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吉林进口光刻胶工厂

来源: 发布时间:2025-05-21

光刻胶的工作原理:

1. 涂覆与曝光:在基底(如硅片、玻璃、聚合物)表面均匀涂覆光刻胶,通过掩膜(或直接电子束扫描)对特定区域曝光。

2. 化学变化:曝光区域的光刻胶发生光化学反应(正性胶曝光后溶解,负性胶曝光后交联不溶)。

3. 显影与刻蚀:溶解未反应的部分,留下图案化的胶层,作为后续刻蚀或沉积的掩模,将图案转移到基底上。

在纳米技术中,关键挑战是突破光的衍射极限(λ/2),因此需依赖高能束曝光技术(如电子束光刻、极紫外EUV光刻)和高性能光刻胶(高分辨率、低缺陷)。

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工艺流程

? 目的:去除基板表面油污、颗粒,增强感光胶附着力。

? 方法:

? 化学清洗(硫酸/双氧水、去离子水);

? 表面处理(硅基板用六甲基二硅氮烷HMDS疏水化,PCB基板用粗化处理)。

 涂布(Coating)

? 方式:

? 旋涂:半导体/显示领域,厚度控制精确(纳米至微米级),转速500-5000rpm;

? 喷涂/辊涂:PCB/MEMS领域,适合大面积或厚胶(微米至百微米级,如负性胶可达100μm)。

? 关键参数:胶液黏度、涂布速度、基板温度(影响厚度均匀性)。

 前烘(Soft Bake)

? 目的:挥发溶剂,固化胶膜,增强附着力和稳定性。

? 条件:

? 温度:60-120℃(正性胶通常更低,如90℃;负性胶可至100℃以上);

? 时间:5-30分钟(根据胶厚调整,厚胶需更长时间)。

 曝光(Exposure)

? 光源:

? 紫外光(UV):G线(436nm)、I线(365nm)用于传统光刻(分辨率≥1μm);

? 深紫外(DUV):248nm(KrF)、193nm(ArF)用于半导体先进制程(分辨率至20nm);

? 极紫外(EUV):13.5nm,用于7nm以下制程(只能正性胶适用)。

? 曝光方式:

? 接触式/接近式:掩膜版与胶膜直接接触(PCB、MEMS,低成本但精度低);

? 投影式:通过物镜聚焦(半导体,分辨率高,如ArF光刻机精度达22nm)。

进口光刻胶厂家吉田半导体全系列产品覆盖,满足多元化需求。

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广东吉田半导体材料有限公司的产品体系丰富且功能强大。

在光刻胶领域,芯片光刻胶为芯片制造中的精细光刻环节提供关键支持,确保芯片线路的精细刻画;

纳米压印光刻胶适用于微纳加工,助力制造超精细的微纳结构;

LCD 光刻胶则满足液晶显示面板生产过程中的光刻需求,保障面板成像质量。

在电子焊接方面,半导体锡膏与焊片性能,能实现可靠的电气连接,广泛应用于各类电子设备组装。

靶材产品在材料溅射沉积工艺中发挥关键作用,通过精细控制材料沉积,为半导体器件制造提供高质量的薄膜材料。凭借出色品质,远销全球,深受众多世界 500 强企业和电子加工企业青睐 。

广东吉田半导体材料有限公司成立于松山湖经济技术开发区,是一家专注于半导体材料研发、生产与销售的技术企业。公司注册资本 2000 万元,拥有 23 年行业经验,产品涵盖芯片光刻胶、纳米压印光刻胶、LCD 光刻胶、半导体锡膏、焊片及靶材等,服务全球市场并与多家世界 500 强企业建立长期合作关系。
作为国家技术企业,吉田半导体以科技创新为驱动力,拥有多项技术,并通过 ISO9001:2008 质量体系认证。生产过程严格遵循 8S 现场管理标准,原材料均采用美、德、日等国进口的材料,确保产品质量稳定可靠。公司配备全自动化生产设备,具备行业大型的规模化生产能力,致力于成为 “半导体材料方案提供商”。
其明星产品包括:适用于 LCD 制造的正性光刻胶 YK-200/YK-300,具备高分辨率与优异涂布性能;3 微米负性光刻胶 SU-3,适用于厚膜工艺;耐高温达 250℃的纳米压印光刻胶 JT-2000,可满足高精度微纳加工需求。所有产品均符合要求,部分型号通过欧盟 ROHS 认证。
挑战与未来展望的发展。

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  1. 正性光刻胶(如 YK-300)
    应用场景:用于芯片的精细图案化,如集成电路(IC)、分立器件(二极管、三极管)的制造。
    特点:高分辨率(可达亚微米级),适用于多层光刻工艺,确保芯片电路的高精度与可靠性。
  2. 负性光刻胶(如 JT-1000)
    应用场景:用于功率半导体(如 MOSFET、IGBT)的制造,以及传感器(如 MEMS)的微结构成型。
    特点:抗蚀刻能力强,适合复杂图形的转移,尤其在深宽比要求较高的工艺中表现优异。
  3. 纳米压印光刻胶(JT-2000)
    应用场景:第三代半导体(GaN、SiC)芯片、量子点器件及微流控芯片的制造。特点:耐高温(250℃)、耐酸碱,支持纳米级精度图案复制,降低芯片的制造成本。
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吉田半导体水性感光胶 JT-1200:水油兼容,钢片加工精度 ±5μm

JT-1200 水性感光胶解决钢片加工难题,提升汽车电子部件制造精度。
针对汽车电子钢片加工需求,吉田半导体研发的 JT-1200 水性感光胶实现水油兼容性达 100%,加工精度 ±5μm。其高粘接强度与耐强酸强碱特性,确保复杂结构的长期可靠性。其涂布性能优良,易做精细网点,适用于安全气囊传感器、车载摄像头模组等精密部件。产品通过 IATF 16949 汽车行业认证,生产过程严格控制金属离子含量,确保电子产品可靠性。
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