气体质量流量控制器在半导体集成电路工艺电路及光纤熔炼等方面的应用打破了行业的固有发展模式。特别是某些服务完善的气体质量流量控制器的普及与应用促使行业的加工工艺发生了重大变革,气体质量流量控制器出厂前需满足耐气压要求:据市场反馈不同种类的气体质量流量控制器具有不同的耐气压要求。据统计流量控制器的耐气压分为1MPa、3MPa、10Mpa这三种,现今较为常用的是10Mpa的差压气体质量流量控制器,它可通过流体流经节流装置时管道所产生的压力差作为流量测量的依据。气体质量流量控制器用于对于气体的质量流量进行精密测量和控制。浙江M2030VA气体质量流量控制器生产厂家
在使用气体质量流量控制器时的注意事项:加装过滤器:使用气体必须净化,切忌粉尘、液体和油污。必要时加装过滤器,如果流量计出口接有液体源瓶,应在流量计出口加装单向阀,防止液体回流损坏流量计。使用腐蚀性气体:流量计通道采用的材料为:氟橡胶等耐蚀材料。在用户系统无汽水、低泄露、勤清晰、使用得当的条件下,可以用于控制一般的腐蚀性其他使用强腐蚀性气体和有机溶剂气体时,应在定货时声明。使用特殊腐蚀性气体,所有密封材料都要作相应改变。浙江M2030VA气体质量流量控制器生产厂家气体质量流量控制器可应用于制气配气行业。
工业和科研实验室经常会使用到气体质量流量控制器,本装置主要是通过控制气体流量的大小来进行一个气体浓度的调节,那么用户在选择气体配比装置时,关于气体的总流量大小应该如何确认和选择呢?有没有什么简单的测量方法?第1种情况:用户在明确知道所需总流量和浓度的情况下,只需要向公司的销售和技术人员说明即可。第2种情况:用户只知道流量但是不知道浓度的情况下,我公司产品可按照比例范围或流量大小,直接开放浓度稀释设置,用户在使用时自行调节设置浓度即可。第3种情况:用户只知道浓度稀释范围,但是不知道流量大小,公司技术人员可根据现场使用工装或用简易的流量测量方式,即可确定流量。
气体质量流量控制器,即MassflowController(缩写为MFC),不但具有质量流量计的功能,它本身还能够自动控制气体的流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动的将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度变化,也不会使其偏离其设定值。简单的说,气体质量流量控制器就是一个稳流装置,是一个可以手动设定或与电脑连接自动控制的气体稳流装置。气体流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。对于多数气体测量控制系统而言,很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。热式气体质量流量控制器安装时尽量保持安装面水平,非水平安装时如发现零点偏移,可调整零点后再工作。
气体质量流量控制器的常见类型:涡轮流量计,是速度式流量计中的主要种类,它采用多叶片的转子(涡轮)感受流体平均流速,从而推导出流量或总量的仪表。超声流量计,通过检测流体流动对超声束(或超声脉冲)的作用以测量流量的仪表。电磁流量计,电磁流量计是根据法拉弟电磁感应定律制成的一种测量导电性液体的仪表。电磁流量计有一系列优良特性,可以解决其它流量计不易应用的问题,如脏污流、腐蚀流的测量。热式流量计,热式流量计传感器包含两个传感元件,一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值,使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时,电加热消耗的能量,也可以说热消散值,与流过气体的质量流量成正比,它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。气体质量流量控制器响应快。天津高精度气体质量流量控制器价格
气体质量流量控制器可应用于泄露监测。浙江M2030VA气体质量流量控制器生产厂家
一般造成热式气体质量流量控制器零点漂移的因素有许多,解决热式气体质量流量控制器零漂问题,首先要定期进行零点检查和调整,二是需要和工艺配合来解决。一般情况下,管道压力变化造成介质微量流动也会导致质量流量控制器/质量流量计的零点漂移,出现这种漂移时,要关闭热式气体质量流量控制器或流量计前段的电磁阀(流量控制器不能当做截止阀来使用),使管道内处于完全零流状态或在管道适当位置设置排气口,消除管道内的压力和气流,从而达到消除零点漂移。如果是零点出现大幅漂移,而且每次漂移差别很大,就需要检查管道内使用有大量的压力或气体残留,需要打开各种阀门,全部排空气体管路,防止设备或管路憋压。浙江M2030VA气体质量流量控制器生产厂家
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