弥补了市面上以往没有办法检测解析扩展式多项次自由曲面，只有通过实际组装来判定加工的东西是否符合标准的空白。以上结合附图对本公司方法进行了示例性描述。显然，本公司方法具体实现并不受上述方式的限制。只要是采用了本公司方法的方法构思和技术方案进行的各种非实质性的改进；或未经改进，将本公司方法的上述构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在本公司方法的保护范围之内。业界首台基于相位偏折光学的高精度面形检测检测设备，PV精度100nm。

    在准直镜和光束位移模块之间依次放置a分光镜和b分光镜，在b分光镜的反射光束光轴上放置四象限探测器，在a分光镜的反射光束光轴上依次配置有收集透镜、收集透镜焦点处的眼儿以及光电探测器，光电探测器的安装位置须保证其能够收集透过眼儿的全部光强，以构成共焦探测模块；法向60bf8332-d34a-4b4a-a33c-ca采集四象限探测器的信号，并根据四象限探测器上的光斑位置对x电机和y电机进行反馈控制，确保光束始终处于四象限探测器的中心；轴向60bf8332-d34a-4b4a-a33c-ca读取共焦模块中的光电探测器的输出信号，通过轴向60bf8332-d34a-4b4a-a33c-ca控制物镜驱动器轴向扫描以获得共焦轴向强度曲线，并通过信号处理提取共焦轴向强度曲线的峰值，进而获得测量点m的轴向位置。扫描60bf8332-d34a-4b4a-a33c-ca控制二维精密位移台进行二维扫描运动，并读取轴向60bf8332-d34a-4b4a-a33c-ca处理得到的轴向位置，通过扫描坐标与轴向位置数据重建出自由曲面样品的三维轮廓。有益效果(1)利用共焦探测技术，通过光束离轴控制实现法向跟踪，使得测量光束始终垂直汇聚于被测自由曲面样品表面，并使得反射光束与测量光束共光路，利于在大角度范围内保持共焦探测技术的高灵敏定焦能力。。我公司基于相位偏折光学的在线高精度玻璃检测，解决工厂玻璃检具精度不够的市场问题。上海在线玻璃面型检测质量好价格忧的厂家

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    设亮度函数在这个四邻域内的亮度函数是线性变化的，双线性插值法分别计算这四个相邻点到插值点p(x，y)的水平距离和垂直距离，并用距离作为它们灰度值的权重进行插值计算，便可得到插值点p(x，y)的灰度值。设像素点的灰度值用函数g表示，首先在x方向上进行插值计算，计算公式如下：然后对y方向进行线性插值计算，可得到插值点p(x，y)像素的灰度值，化简得，通过双线性插值法得到的插值点的灰度值g(x，y)通常为浮点数，对其进行四舍五入取整，再将所有的插值点进行连接，便可得到亚像素阈值分割后的边缘轮廓。本方法利用canny算子对图像进行边缘粗提取，再利用双线性插值方法进行亚像素定位，得到汽车玻璃的亚像素轮廓信息，用于后续的图像配准尺寸检测工作，提高检测精度。本实施例中，在步骤5)中，在图像匹配完成后，就可以计算两个玻璃轮廓之间的误差，玻璃轮廓是玻璃边缘上所有点的点集。假设待检测玻璃上有一点p，它到模板玻璃轮廓上的**短距离就是该点的误差，如图7所示，d2为所求误差，若d2<0，则表示待检玻璃比模板玻璃要小；若d2>0，则表示待检玻璃比模板玻璃要大；在误差d2在预设阈值时，则表明待检玻璃合格，否则则表明待检玻璃偏大或者偏小。深圳汽车玻璃面型检测公司

    领先光学技术（江苏）有限公司成立于2019年，公司总部地址位于武进区天安数码城内独栋12-2#写字楼。我们的种子企业“ling先光学技术（常熟）有限公司”成立于2014年，是国家高新技术企业、科技型中小型企业、江苏省民营科技企业、雏鹰企业。知识产权80余项（发明专利8项）。内核团队：教授2名、博士2名、行业渠道关键人4人。长期稳定与复旦大学、大连理工大学合作。底层技术包括：光学（相位偏折、白光干涉、白光共焦、深度学习）；MicroLED（发光器件、透明显示、微型投影）。是做一件“利用光学进行工业质量检测设备的生产和制造”。自主开发光学系统和底层内核算法，拥有十年以上行业经验，主要应用于：汽车玻璃检测行业、片材检测行业、半导体材料检测行业，我们的战略新产品：微米级光刻机已经完成版流片，也正在一步步趋于稳定和成熟。公司在科技的浪潮中，已经具有将内核技术转化为产品的经验与能力。公司是高科技、高成长性企业，公司不断的夯实自身技术基础，愿成为中国工业发展中奠基石的一份子，打破国外的智能装备的，树名族自有高技术品牌。