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合肥阻焊光刻胶感光胶
来源：
发布时间：2025-05-16
纳米压印光刻胶
吉田公司以无卤无铅配方与低 VOC 工艺打造环保光刻胶。合肥阻焊光刻胶感光胶
技术挑战与发展趋势
更高分辨率需求：
? EUV光刻胶需解决“线边缘粗糙度（LER）”问题（目标＜5nm），通过纳米颗粒分散技术或新型聚合物设计改善。
缺陷控制：
? 半导体级正性胶要求金属离子含量＜1ppb，颗粒（＞50nm）＜1个/mL，需优化提纯工艺（如多级过滤+真空蒸馏）。
国产化突破：
? 国内企业（如上海新阳、南大光电、容大感光）已在KrF/ArF胶实现批量供货，但EUV胶仍被日本JSR、美国陶氏、德国默克垄断，需突破树脂合成、PAG纯度等瓶颈。
环保与节能：
? 开发水基显影正性胶（减少有机溶剂使用），或低烘烤温度胶（降低半导体制造能耗）。
典型产品示例
? 传统正性胶：Shipley S1813（G/I线，用于PCB）、Tokyo Ohka TSM-305（LCD黑矩阵）。
? DUV正性胶：信越化学的ArF胶（用于14nm FinFET制程）、中芯国际认证的国产KrF胶（28nm节点）。
? EUV正性胶：JSR的NeXAR系列（7nm以下，全球市占率超70%）。
正性光刻胶是推动半导体微缩的主要材料，其技术进步直接关联芯片制程的突破，未来将持续向更高精度、更低缺陷、更绿色工艺演进。
云南厚膜光刻胶国产厂商吉田技术自主化与技术领域突破！
广东吉田半导体材料有限公司多种光刻胶产品，主要涵盖厚板、负性、正性、纳米压印及光刻胶等类别，以满足不同领域的需求。
UV 纳米压印光刻胶：JT-2000 型号，耐强酸强碱，耐高温达 250°C，长期可靠性高，粘接强度高，重量 100g。适用于需要在特殊化学和高温环境下进行纳米压印光刻的工艺，如半导体器件制造。
其他光刻胶
- 水油光刻胶 JT-2001：属于水油两用光刻胶，具有工厂研发、可定制、使用、品质保障、性能稳定的特点，重量 1L。
- 水油光刻胶 SR-3308：同样为水油两用光刻胶，重量 5L，具备上述通用优势，应用场景。
关键应用领域
半导体制造：
? 在晶圆表面涂覆光刻胶，通过掩膜曝光、显影，刻蚀出晶体管、电路等纳米级结构（如EUV光刻胶用于7nm以下制程）。
印刷电路板（PCB）：
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显示面板（LCD/OLED）：
? 用于制备彩色滤光片、电极图案等。
微机电系统（MEMS）：
? 加工微结构（如传感器、执行器）。
工作原理（以正性胶为例）
1. 涂胶：在基材（如硅片）表面均匀旋涂光刻胶，烘干形成薄膜。
2. 曝光：通过掩膜版，用特定波长光线照射，曝光区域的光敏剂分解，使树脂变得易溶于显影液。
3. 显影：用显影液溶解曝光区域，留下未曝光的光刻胶图案，作为后续刻蚀或离子注入的掩蔽层。
4. 后续工艺：刻蚀基材（保留未被光刻胶保护的区域），或去除光刻胶（剥离工艺）。
吉田公司以无卤无铅配方与低 VOC 工艺打造光刻胶。
工艺流程
? 目的：去除基板表面油污、颗粒，增强感光胶附着力。
? 方法：
? 化学清洗（硫酸/双氧水、去离子水）；
? 表面处理（硅基板用六甲基二硅氮烷HMDS疏水化，PCB基板用粗化处理）。
涂布（Coating）
? 方式：
? 旋涂：半导体/显示领域，厚度控制精确（纳米至微米级），转速500-5000rpm；
? 喷涂/辊涂：PCB/MEMS领域，适合大面积或厚胶（微米至百微米级，如负性胶可达100μm）。
? 关键参数：胶液黏度、涂布速度、基板温度（影响厚度均匀性）。
前烘（Soft Bake）
? 目的：挥发溶剂，固化胶膜，增强附着力和稳定性。
? 条件：
? 温度：60-120℃（正性胶通常更低，如90℃；负性胶可至100℃以上）；
? 时间：5-30分钟（根据胶厚调整，厚胶需更长时间）。
曝光（Exposure）
? 光源：
? 紫外光（UV）：G线（436nm）、I线（365nm）用于传统光刻（分辨率≥1μm）；
? 深紫外（DUV）：248nm（KrF）、193nm（ArF）用于半导体先进制程（分辨率至20nm）；
? 极紫外（EUV）：13.5nm，用于7nm以下制程（只能正性胶适用）。
? 曝光方式：
? 接触式/接近式：掩膜版与胶膜直接接触（PCB、MEMS，低成本但精度低）；
? 投影式：通过物镜聚焦（半导体，分辨率高，如ArF光刻机精度达22nm）。
LCD 光刻胶供应商哪家好？吉田半导体高分辨率 + 低 VOC 配方！合肥阻焊光刻胶感光胶
绿色制造与循环经济
公司采用水性光刻胶技术，溶剂挥发量较传统产品降低60%，符合欧盟REACH法规和国内环保标准。同时，其光刻胶废液回收项目已投产，通过膜分离+精馏技术实现90%溶剂循环利用，年减排VOCs（挥发性有机物）超100吨。
低碳供应链管理
吉田半导体与上游供应商合作开发生物基树脂，部分产品采用可再生原料（如植物基丙烯酸酯），碳排放强度较传统工艺降低30%。这一举措使其在光伏电池和新能源汽车领域获得客户青睐，相关订单占比从2022年的15%提升至2023年的25%。
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