欧美半导体行业45％以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。据统计，目前国产干泵的应用还不足1％，国内半导体工业用的干泵全部从国外进口，其价格十分昂贵。所以，我国应大力研究开发干泵，使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。如果真空泵中的如果物料含水或者是有机溶剂，需要加液态水过滤器和冷凝器，起到一个过滤的作用。工业真空泵直销

真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求，选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。(如：真空工艺要求100pa(压力)的真空度，选用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求压强高于3300Pa，则优先选择水环式真空泵作为真空装置，如果压强要求低于3300Pa，则不能选择水环式真空泵，选择旋片式真空泵或更高真空级别的真空泵作为真空获得装置。真空泵要求抽气速率(也就是要求真空泵在其工作压力下，排出气体、液体，固体的能力)，一般单位：m3/h，L/S，m3/min。具体计算方法可以参考下面公式自行计算选型。当然，真空泵的选型是一个综合过程，涉及到相关经验等因素。工业真空泵直销真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头。

对于真空泵，不同的真空系统要求的真空度不同。因此往往必须由一套真空机组来完成，即由工作在不同压力范围的真空泵串接起来。高真空一侧的真空泵能达到系统要求的真空度，而低真空一侧的真空泵是直排大气的。显然简单的真空机组就是一台直排大气的真空泵。但高真空系统一般需要三级机组，中真空一般需要二级机组。一台高真空泵和一台低真空泵难于组成有效的高真空机组。这有几方面的原因。流量的连续性就是其中之一。高真空泵都有前级耐压的限制，即前级高于某一压力，泵就不能正常工作。

罗茨真空泵转子由0°转到180°的抽气，在0°位置时，下转子从泵入口封入v0体积的气体。当转到45°位置时，该腔与排气口相通。由于排气侧压强较高，引起一部分气体返冲过来。当转到90°位置时，下转子封入的气体，连同返冲的气体一起排向泵外。这时，上转子也从泵入口封入v0体积的气体。当转子继续转到135°时，上转子封入的气体与排气口相通，重复上述过程。180°位置和0°位置是一样的。转子主轴旋转一周共排出四个v0体积的气体。往复真空泵的主要部件有气缸及在其中做往复直线运动的活塞。

高真空机组往往需要三级机组的另一个原因归结于高真空泵的吸入压力的限制。泵都有起始工作压强，传统的高真空泵都在几Pa的范围。因此前级泵必须预抽到这一压力主泵才能开始工作。但直排大气的前级泵抽至这一压力往往需要较长的时间，因为随着压力降低泵的抽速在减小，特别是对于周期性抽气的真空机组，对达到工作真空度的时间是有要求的，预抽时间越长，进入工作真空度的时间也越长，故增加一台中真空泵与前级低真空泵配合，可在较短的时间达到主泵可以工作的压力。微型真空泵面临的排气状况是不一样的:一类是排气很顺畅，直通大气;另一类是排气阻力较大。微型真空泵电机厂家直销

一般真空泵的排气端用机械式密封件，进气侧通常用双唇形密封件。工业真空泵直销

真空泵中的折叠罗茨泵，从国外罗茨泵生产情况来看，国外几家大公司他们各家罗茨泵的销售额占全球罗茨泵销售额的比例都没超过5%，这5家总计才20%，罗茨泵产量不大，但国外罗茨泵罗茨泵工作原理的价格远比国产泵要高得多。国内外几乎所有大型或小型的高真空和中真空系统，为了缩短抽气时间、提高生产效率都配有罗茨泵，所以国产罗茨泵一定要在占领国内市场基础上设法进入国际市场，这样就必须进一步降低国产罗茨泵的振动噪声，彻底解决轴封漏油问题，改进泵的外观质量，提高泵内的光洁度和清洁度。工业真空泵直销