依托自主研发与国产供应链,吉田半导体 LCD 光刻胶市占率达 15%,跻身国内前段企业。吉田半导体 YK-200 LCD 正性光刻胶采用国产树脂与单体,实现 100% 国产化替代。其分辨率 0.35μm,附着力 > 3N/cm,性能优于 JSR 的 AR-P310 系列。通过与国内多家大型企业的深度合作,产品覆盖智能手机、电视等显示终端,年供货量超 200 吨。公司建立国产原材料溯源体系,确保每批次产品稳定性,推动 LCD 面板材料国产化进程。
吉田半导体产品矩阵。重庆进口光刻胶
工艺流程
? 目的:去除基板表面油污、颗粒,增强感光胶附着力。
? 方法:
? 化学清洗(硫酸/双氧水、去离子水);
? 表面处理(硅基板用六甲基二硅氮烷HMDS疏水化,PCB基板用粗化处理)。
涂布(Coating)
? 方式:
? 旋涂:半导体/显示领域,厚度控制精确(纳米至微米级),转速500-5000rpm;
? 喷涂/辊涂:PCB/MEMS领域,适合大面积或厚胶(微米至百微米级,如负性胶可达100μm)。
? 关键参数:胶液黏度、涂布速度、基板温度(影响厚度均匀性)。
前烘(Soft Bake)
? 目的:挥发溶剂,固化胶膜,增强附着力和稳定性。
? 条件:
? 温度:60-120℃(正性胶通常更低,如90℃;负性胶可至100℃以上);
? 时间:5-30分钟(根据胶厚调整,厚胶需更长时间)。
曝光(Exposure)
? 光源:
? 紫外光(UV):G线(436nm)、I线(365nm)用于传统光刻(分辨率≥1μm);
? 深紫外(DUV):248nm(KrF)、193nm(ArF)用于半导体先进制程(分辨率至20nm);
? 极紫外(EUV):13.5nm,用于7nm以下制程(只能正性胶适用)。
? 曝光方式:
? 接触式/接近式:掩膜版与胶膜直接接触(PCB、MEMS,低成本但精度低);
? 投影式:通过物镜聚焦(半导体,分辨率高,如ArF光刻机精度达22nm)。
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作为东莞松山湖的企业,吉田半导体深耕光刻胶领域 23 年,成功研发出 YK-300 半导体正性光刻胶与 JT-2000 纳米压印光刻胶。YK-300 适用于 45nm 及以上制程,线宽粗糙度(LWR)≤3nm,良率达 98% 以上,已通过中芯国际等晶圆厂验证;JT-2000 突破耐高温极限,在 250℃复杂环境下仍保持图形稳定性,适用于 EUV 光刻前道工艺。依托进口原材料与全自动化生产工艺,产品通过 ISO9001 认证及欧盟 RoHS 标准,远销全球并与跨国企业建立长期合作,加速国产替代进程。
半导体集成电路
? 应用场景:
? 晶圆制造:正性胶为主(如ArF/EUV胶),实现20nm以下线宽,用于晶体管栅极、接触孔等精细结构;
? 封装工艺:负性胶用于凸点(Bump)制造,厚胶(5-50μm)耐电镀溶液腐蚀。
? 关键要求:高分辨率、低缺陷率、耐极端工艺(如150℃以上高温、等离子体轰击)。
印刷电路板(PCB)
? 应用场景:
? 线路成像:负性胶(如环化橡胶胶)用于双面板/多层板外层线路,线宽≥50μm,耐碱性蚀刻液(如氯化铜);
? 阻焊层:厚负性胶(50-100μm)覆盖非焊盘区域,耐260℃焊接温度和助焊剂腐蚀;
? 挠性PCB(FPC):正性胶用于精细线路(线宽≤20μm),需耐弯曲应力。
? 优势:工艺简单、成本低,适合大面积基板(如1.2m×1.0m的PCB基板)。
平板显示
? 应用场景:
? 彩色滤光片:正性胶制作黑矩阵(BM)和RGB色阻间隔层,耐UV固化和湿法蚀刻(如HF溶液);
? OLED像素定义:负性胶形成像素开口(孔径5-50μm),耐有机溶剂(如OLED蒸镀前的清洗液);
? 触控面板:正性胶制作透明电极(如ITO线路),线宽≤10μm,需透光率>90%。
? 关键参数:高透光性、低收缩率(避免图案变形)。
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光伏电池(半导体级延伸)
? HJT/TOPCon电池:在硅片表面图形化金属电极,使用高灵敏度光刻胶(曝光能量≤50mJ/cm2),线宽≤20μm,降低遮光损失。
? 钙钛矿电池:用于电极图案化和层间隔离,需耐有机溶剂(适应溶液涂布工艺)。
纳米压印技术(下一代光刻)
? 纳米压印光刻胶:通过模具压印实现10nm级分辨率,用于3D NAND存储孔阵列(直径≤20nm)、量子点显示阵列等。
微流控与生物医疗
? 微流控芯片:制造微米级流道(宽度10-100μm),材料需生物相容性(如PDMS基材适配)。
? 生物检测芯片:通过光刻胶图案化抗体/抗原固定位点,精度≤5μm。
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吉田半导体实现光刻胶技术突破,为半导体产业链自主化提供材料支撑。重庆进口光刻胶
广东吉田半导体材料有限公司的产品体系丰富且功能强大。
在光刻胶领域,芯片光刻胶为芯片制造中的精细光刻环节提供关键支持,确保芯片线路的精细刻画;
纳米压印光刻胶适用于微纳加工,助力制造超精细的微纳结构;
LCD 光刻胶则满足液晶显示面板生产过程中的光刻需求,保障面板成像质量。
在电子焊接方面,半导体锡膏与焊片性能,能实现可靠的电气连接,广泛应用于各类电子设备组装。
靶材产品在材料溅射沉积工艺中发挥关键作用,通过精细控制材料沉积,为半导体器件制造提供高质量的薄膜材料。凭借出色品质,远销全球,深受众多世界 500 强企业和电子加工企业青睐 。
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