惠州水油光刻胶

来源：发布时间：2025-05-24

广东吉田半导体材料有限公司以光刻胶为中心，逐步拓展至半导体全材料领域，形成了 “技术驱动、全产业链覆盖” 的发展格局。公司产品不仅包括芯片与 LCD 光刻胶，还延伸至锡膏、焊片、靶材等配套材料，为客户提供一站式采购服务。

市场与荣誉：

产品远销全球 50 多个地区，客户包括电子制造服务商（EMS）及半导体厂商。
获评 “广东省专精特新企业”“广东省创新型中小企业”，并通过技术企业认证。
生产基地配备自动化设备，年产能超千吨，满足大规模订单需求。

未来展望：
公司计划进一步扩大研发中心规模，聚焦第三代半导体材料研发，如 GaN、SiC 相关光刻胶技术。同时，深化全球化布局，在东南亚、欧洲等地设立分支机构，强化本地化服务能力。

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以无卤无铅配方与低 VOC 工艺为，吉田半导体打造环保光刻胶，助力电子产业低碳转型。面对全球环保趋势，吉田半导体推出无卤无铅锡膏与焊片，通过欧盟 RoHS 认证，焊接可靠性提升 30%。其 LCD 光刻胶采用低 VOC 配方（<50g/L），符合欧盟 REACH 法规，生产过程中通过多级废气处理与水循环系统，实现零排放。公司严格执行 8S 现场管理，工业固废循环利用率超 90%，为新能源汽车、光伏储能等领域提供绿色材料解决方案，成为全球客户信赖的环保材料供应商。武汉LED光刻胶工厂半导体材料方案选吉田，欧盟 REACH 合规，24 小时技术支持！

应用场景

半导体集成电路（IC）制造：

? 逻辑芯片（CPU/GPU）：在28nm以下制程中，正性DUV/EUV胶用于晶体管、互连布线的精细图案化（如10nm节点线宽只有100nm）。

? 存储芯片（DRAM/NAND）：3D堆叠结构中，正性胶用于层间接触孔（Contact）和栅极（Gate）的高深宽比图形（深宽比＞10:1）。

平板显示（LCD/OLED）：

? 彩色滤光片（CF）：制作黑矩阵（BM）和彩色层（R/G/B），要求高透光率和边缘锐利度（线宽5-10μm）。

? OLED电极：在柔性基板上形成微米级透明电极，需低应力胶膜防止基板弯曲变形。

印刷电路板（PCB）：

? 高密度互连（HDI）：用于细线路（线宽/线距≤50μm），如智能手机主板，相比负性胶，正性胶可实现更精细的线路边缘。

微纳加工与科研：

? MEMS传感器：制作微米级悬臂梁、齿轮等结构，需耐干法蚀刻的正性胶（如含硅树脂胶）。

? 纳米光刻：电子束光刻胶（正性为主）用于研发级纳米图案（分辨率＜10nm）。

定义与特性

负性光刻胶是一种在曝光后，未曝光区域会溶解于显影液的光敏材料，形成与掩膜版（Mask）图案相反的图形。与正性光刻胶相比，其主要特点是耐蚀刻性强、工艺简单、成本低，但分辨率较低（通?！?μm），主要应用于对精度要求相对较低、需要厚胶或高耐腐蚀性的场景。

化学组成与工作原理

主要成分

基体树脂：

? 早期以聚异戊二烯橡胶（天然或合成）为主，目前常用环化橡胶（Cyclized Rubber）或聚乙烯醇肉桂酸酯，提供胶膜的机械强度和耐蚀刻性。

光敏剂：

? 主要为双叠氮化合物（如双叠氮芪）或重氮醌类衍生物，占比约5%-10%，吸收紫外光后引发交联反应。

交联剂：

? 如六亚甲基四胺（乌洛托品），在曝光后与树脂发生交联，形成不溶性网状结构。

溶剂：

? 多为有机溶剂（如二甲苯、环己酮），溶解树脂和光敏剂，涂布后挥发形成均匀胶膜。

工作原理

曝光前：光敏剂和交联剂均匀分散在树脂中，胶膜可溶于显影液（有机溶剂）。

曝光时：

? 光敏剂吸收紫外光（G线436nm为主）后产生活性自由基，引发交联剂与树脂分子间的共价键交联，使曝光区域形成不溶于显影液的三维网状结构。

显影后：

? 未曝光区域的树脂因未交联，被显影液溶解去除，曝光区域保留，形成负性图案（与掩膜版相反）。

光刻胶新兴及扩展应用。

晶圆制造（前道工艺）

? 功能：在硅片表面形成高精度电路图形，是光刻工艺的主要材料。

? 细分场景：

? 逻辑/存储芯片：用于28nm及以上成熟制程的KrF光刻胶（分辨率0.25-1μm）、14nm以下先进制程的ArF浸没式光刻胶（分辨率≤45nm），以及极紫外（EUV）光刻胶（目标7nm以下，研发中）。

? 功率半导体（如IGBT）：使用厚膜光刻胶（膜厚5-50μm），满足深沟槽刻蚀需求。

? MEMS传感器：通过高深宽比光刻胶（如SU-8）实现微米级结构（如加速度计、陀螺仪的悬臂梁）。

芯片封装（后道工艺）

? 先进封装技术：

? Flip Chip（倒装芯片）：用光刻胶形成凸点（Bump）下的 Redistribution Layer（RDL），线宽精度要求≤10μm。

? 2.5D/3D封装：在硅通孔（TSV）工艺中，光刻胶用于定义通孔开口（直径5-50μm）。

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主要优势：细分领域技术突破与产业链协同

技术积累与自主化能力

公司拥有23年光刻胶研发经验，实现了从树脂合成、光引发剂制备到配方优化的全流程自主化。例如，其纳米压印光刻胶通过自主开发的树脂体系，分辨率达3μm，适用于MEMS传感器、光学器件等领域，填补了国内空白。

技术壁垒：掌握光刻胶主要原材料（如树脂、光酸）的合成技术，部分原材料纯度达PPT级，金属离子含量低于0.1ppb，良率超99%。

产品多元化与技术化布局

产品线覆盖芯片光刻胶、纳米压印光刻胶、LCD光刻胶、半导体锡膏等，形成“光刻胶+配套材料”的完整体系。例如：

? LCD光刻胶：适配AMOLED、Micro LED等新型显示技术，与京东方、TCL华星合作开发高分辨率产品，良率提升至98%。

? 半导体锡膏：供应华为、OPPO等企业，年采购量超200吨，用于5G手机主板封装。

技术化延伸：计划2025年启动半导体用KrF光刻胶研发，目标进入中芯国际、长江存储供应链。

质量控制与生产能力

通过ISO9001:2008质量体系认证，生产环境执行8S管理，原材料采用美、德、日进口高质量材料。拥有全自动化生产线，年产能达2000吨（光刻胶及配套材料），支持大规模订单交付。

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标签：光刻胶锡片

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