在半导体行业,直线电机因其高精度、高速度、高加速度和长行程等特点,被广泛应用于多个制造和加工环节。以下是一些具体的应用场景:
晶圆制造:①晶圆切割:直线电机用于晶圆切割机的精确控制,确保晶圆切割的精度和效率。②晶圆清洗:在晶圆清洗设备中,直线电机用于控制清洗头的运动,以实现均匀清洗。
光刻:①光刻机:直线电机用于光刻机的曝光系统,精确控制掩模对晶圆的定位和曝光,以实现微米级甚至纳米级的图案转移。
硅片加工:①蚀刻机:直线电机用于蚀刻机的硅片传输和定位,确保蚀刻过程的高精度。②离子注入:在离子注入机中,直线电机用于精确控制离子束对晶圆的注入角度和位置。
芯片封装:①芯片贴装:直线电机用于芯片贴装机,精确地将芯片放置到引线框架或基板上。②打线机:在打线机中,直线电机用于精确控制打线头,将金线或铜线连接到芯片的焊盘上。 TOYO机器人,准确定位,快速完成生产作业。多轴模组系列TOYO机器人大理石平台
TOYO直线模组支持多轴联动控制,能够实现复杂的运动轨迹。例如,在3D打印设备或数控机床中,多轴联动的直线模组可以精确控制工具头的运动路径,从而完成复杂的加工任务。这种多轴联动能力极大地扩展了直线模组的应用范围。环境适应性:TOYO直线模组具有良好的环境适应性,能够在高温、低温、潮湿或粉尘较多的环境中稳定运行。例如,在食品加工行业中,直线模组需要经常接触水或蒸汽,TOYO的防水防尘设计确保了其在恶劣环境中的可靠性。奈米定位平台系列TOYO机器人龙门模组TOYO驱动器支持IO、脉冲、RS485和EC通讯(选配)。
XC100驱动器的特点支持IO控制、RS485控制、脉冲控制、EtherCAT控制(需要选配,XC100E)
使用XC100驱动器时需搭配软件TOYO-Single使用,可以通过该软件控制轴运动、修改参数、设置点位、监控信号/数据。
XC100驱动器支持不外接传感器的情况下实现回零操作(通过扭力判断是否到达原点),同时输出回原完成信号。XC100驱动器可以通过软件设置行程软限位,限位到达会有限位报警(无法判断正限位/负限位)。
XC100驱动器输入点位有14个,输出点位有10个,只支持NPN接线方式。
XC100驱动器编码器为增量式,断电位置会丢失,每次断电重启需回原操作。
XC100可实现扭力控制,动作时达到设定的扭力即动作完成。
XC100支持集电极控制与差分控制,集电极控制容易受干扰,建议使用差分控制。
TOYO直线电机分类:有铁芯平板型直线电机、无铁芯U型直线电机、轴棒型直线电机。有铁芯平板型直线电机分为:G系列与一般系列;G系列:速度可达:2500mm/s,水平负载:3-20KG,行程可达:2520mm,精度:±1~2μ。一般系列:速度可达:2500mm/s,水平负载:20-120KG,行程可达:8000mm,精度:±1~2μ。无铁芯U型直线电机:速度可达:2500mm/s,水平负载:4-15KG,行程可达:1290mm,精度:±1~2μ。轴棒型直线电机:速度可达:2500mm/s,水平负载:15-51KG,行程可达:1940mm,精度:±1~2μ。TOYO大理石平台为半导体设备提供精度保证!
TOYO直线模组在设计和制造过程中充分考虑了噪音控制问题,采用了低摩擦的导轨和滑块材料,以及优化的传动系统。这种低噪音特性使其适用于对工作环境噪音要求较高的场景,例如医疗设备、实验室仪器和办公自动化设备。TOYO直线模组的关键部件采用了耐磨材料和先进的表面处理技术,能够在长时间运行中保持稳定的性能。此外,其密封设计有效防止了灰尘和杂质的侵入,减少了维护频率和成本。长寿命和低维护特性使其成为高负荷生产环境中的理想选择。以科技为动力,TOYO机器人推动工业自动化发展。高精密TOYO机器人气浮平台
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TOYO 机器人以其非凡的精度而闻名。在制造和装配等任务中,能够实现精确到毫米甚至更小的操作精度。这使得它在电子产品制造、精密机械加工等领域具有巨大优势。例如,在手机电路板的组装过程中,TOYO 机器人可以准确地将微小的电子元件放置在特定位置,确保产品质量和性能。高速度也是 TOYO 机器人的一大特点。它能够快速地完成各种动作,提高生产效率。在汽车制造行业,TOYO 机器人可以在短时间内完成车身焊接、零部件安装等任务,满足大规模生产的需求。多轴模组系列TOYO机器人大理石平台