半导体晶圆全程洁净运输针对12英寸晶圆运输需求，我们设计Class100超净环境运输方案。采用全封闭氮气柜（氧含量＜0.1ppm），配备粒子计数器实时监测洁净度。运输过程严格遵循SEMIS23标准，防静电包装材料表面电阻≤10?Ω。成功承运某芯片企业3000片晶圆从台中至苏州工厂，实现零颗粒污染。提供晶圆盒真空密封服务，支持FOUP载具租赁及清洗。关键技术：无振动气浮运输车（振幅＜0.02μm）运输柜压差控制系统（±5Pa）晶圆翘曲度在线监测（精度0.001mm）大型精密设备气垫车防震。湛江集装箱国际海运双清关门对门

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