成都油性光刻胶工厂

来源：发布时间：2025-05-06

吉田半导体 SU-3 负性光刻胶：国产技术赋能 5G 芯片封装

自主研发 SU-3 负性光刻胶支持 3 微米厚膜加工，成为 5G 芯片高密度封装材料。
针对 5G 芯片封装需求，吉田半导体自主研发 SU-3 负性光刻胶，分辨率达 1.5μm，抗深蚀刻速率 > 500nm/min。其超高感光度与耐化学性确保复杂图形的完整性，已应用于高通 5G 基带芯片量产。产品采用国产原材料与工艺，不采用国外材料，成本较进口产品降低 40%，帮助客户提升封装良率至 98.5%，为国产 5G 芯片制造提供关键材料支撑。

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国家大基金三期：注册资本3440亿元，明确将光刻胶列为重点投资领域，计划投入超500亿元支持树脂、光引发剂等原料研发，相当于前两期投入总和的3倍。

地方专项政策：湖北省对通过验证的光刻胶企业给予设备采购补贴+税收减免，武汉太紫微凭借全流程国产化技术获中芯国际百万级订单；福建省提出2030年化工新材料自给率达90%，光刻胶是重点突破方向。

研发专项：科技部“双十计划”设立20亿元经费，要求2025年KrF/ArF光刻胶国产化率突破10%，并启动EUV光刻胶预研。

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? 化学反应：

? 正性胶：曝光后光敏剂（如重氮醌DQN）分解，生成羧酸，在碱性显影液中溶解；

? 负性胶：曝光后光敏剂引发交联剂与树脂形成不溶性网状结构。

5. 显影（Development）

? 显影液：

? 正性胶：碱性水溶液（如0.26N四甲基氢氧化铵TMAH），溶解曝光区域；

? 负性胶：有机溶剂（如二甲苯、醋酸丁酯），溶解未曝光区域。

? 方法：喷淋显影（PCB）或沉浸式显影（半导体），时间30秒-2分钟，需控制显影液浓度和温度。

6. 后烘（Post-Bake）

? 目的：固化胶膜，提升耐蚀刻性和热稳定性。

? 条件：

? 温度：100-150℃（半导体用正性胶可能更高，如180℃）；

? 时间：15-60分钟（厚胶或高耐蚀需求时延长）。

7. 蚀刻/离子注入（后续工艺）

? 蚀刻：以胶膜为掩膜，通过湿法（酸碱溶液）或干法（等离子体）刻蚀基板材料（如硅、金属、玻璃）；

? 离子注入：胶膜保护未曝光区域，使杂质离子只能注入曝光区域（半导体掺杂工艺）。

8. 去胶（Strip）

? 方法：

? 湿法去胶：强氧化剂（如硫酸+双氧水）或有机溶剂（如N-甲基吡咯烷酮NMP）；

? 干法去胶：氧等离子体灰化（半导体领域，无残留）。

市场拓展

? 短期目标：2025年前实现LCD光刻胶国内市占率10%，半导体负性胶进入中芯国际、华虹供应链，纳米压印胶完成台积电验证。

? 长期愿景：成为全球的半导体材料方案提供商，2030年芯片光刻胶营收占比超40%，布局EUV光刻胶和第三代半导体材料。

. 政策与产业链协同

? 受益于广东省“强芯工程”和东莞市10亿元半导体材料基金，获设备采购补贴（30%）和税收减免，加速KrF/ArF光刻胶研发。

? 与松山湖材料实验室、华为终端建立联合研发中心，共同攻关光刻胶关键技术，缩短客户验证周期（目前平均12-18个月）。

. 挑战与应对

? 技术壁垒：ArF/EUV光刻胶仍依赖进口，计划2026年建成中试线，突破分辨率和灵敏度瓶颈（目标曝光剂量<10mJ/cm2）。

? 供应链风险：部分原材料（如树脂）进口占比超60%，正推进“国产替代计划”，与鼎龙股份、久日新材建立战略合作为原材料供应。

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以 15% 年研发投入为驱动，吉田半导体加速 EUV 光刻胶与木基材料研发，抢占行业制高点。布局下一代光刻技术。
面对极紫外光刻技术挑战，吉田半导体与中科院合作开发化学放大型 EUV 光刻胶，在感光效率（<10mJ/cm2）和耐蚀性（>80%）指标上取得阶段性进展。同时，公司前瞻性布局木基光刻胶研发，对标日本王子控股技术，探索生物基材料在半导体封装中的应用。这些技术储备为 7nm 及以下制程提供支撑，助力中国在下一代光刻技术中占据重要地位。半导体光刻胶：技术领域取得里程碑。山东紫外光刻胶生产厂家

松山湖企业深耕光刻胶领域二十载，提供全系列半导体材料解决方案。成都油性光刻胶工厂

国际标准与客户认证

公司通过ISO9001、ISO14001等认证，并严格执行8S现场管理，生产环境洁净度达Class 10级。其光刻胶产品已通过京东方、TCL华星的供应商认证，在显示面板领域的市占率约5%，成为本土企业中少数能与日本JSR、德国默克竞争的厂商。

全流程可追溯体系

吉田半导体建立了从原材料入库到成品出库的全流程追溯系统，关键批次数据（如树脂分子量分布、光敏剂纯度）实时上传云端，确保产品一致性和可追溯性。这一体系使其在车规级芯片等对可靠性要求极高的领域获得突破，2023年车用光刻胶销售额同比增长120%。

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标签：光刻胶锡片

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