微小孔的加工一直是机械制造中的一个难点，围绕这个问题研究人员进行了大量研究。目前可用于加工微小孔的方法有：机械加工、激光加工、电火花加工、超声加工、电子束加工及复合加工等。有关各种方法可加工的微小孔直径范围已有较多的报道，而对于加工所得微小孔侧壁粗糙度的研究却比较少。随着科学技术的发展和产品的日益精密化、集成化和微型化，微小孔越来越广地应用于汽车、电子、光纤通讯和流体控制等领域，这些应用对微小孔的加工也提出了更高的要求。宁波米控机器人科技有限公司的微孔加工技术适用于医疗器械制造，满足高洁净度要求。山东喷丝板微孔加工

电火花能加工任何导电材料的各种不同截面形状的小孔,小孔径或槽宽可达5μ，尺寸精度可达2μm，表面粗糙度达Ra0.32μm，电火花小孔磨削可达Ra0.08μm，加工微小孔时电极与工件间无任何的机械力作用，所以可加工薄壁、弹性件等低刚度零件，也可在斜面上加工，还可加工一些弯孔。但是，电火花加工的速度极低，加工的成本比较高，用于加工小孔的电极铜工的制造难度较大，其电极铜工的装夹和校准也相当困难，对于批量生产难度很大，只能针对极少数的小孔。宁波精密微孔加工化学蚀刻微孔加工利用特定化学试剂与材料的化学反应来蚀除材料形成微孔，大面积微孔阵列时有独特优势。

在工业生产过程中，很多零件经常需要加工一些小孔，像0.01mm孔径大小的就属于小微孔?？椎拇笮【龆思庸さ哪讯?。那么，细小的微孔是如何加工出来的呢？微孔加工，是传统加工里很难的技术，属于微细加工的一部分。这些微型小孔只有在高倍显微镜下才能看的到。目前微孔加工的方式有三种，分别是电火花，机械，激光。电火花加工，可以加工0.08mm直径的微孔，但是其微孔孔壁会留下再铸层，从而影响微孔的适用寿命，使得微孔的孔壁表面质量发生恶化?；底昕?，其钻头非常容易断裂，而且在微孔的出口处会留下毛刺，这种毛刺会影响适用效果。激光加工，激光可以直径非常小的孔，可至0.001mm。

微孔加工方法：电火花是微孔加工的重要组成部分，电火花微孔加工技术随着微机械、精密机械、光学仪器等领域的不断拓展而得到较广的关注。电火花微孔加工以其加工中受力小、加工的孔径和深度由调节电参数就可得到控制等优势，使其在各国的研究日益活跃。但是电火花加工是一个典型的慢加工，在加工微孔时表现得尤为明显，时间随着加工精度的提高而减慢。对于少量的孔如：2个或5个左右，可以使用，主要是针对模具打孔等操作，无法批量生产，费用高。宁波米控机器人科技有限公司的微孔加工设备采用高效除尘系统，保持加工环境清洁。

着超快激光加工技术的不断发展和升级，超快激光精密加工装备也在不断更新迭代，并在航空、航天、汽车、电子等领域实现了较广的应用，为各领域的超精细加工提供了“支点型”的技术手段。例如解决了困扰航空发动机多年的高精度低损伤“卡脖子”难题，为国产大飞机换上“中国心”打下坚实的基??；解决了航天动力系统高精度制孔、超精密刻蚀、超精细切割的瓶颈难题，促进我国航天系统转型升级；解决了汽车喷油嘴、电子柔性电路板、硬脆材料等高精度、低损伤加工难题，加快超快激光加工技术向民用领域的推广应用。宁波米控机器人科技有限公司的微孔加工设备支持多轴联动，实现复杂孔型加工。浙江激光异型孔加工

微孔加工在航空航天领域用于制造涡轮叶片冷却孔等部件，其微孔结构有助于提升部件耐高温与抗疲劳性能。山东喷丝板微孔加工

传统的微孔加工技术主要有机械加工、超声波打孔、化学腐蚀加工以及电火花加工等，这些技术各有各的优点和缺点，且在工业应用中已经相对成熟，但无法满足更高精度的倒锥微孔加工的需求。随着脉冲激光技术的快速发展，其高精细的加工、良好的单色性与方向性等特点，被越来越多的应用于高精度微结构成型中。激光凭借其强度、良好的方向性和相干性，再使其通过特定的光学系统，可将激光束聚焦为直径几微米的光斑，使其能量密度高达10^6～10^8W/cm2，产生104℃以上的高温，材料会在10^4℃以上的温度下迅速达到熔点，熔化成熔融物，随着激光的继续作用，材料温度会继续升高，熔融物开始汽化，产生蒸汽层，形成了固、液、汽三相共存状态。由于蒸汽压力的作用，熔融物会被喷溅出去，形成孔的初始形貌。随着激光作用时间的增加，孔深度和孔直径不断增加，到激光作用完成后，未被喷溅出去的熔融物会逐渐凝固，形成重铸层，达到加工的目的山东喷丝板微孔加工