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贵州耐腐蚀气体质量流量控制器技术支持

来源: 发布时间:2022-02-18

气体质量流量控制器宽泛应用于钢铁厂、焦化厂、石油、化工、热力、热电厂、环保等行业当中,该产品是根据热扩散原理而设计生产出来的,对于准确测量和控制气体质量流量一般会使用气体质量流量控制器作为真正的直接式质量流量控制器,用户不需要在使用气体质量流量计时补偿压力和温度。安装气体质量流量控制器时需要注意安装控制器首先是要考虑到的因素是其所在的环境,要尽量避开有振动的地方,并且要在安装的时候做好牢固的支撑,如果没有办法避免一定要安装在震动源的附近,可以选择有品质保证的气体质量流量控制器或使用软管去连接。气体质量流量控制器常见类型有差圧式流量计。贵州耐腐蚀气体质量流量控制器技术支持

气体质量流量控制器,即MassFlowController(缩写为MFC),是一个可以手动设定或与电脑连接自动控制的气体稳流装置,能在比较宽的量程范围内快速而精确的控制气体流量,即使系统压力有波动或环境温度有轻微变化,也不会影响其正常的工作,原则上是不需要温度和压力补偿的,气体质量流量控制器(MFC)在石化工业、生化、半导体和集成电路工业、特种材料学科、医药、蔬果保鲜、加气饮料、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。重庆迷你式气体质量流量控制器厂家气体质量流量控制器可应用于催化剂、化学添加剂质量流量测量。

半导体设备对气体质量流量控制器的要求重要的一点就是高精度,传统的气体质量流量控制器在使用一段时间后,由于环境温度、气体污染等原因,有可能出现精度超差的现象,但由于检测条件的限制,用户无法对气体质量流量控制器的精度进行检验。因此需要研究一种自我诊断技术,通过该技术,用户可以随时对气体质量流量控制器的精度进行检验。增加气体质量流量控制器的自我诊断功能,需要通过初级流量测量原理获得流量。若Qm为气体的质量流量,可以根据压力、温度与气体流量变化方程建立压力随时间的变化曲线建立气体质量流量控制器的精度对应表,进行自我诊断过程中,与该表格信息进行对比,可通过两条曲线的相似度判定,系统的精度是否在要求范围内。自我诊断技术很大程度的提高了气体质量流量控制系统的可靠性,完善了系统功能。

气体质量流量控制器的常见类型:涡轮流量计,是速度式流量计中的主要种类,它采用多叶片的转子(涡轮)感受流体平均流速,从而推导出流量或总量的仪表。超声流量计,通过检测流体流动对超声束(或超声脉冲)的作用以测量流量的仪表。电磁流量计,电磁流量计是根据法拉弟电磁感应定律制成的一种测量导电性液体的仪表。电磁流量计有一系列优良特性,可以解决其它流量计不易应用的问题,如脏污流、腐蚀流的测量。热式流量计,热式流量计传感器包含两个传感元件,一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值,使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时,电加热消耗的能量,也可以说热消散值,与流过气体的质量流量成正比,它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。如果气体质量流量控制器内渗入了液态物质,请尽量将设备置于真空工况下,使液体从设备内的微小气道蒸发。

随着电炉行业快速的发展,目前热式气体质量流量控制器、质量流量计在电炉行业中,也宽泛使用。气体质量流量控制器/流量计的测量范围从:5sccm—1500SLM,能满足市面上绝大多数的电炉使用要求。气体的介质也能按照用户的使用要求来标定,如空气、氩气等气体质量流量控制器,都能根据用户的实际使用来进行选型和标定。数据可以远程传输,可选0-5V的电压、4-20mA电流以及RS485modbus协议的通讯信号,本产品抗干扰能力强、精度高、稳定性好,很大程度的节约人工成本提高工作效率。高压催化反应设备中的热式气体质量流量控制器在成套精密设备中气路控制部分的重点器件。陕西mems气体质量流量控制器批发厂家

低于或高于正常工作压差都可导致气体质量流量控制器无法正常使用。贵州耐腐蚀气体质量流量控制器技术支持

气体质量流量控制器的工作压差范围是个什么概念?气体质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门,阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程,在工作的过程当中,控制器的入口和出口之间会产生一个气压降,即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa,若压差低于较低值(0.1MPa),有可能控制达不到满量程值;若高于较高值(0.3MPa),有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时,无论用户工作的反应室是真空还是高压,应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内,并且要求气压要相对稳定。贵州耐腐蚀气体质量流量控制器技术支持

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