半导体设备对气体质量流量控制器的要求重要的一点就是高精度,传统的气体质量流量控制器在使用一段时间后,由于环境温度、气体污染等原因,有可能出现精度超差的现象,但由于检测条件的限制,用户无法对气体质量流量控制器的精度进行检验。因此需要研究一种自我诊断技术,通过该技术,用户可以随时对气体质量流量控制器的精度进行检验。增加气体质量流量控制器的自我诊断功能,需要通过初级流量测量原理获得流量。若Qm为气体的质量流量,可以根据压力、温度与气体流量变化方程建立压力随时间的变化曲线建立气体质量流量控制器的精度对应表,进行自我诊断过程中,与该表格信息进行对比,可通过两条曲线的相似度判定,系统的精度是否在要求范围内。自我诊断技术很大程度的提高了气体质量流量控制系统的可靠性,完善了系统功能。气体质量流量控制器常见类型有电磁流量计。数字式气体质量流量控制器批发
在使用气体质量流量控制器时的注意事项:安装位置问题:本控制器安装时较好保持安装面水平,但对位置并不特别敏感,可以任意位置安装,非水平位置安装时若发现零点偏移,可以调整零点后在工作。阀口密封问题:气体质量流量控制器的电磁阀是调节阀,不是截止阀,不能当截止阀使用,用户应另配截止阀。特别是用户使用腐蚀性气体,通常应该在气体质量流量控制器进出气口各加一个截止阀,以保证工作安全。长期工作后,如果控制器阀口的漏气率在2%F.S以内,是属于正常情况。如果漏气大于满量程的2%,则应进行维修。四川数字式气体质量流量控制器哪家的好气体质量流量控制器可应用于生产半导体时高纯度气体质量流量测量。
气体质量流量控制器常识:气体质量流量控制器的原理是什么?气体质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大,放大后的流量检测电压与设定电压进行比较,再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与气体质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源,数字电压表,设定电位器,外设、内设转换和三位阀控开关等。
燃烧行业气体质量流量控制器的的常见故障:如果发现气体质量流量控制器在运行时不能正常工作,请先做以下检查:接线不正确,这时需要检查供电电源、控制反馈信号、控制地等接线是否和接线定义要求一致;配气、出气压力是否和订货时压力范围一致;配气管道有无堵塞或折弯瓶颈;使用气体是否干燥洁净,有无杂质,是否有油、气等易产生污染的杂质;控制反馈信号,是否满足产品使用范围,比如在关闭时,模拟控制信号设定应该为0V。以上几个问题,如果是接线问题,在没有损坏气体质量流量控制器内部电路板的情况下,更改接线便可以正常工作,如果损坏电路板,或者有控制器内部传感器污染问题,请尽快返厂家进一步分析维修。热式气体质量流量控制器在环境?;ぶ卫淼难芯恐械闹匾栽嚼丛礁?。
在使用气体质量流量控制器时的注意事项:加装过滤器:使用气体必须净化,切忌粉尘、液体和油污。必要时加装过滤器,如果流量计出口接有液体源瓶,应在流量计出口加装单向阀,防止液体回流损坏流量计。使用腐蚀性气体:流量计通道采用的材料为:氟橡胶等耐蚀材料。在用户系统无汽水、低泄露、勤清晰、使用得当的条件下,可以用于控制一般的腐蚀性其他使用强腐蚀性气体和有机溶剂气体时,应在定货时声明。使用特殊腐蚀性气体,所有密封材料都要作相应改变。原则上是气体质量流量控制器工作是不需要温度和压力补偿的。江西M2030VA气体质量流量控制器批发厂家
气体质量流量控制器可应用于食品加工及饮料气体质量流量和控制。数字式气体质量流量控制器批发
选择气体质量流量控制器产品和订货时应当注意什么?注意选择正确的量程:将您需要的流量换算成标准状态下的流量(质量流量)。根据厂家提供的质量流量转换系数表,将您所用气体的质量流量值换算成与氮气(标定气体)等价的质量流量值。如果您希望按您实际使用的气体标定,请向厂家说明。有关质量流量转换系数的问题,以下还有进一步解答。确定所需标准量程。厂家一般有自己的各种规格的标准量程,您实际使用的流量较大值应接低于某个标准量程值。标准量程的选取要避免过大或过小。质量流量的误差指标是按满量程值的百分比规定的,如果实际流量较小而量程值选取过大,则测量值的相对误差较大。数字式气体质量流量控制器批发
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