气体质量流量控制器(MFC)与气体质量流量计(MFM),MFC是带有控制气体质量流量的装置,而MFM是不具有控制气体质量流量功能的装置。质量流量计直接测量通过流量计的介质的质量流量,还可测量介质的密度及间接测量介质的温度。由于变送器是以单片机为重点的智能仪表,因此可根据上述三个基本量而导出十几种参数供用户使用。质量流量计组态灵活,功能强大,性能价格比高,是新一代流量仪表。质量流量计可分为两类:一类是直接式,即直接输出质量流量;另一类为间接式或推导式,如应用超声流量计和密度计组合,对它们的输出再进行乘法运算以得出质量流量。当气体质量流量控制器处于清洗状态时,可以当质量流量计使用。辽宁迷你气体质量流量控制器厂家
气体质量流量控制器:流量控制的范围是满量程的2~100%(量程比为50:1),因此在很多领域得到普遍的应用。气体质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门,阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程,在工作的过程当中,控制器的入口和出口之间会产生一个气压降,己压差。MFC的工作压差范围通常为0.1Mpa~0.3Mpa,若压差低于较低值(O.1MPa),有可能控制达不到满量程值;若高于较高值((0.3MPa),有可能关闭时流量不能小于2%FS。陕西迷你式气体质量流量控制器维护通入不同的工艺气体,要选择对应气体专门使用的气体质量流量控制器,以保证输入气体的稳定和计量。
热式气体质量流量控制器/流量计只能测量和控制干燥的、纯净的气体。如果是气体中含有水分或杂质,就容易让我们的毛细管传感器堵塞或损坏,从而导致流量控制器损坏或测定的流量数据不准确,没有参考意义。对工作环境也有一定的要求。一般会建议用户不在很恶劣的环境中使用本产品,如:空气中含有高浓度的化学物质、潮湿等。使用腐蚀性气体和有机溶剂气体问题。气体流经的通道采用的材料为:316L不锈钢、丁腈、氟橡胶等耐蚀材料。在使用得当的条件下,可以用于控制一般的腐蚀性气体,不能直接使用强腐蚀性气体和有机溶剂气体。如果需要使用有腐蚀性和有机溶液的介质时,应在定货时声明。
气体质量流量控制器,即MassFlowController(缩写为MFC),是一个可以手动设定或与电脑连接自动控制的气体稳流装置,能在比较宽的量程范围内快速而精确的控制气体流量,即使系统压力有波动或环境温度有轻微变化,也不会影响其正常的工作,原则上是不需要温度和压力补偿的,气体质量流量控制器(MFC)在石化工业、生化、半导体和集成电路工业、特种材料学科、医药、蔬果保鲜、加气饮料、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。气体质量流量控制器可预置多种气体曲线并根据需要设定量程范围。
客户在使用气体质量流量控制器/计时,对于气体的要求:1,气体必须洁净并且没有颗粒物,没有液体,这就要求在气体质量流量控制器/计的上游气路中安装<30μm的过滤器。2,输入的气体压力必须符合产品的耐压标准,不可以超过气体质量流量控制器/计要求的压力。3、气体质量流量控制器/计使用的气体必须与用户订货选择的密封材料相适应,用户有责任按照可用的安全规章使用每种气体。不正确的使用产品会使保修无效,由于不正确的使用所导致的损害不能归咎于厂家。气体质量流量控制器可应用于医学应用。天津小流量气体质量流量控制器厂家报价
气体质量流量控制器常见类型有科里奥利式流量计。辽宁迷你气体质量流量控制器厂家
气体质量流量控制器能用于控制腐蚀性气体和特殊气体吗?如何选择密封材料?气体质量流量控制器可以用于控制各种气体,包括腐蚀性气体和特殊气体,但是要注意,对于使用腐蚀性气体和特殊气体,需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时,需要向供货厂商特殊声明使用气体,以免因为选型或选择密封材料错误,造成严重损失。通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等,密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体,包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议较好采用金属密封的MFC。辽宁迷你气体质量流量控制器厂家
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