青岛PCB光刻胶感光胶

来源：发布时间：2025-05-22

关键工艺流程

涂布：

? 在晶圆/基板表面旋涂光刻胶，厚度控制在0.1-5μm（依制程精度调整），需均匀无气泡（旋涂转速500-5000rpm）。

前烘（Soft Bake）：

? 加热（80-120℃）去除溶剂，固化胶膜，增强附着力（避免显影时边缘剥离）。

曝光：

? 光源匹配：

? G/I线胶：汞灯（适用于≥1μm线宽，如PCB、LCD）。

? DUV胶（248nm/193nm）：KrF/ArF准分子激光（用于28nm-14nm制程，如存储芯片）。

? EUV胶（13.5nm）：极紫外光源（用于7nm以下制程，需控制纳米级缺陷）。

? 曝光能量：需精确控制（如ArF胶约50mJ/cm2），避免过曝或欠曝导致图案失真。

显影：

? 采用碱性溶液（如0.262N四甲基氢氧化铵，TMAH），曝光区域胶膜溶解，未曝光区域保留，形成三维立体图案。

后烘（Post-Exposure Bake, PEB）：

? 化学增幅型胶需此步骤，通过加热（90-130℃）激发光酸催化反应，提高分辨率和耐蚀刻性。

负性光刻胶的工艺和应用场景。青岛PCB光刻胶感光胶

“设备-材料-工艺”闭环验证

吉田半导体与中芯国际、华虹半导体等晶圆厂建立了联合研发机制，针对28nm及以上成熟制程开发专门使用光刻胶，例如其KrF光刻胶已通过中芯国际北京厂的产线验证，良率达95%以上。此外，公司参与国家重大专项（如02专项），与中科院微电子所合作开发EUV光刻胶基础材料，虽未实现量产，但在酸扩散控制和灵敏度优化方面取得阶段性突破。

政策支持与成本优势

作为广东省专精特新企业，吉田半导体享受税收优惠（如15%企业所得税）和研发补贴（2023年获得国家补助超2000万元），比较明显降低产品研发成本。同时，其本地化生产（东莞松山湖基地）可将物流成本压缩至进口产品的1/3，并实现48小时紧急订单响应，这对中小客户具有吸引力。

宁波LCD光刻胶厂家吉田半导体产品矩阵。

上游原材料：

? 树脂：彤程新材、鼎龙股份实现KrF/ArF光刻胶树脂自主合成，金属杂质含量<5ppb（国际标准<10ppb）。

? 光引发剂：久日新材攻克EUV光刻胶原料光致产酸剂，累计形成吨级订单；威迈芯材合肥基地建成100吨/年ArF/KrF光刻胶主材料产线。

? 溶剂：怡达股份电子级PM溶剂全球市占率超40%，与南大光电合作开发配套溶剂，技术指标达SEMI G5标准。

设备与验证：

? 上海新阳与上海微电子联合开发光刻机适配参数，验证周期较国际厂商缩短6个月；徐州博康实现“单体-树脂-成品胶”全链条国产化，适配ASML Twinscan NXT系列光刻机。

? 国内企业通过18-24个月的晶圆厂验证周期（如中芯国际、长江存储），一旦导入不易被替代。

吉田半导体柯图泰全系列感光胶：进口品牌品质，本地化服务支持

柯图泰全系列感光胶依托进口技术，提供高性价比的丝网印刷解决方案。
吉田半导体代理的柯图泰全系列感光胶（如 PLUS 6000、Autosol 2000），源自美国先进配方，分辨率达 120 线 / 英寸，适用于玻璃、陶瓷等多种基材。产品通过 SGS 认证，符合电子行业有害物质限制要求，其高感光度与耐摩擦性，确保丝网印刷的清晰度与耐久性。公司提供技术参数匹配、制版工艺指导等本地化服务，帮助客户优化生产流程，降低材料损耗。

吉田半导体助力区域经济发展，推动产业链协同创新。

感光机制

? 重氮型（双液型）：需混合光敏剂（如二叠氮二苯乙烯二磺酸钠），曝光后通过交联反应固化，适用于精细图案（如PCB电路线宽≤0.15mm）。

? SBQ型（单液型）：预混光敏剂，无需调配，感光度高（曝光时间缩短30%），适合快速制版（如服装印花）。

? 环保型：采用无铬配方（如CN10243143A），通过多元固化体系（热固化+光固化）实现12-15mJ/cm2快速曝光，分辨率达2μm，符合欧盟REACH标准。

功能细分

? 耐溶剂型：如日本村上AD20，耐酒精、甲苯等溶剂，适用于电子油墨印刷。

? 耐水型：如瑞士科特1711，抗水性强，适合纺织品水性浆料。

? 厚版型：如德国K?ppen厚版胶，单次涂布可达50μm，用于立体印刷。

典型应用场景：

? PCB制造：使用360目尼龙网+重氮感光胶，配合LED曝光（405nm波长），实现0.15mm线宽，耐酸性蚀刻液。

? 纺织印花：圆网制版采用9806A型感光胶，涂布厚度20μm，耐碱性染料色浆，耐印率超10万次。

? 包装印刷：柔版制版选用杜邦赛丽® Lightning LFH版材，UV-LED曝光+无溶剂工艺，碳排放降低40%。

吉田半导体实现光刻胶技术突破，为半导体产业链自主化提供材料支撑。阻焊光刻胶国产厂商

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纳米压印光刻胶

微纳光学器件制造：制作衍射光学元件、微透镜阵列等微纳光学器件时，纳米压印光刻胶可实现高精度的微纳结构复制。通过纳米压印技术，将模板上的微纳图案转移到光刻胶上，再经过后续处理，可制造出具有特定光学性能的微纳光学器件，应用于光通信、光学成像等领域。

生物芯片制造：在 DNA 芯片、蛋白质芯片等生物芯片的制造中，需要在芯片表面构建高精度的微纳结构，用于生物分子的固定和检测。纳米压印光刻胶可帮助实现这些精细结构的制作，提高生物芯片的检测灵敏度和准确性。

青岛PCB光刻胶感光胶

标签：锡膏锡片光刻胶

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