电子探针仪镜筒部分的构造大体上和扫描电子显微镜相同,只是在检测器部分使用的是X射线谱仪、专门用来检测X射线的特征波长或特征能量,以此来对微区的化学成分进行分析。因此,除专门的电子探针仪外,有相当一部分电子探针仪是作为附件安装在扫描电镜或透射电镜镜筒上,以满足微区组织形貌、晶体结构及化学成分三位一体同位分析的需要 [1]。用波长色散谱仪(或能量色散谱仪)和检测计数系统,测量特征X射线的波长(或能量)和强度,即可鉴别元素的种类和浓度。电子探针的构成除了与扫描电镜结构相似的主机系统以外,还主要包括分光系统、检测系统等部分。徐汇区特制探针生产厂家
电子探针X射线显微分析仪(简称电子探针)利用约1Pm的细焦电子束,在样品表层微区内激发元素的特征X射线,根据特征X射线的波长和强度,进行微区化学成分定性或定量分析。电子探针的光学系统、真空系统等部分与扫描电镜基本相同,通常也配有二次电子和背散射电子信号检测器,同时兼有组织形貌和微区成分分析两方面的功能。电子探针的构成除了与扫描电镜结构相似的主机系统以外,还主要包括分光系统、检测系统等部分。电子探针主要由电子光学系统(镜筒),X射线谱仪和信息记录显示系统组成。电子探针和扫描电镜在电子光学系统的构造基本相同,它们常常组合成单一的仪器。崇明区标准探针现价电子探针和扫描电镜在电子光学系统的构造基本相同,它们常常组合成单一的仪器。
缺口平移法是**常用的探针标记法,反应体系的主要成分有DNA酶I(DNase I)、大肠杆菌DNA聚合酶I(DNA polymerase I)、三种三磷酸脱氧核糖核苷酸、一种同位素标记的核苷酸(如dATP、dTTP、dCTP,”P—dGTP),其原理如图1。首先用适当浓度的DNA酶I在探针DNA双链分子上随机切开若干个缺口(不是切断DNA或将其降解),然后再借助于DNA聚合酶I的5 '→3'的外切酶活性,切去5’末端的核苷酸;同时又利用该酶的5’→3’聚合酶活性,使32P标记的互补核苷酸补入缺口.DNA聚合酶I的这两种活性的交替作用,使缺口不断向3’的方向移动,DNA链上的核苷酸不断为32P标记的核苷酸所取代。由于反应体系中含有同位素标记的单核苷酸,使新合成的链带有同位素标记,所以缺口平移实际上是同位素标记的核苷酸取代了原DNA链中不带同位素的同种核苷酸。
该系统为电子探针分析提供具有足够高的入射能量,足够大的束流和在样品表面轰击殿处束斑直径近可能小的电子束,作为X射线的激发源。为此,一般也采用钨丝热发射电子枪和2-3个聚光镜的结构。 为了提高X射线的信号强度,电子探针必须采用较扫描电镜更高的入射电子束流(在10-9-10-7A范围),常用的加速电压为10-30 KV,束斑直径约为0.5μm。电子探针在镜筒部分与扫描电镜明显不同之处是由光学显微镜。它的作用是选择和确定分析点。其方法是,先利用能发出荧光的材料(如ZrO2)置于电子束轰击下,这是就能观察到电子束轰击点的位置,通过样品移动装置把它调到光学显微镜目镜十字线交叉点上,这样就能保证电子束正好轰击在分析点上,同时也保证了分析点处于X射线分光谱仪的正确位置上。在电子探针上大多使用的光学显微镜是同轴反射式物镜,其优点是光学观察和X射线分析可同时进行。放大倍数为100-500倍。不随意安装非正规商家应用App、及各类广告插件App,使用正规合法App是保护个人信息;
电子探针可以对试样中微小区域(微米级)的化学组成进行定性或定量分析。可以进行点、线扫描(得到层成分分布信息)、面扫描分析(得到成分面分布图像)。还能全自动进行批量(预置9999测试点)定量分析。由于电子探针技术具有操作迅速简便(相对复杂的化学分析方法而言)、实验结果的解释直截了当、分析过程不损坏样品、测量准确度较高等优点,故在冶金、地质、电子材料、生物、医学、考古以及其它领域中得到日益***地应用,是矿物测试分析和样品成分分析的重要工具。探针卡是IC制造中对制造成本影响相当大的重要制程之一。崇明区优势探针商家
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2.界面探针(Interface Probes)非标准的探针,一般是为少数做大型测试机台的客户定做的,例如泰瑞达(Teradyne)和安捷伦(Agilent).用于测试机台与测试夹具的接触点和面.3.微型探针(MicroSeries Probes)两个测试点中心间距一般为0.25mm至0.76mm.4.开关探针(Switch Probes)开关探针单独一支探针有两路电流.5.高频探针(Coaxial Probes)用于测试高频信号,有带屏蔽圈的可测试10GHz以内的和500MHz不带屏蔽圈的.6.旋转探针(Rotator Probes)弹力一般不高,因为其穿透性本来就很强,一般用于OSP处理过的PCBA测试.徐汇区特制探针生产厂家
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