随着电子产品朝着便携式、小型化的方向发展，单位体积信息的提高（高密度）和单位时间处理速度的提高（高速化）对微电子封装技术提出不断增长的新需求。例如现代手机和数码相机每平方厘米安装大约为1200条互连线。提高芯片封装水平的关键之处就是在不同层面的线路之间保留微型过孔的存在，这样通过微型过孔不仅提供了表面安装器件与下面信号面板之间的高速连接，而且有效地减小了封装面积。 微孔加工的工艺分析。珠三角激光微孔加工技术

激光微孔设备打孔是用聚焦镜将激光束聚焦在金属材料表面使其熔化，同时用与激光束同轴的压缩气体吹走被熔化的材料，并使激光束与材料沿一定轨迹做相对运动，从而形成一定形状的切缝。激光打孔技术近年来发展迅速，由于激光打孔其具有打孔尺寸精度高、打孔无毛刺、打孔不变形、打孔速度快且不受加工形状限制等特点，目前已越来越多地应用于机械加工领域。

激光微孔设备具有以下优点：激光微孔设备精度高：定位精度可达到0.01mm，重复定位精度0.02mm；切缝窄，激光束聚焦成很小的光点，使焦点处达到很高的功率密度，材料很快加热至气化程度，蒸发形成孔洞，随着光束与材料相对线性移动，使孔洞连续形成宽度很窄的切缝。 珠三角微孔加工设备如何计算打孔的大小以及准确性？

激光微加工技术具有非接触、有选择性加工、热影响区域小、高精度与高重复率、高的零件尺寸与形状的加工柔性等优点。实际上，激光微加工技术一大特点是“直写”加工，简化了工艺，实现了微型机械的快速成型制造。此外，该方法没有诸如腐蚀等方法带来的环境污染问题，可谓“绿色制造”。在微机械制造中采用的激光微加工技术有两类：

1) 材料去除微加工技术，如激光直写微加工、激光LIGA 等；

2) 材料堆积微加工技术，如激光微细立体光刻、激光辅助沉积、激光选区烧结等。

  机械加工小孔的方法是通过刀具或钻头来完成，是一种历史悠久的传统加工方法，在目前的加工领域应用很广，在小孔加工领域，常用的机械加工方法是钻削，钻削具有生产效率高，表面质量和加工精度较高，是一种精度、经济和效率都优越的加工方法，但是加工0.1mm的小孔尤其是密集型小孔加工方面任然存在着缺陷和相当大的难度，主要原因是钻头的直径也要小于0.1mm，0.1mm以下的钻头制造都已经相当的困难，就算可以制造出0.1mm以下的钻头，又因为钻头直径小，其刚性和强度都明显降低，在机床加工过程中因为摇晃会不断折断。所以直径0.1mm小孔加工尤其是密集的小孔加工用机械加工的方式基本是不可行的。 激光微孔加工的优点是什么？

随着科学技术的发展，许多产品都涉及有密集的 微孔阵列结构，如场致发射阴极微锥阵列衬底。场致 发射阴极微锥阵列衬底需要制备大量密集的倒锥微 孔，用激光加工单个倒锥孔时效率高，但使用常用的 串行加工高密集微孔阵列时会存在加工效率低，加工 时间长等问题。激光并行加工技术可以很好地解 决上述问题，激光分光器可以使激光分束，实现并行 加工。目前已经研发出多种激光分束器，如空间调制器、分光棱镜等。 在进行激光微孔加工的时候需要注意什么？珠三角微孔加工设备

哪里有可以做微孔加工的？珠三角激光微孔加工技术

微孔加工方法：

线切割是采取线电极连续供丝的方式，即线电极在运动过程中完成加工，因此即使线电极发生损耗，也能连续地予以补充，故能提高零件加工精度。慢走丝线切割机所加工的工件表面粗糙度通常可达到Ra=0.8μm及以上，且慢走丝线切割机的圆度误差、直线误差和尺寸误差都较快走丝线切割机好很多，所以在加工高精度零件时，慢走丝线切割机得到了广泛应用。但是对于微孔加工来讲，使用线切割工艺材料容易变形，如果批量生产的话线切割无法应对，并且价格昂贵，客户一般难以接受。 珠三角激光微孔加工技术

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