光刻胶(如液晶平板显示器光刻胶)
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液晶平板显示器制造:在液晶平板显示器(LCD)的生产过程中,光刻胶用于制作液晶盒内的各种精细图案,包括像素电极、公共电极、取向层图案等。这些图案的精度和质量直接影响液晶显示器的显示效果,如分辨率、对比度、视角等。
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有机发光二极管显示器(OLED)制造:OLED 显示器的制造同样需要光刻胶来制作电极、像素定义层等关键结构。OLED 显示器具有自发光、响应速度快等优点,而光刻胶能保障其精细的像素结构制作,提升显示器的发光效率和显示质量 。
吉田半导体全系列产品覆盖,满足多元化需求。济南制版光刻胶价格
半导体集成电路
? 应用场景:
? 晶圆制造:正性胶为主(如ArF/EUV胶),实现20nm以下线宽,用于晶体管栅极、接触孔等精细结构;
? 封装工艺:负性胶用于凸点(Bump)制造,厚胶(5-50μm)耐电镀溶液腐蚀。
? 关键要求:高分辨率、低缺陷率、耐极端工艺(如150℃以上高温、等离子体轰击)。
印刷电路板(PCB)
? 应用场景:
? 线路成像:负性胶(如环化橡胶胶)用于双面板/多层板外层线路,线宽≥50μm,耐碱性蚀刻液(如氯化铜);
? 阻焊层:厚负性胶(50-100μm)覆盖非焊盘区域,耐260℃焊接温度和助焊剂腐蚀;
? 挠性PCB(FPC):正性胶用于精细线路(线宽≤20μm),需耐弯曲应力。
? 优势:工艺简单、成本低,适合大面积基板(如1.2m×1.0m的PCB基板)。
平板显示
? 应用场景:
? 彩色滤光片:正性胶制作黑矩阵(BM)和RGB色阻间隔层,耐UV固化和湿法蚀刻(如HF溶液);
? OLED像素定义:负性胶形成像素开口(孔径5-50μm),耐有机溶剂(如OLED蒸镀前的清洗液);
? 触控面板:正性胶制作透明电极(如ITO线路),线宽≤10μm,需透光率>90%。
? 关键参数:高透光性、低收缩率(避免图案变形)。
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广东吉田半导体材料有限公司多种光刻胶产品,各有特性与优势,适用于不同领域。
LCD 正性光刻胶 YK - 200:具有较大曝光、高分辨率、良好涂布和附着力的特点,重量 100g。适用于液晶显示领域的光刻工艺,能确保 LCD 生产过程中图形的精确转移和良好的涂布效果。
半导体正性光刻胶 YK - 300:具备耐热耐酸、耐溶剂性、绝缘阻抗和紧密性,重量 100g。主要用于半导体制造工艺,满足半导体器件对光刻胶在化学稳定性和电气性能方面的要求。
耐腐蚀负性光刻胶 JT - NF100:重量 1L,具有耐腐蚀的特性,适用于在有腐蚀风险的光刻工艺中,比如一些特殊环境下的半导体加工或电路板制造。
先进制程瓶颈突破
KrF/ArF光刻胶的量产能力提升直接推动7nm及以下制程的国产化进程。例如,恒坤新材的KrF光刻胶已批量供应12英寸产线,覆盖7nm工艺,其工艺宽容度较日本同类型产品提升30%。这使得国内晶圆厂(如中芯国际)在DUV多重曝光技术下,能够以更低成本实现接近EUV的制程效果,缓解了EUV光刻机禁运的压力。此外,武汉太紫微的T150A光刻胶通过120nm分辨率验证,为28nm成熟制程的成本优化提供了新方案。
EUV光刻胶研发加速
尽管EUV光刻胶目前完全依赖进口,但国内企业已启动关键技术攻关。久日新材的光致产酸剂实现吨级订单,科技部“十四五”专项计划投入20亿元支持EUV光刻胶研发。华中科技大学团队开发的“双非离子型光酸协同增强响应”技术,将EUV光刻胶的灵敏度提升至0.5mJ/cm2,较传统材料降低20倍曝光剂量。这些突破为未来3nm以下制程的技术储备奠定基础。
新型光刻技术融合
复旦大学团队开发的功能型光刻胶,在全画幅尺寸芯片上集成2700万个有机晶体管,实现特大规模集成(ULSI)水平。这种技术突破不仅拓展了光刻胶在柔性电子、可穿戴设备等新兴领域的应用,还为碳基芯片、量子计算等颠覆性技术提供了材料支撑。
严苛光刻胶标准品质,吉田半导体绿色制造创新趋势。
工艺流程
? 目的:去除基板表面油污、颗粒,增强感光胶附着力。
? 方法:
? 化学清洗(硫酸/双氧水、去离子水);
? 表面处理(硅基板用六甲基二硅氮烷HMDS疏水化,PCB基板用粗化处理)。
涂布(Coating)
? 方式:
? 旋涂:半导体/显示领域,厚度控制精确(纳米至微米级),转速500-5000rpm;
? 喷涂/辊涂:PCB/MEMS领域,适合大面积或厚胶(微米至百微米级,如负性胶可达100μm)。
? 关键参数:胶液黏度、涂布速度、基板温度(影响厚度均匀性)。
前烘(Soft Bake)
? 目的:挥发溶剂,固化胶膜,增强附着力和稳定性。
? 条件:
? 温度:60-120℃(正性胶通常更低,如90℃;负性胶可至100℃以上);
? 时间:5-30分钟(根据胶厚调整,厚胶需更长时间)。
曝光(Exposure)
? 光源:
? 紫外光(UV):G线(436nm)、I线(365nm)用于传统光刻(分辨率≥1μm);
? 深紫外(DUV):248nm(KrF)、193nm(ArF)用于半导体先进制程(分辨率至20nm);
? 极紫外(EUV):13.5nm,用于7nm以下制程(只能正性胶适用)。
? 曝光方式:
? 接触式/接近式:掩膜版与胶膜直接接触(PCB、MEMS,低成本但精度低);
? 投影式:通过物镜聚焦(半导体,分辨率高,如ArF光刻机精度达22nm)。
吉田技术研发与生产能力。
青岛正性光刻胶工厂吉田技术自主化与技术领域突破!济南制版光刻胶价格
产品优势:多元化布局与专业化延伸
全品类覆盖
吉田产品涵盖芯片光刻胶、纳米压印光刻胶、LCD光刻胶、半导体锡膏等,形成“光刻胶+配套材料”的完整产品线。例如:
? 芯片光刻胶:覆盖i线、g线光刻胶,适用于6英寸、8英寸晶圆制造。
? 纳米压印光刻胶:用于MEMS、光学器件等领域,替代传统光刻工艺。
专业化延伸
公司布局半导体用KrF光刻胶,计划2025年启动研发,目标进入中芯国际、长江存储等晶圆厂供应链。
质量与生产优势:严格品控与自动化生产
ISO认证与全流程管控
公司通过ISO9001:2008质量体系认证,生产环境执行8S管理,原材料采用美、德、日进口高质量材料,确保产品批次稳定性。
质量指标:光刻胶金属离子含量低于0.1ppb,良率超99%。
自动化生产能力
拥有行业前列的全自动化生产线,年产能达2000吨(光刻胶及配套材料),支持大规模订单交付。
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