真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵，真空泵是一种旋转式变容，真空泵必须具有前级泵配合，方可使用在较宽的压力范围内有较大的抽速，对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感，普遍用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。真空泵市场增长的主要驱动力来自于半导体工业的迅速发展以及干泵和分子泵应用领域的日益扩大。干式真空泵订做价格

微型真空泵的介质温度问题。根据通过泵的介质气体的温度，选择要普通型的还是要高温型的。微型泵的可靠性问题。根据微型泵出故障后产生后果的严重性而定，完全根据自己的要求。好的品的平均无故障连续运行时间都大于1000小时，有的高到数千小时。特别注意，这项参数是在满负荷、不间断的运行状态下测定的，是比较恶劣的工况，如果实际使用不是满载或连续运行，该数值会高一些，高多少视泵的工况而定。该性能完全是考验制造商的技术实力，从产品外观上可以看出一些，如采用特制电机而非普通低价电机、体积相当的情况下重量较重等。根据产品价格也可略知一二。微型泵的电磁干扰问题。如果有精密电路控制微型泵，视电路抗干扰能力而定，可能需要订购低电磁干扰的微型泵。真空泵厂真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。

欧美半导体行业45％以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。据统计，目前国产干泵的应用还不足1％，国内半导体工业用的干泵全部从国外进口，其价格十分昂贵。所以，我国应大力研究开发干泵，使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。

往复真空泵的主要部件有气缸及在其中做往复直线运动的活塞，活塞的驱动是用曲柄连杆机构来完成的。除上述主要部件外还有排气阀和吸气阀等重要部件，以及机座、曲轴箱、动密封和静密封等辅助部件。运转时，在电动机的驱动下，通过曲柄连杆机构的作用，使气缸内的活塞做往复运动。当活塞在气缸内从左端向右端运动时，由于气缸的左腔体积不断增大，气缸内气体的密度减小，而形成抽气过程，此时被抽容器中的气体经过吸气阀5进入泵体左腔。当活塞达到右位置时，气缸左腔内就完全充满了气体。真空泵泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染。

在现代设计制造中，把面对不同排气条件的微型真空泵区别对待。“排气口允许较大阻力Por值”这一参数就是标定泵的排气能力，让我们可以用严格的技术手段确定选型是否恰当。简单地说，对于排气阻力大的系统，我们的选型范围是：FM系列、FAA系列、PCF系列；对于排气阻力小的系统，选型范围是：VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列。根据我们对流量和真空度的要求就可以确定具体的型号了。对于质量欠佳的产品尽量不要选用。水环真空泵是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的。VP0435A真空泵价格

高真空一侧的真空泵能达到系统要求的真空度，而低真空一侧的真空泵是直排大气的。干式真空泵订做价格

对真空泵的工作蒸汽及其干度的研究：蒸汽压力偏低及压力波动均对真空泵的能力有较大影响，因此蒸汽压力不应低于要求的工作压力，但所用真空泵结构设计已定型，过多提高蒸汽压力并不会增加抽气量及真空度。另外，要确保锅炉供给的蒸汽压力稳定，建议用一台锅炉专门给蒸汽喷射泵提供工作蒸汽，这样蒸汽压力就不会出现波动，真空泵性能稳定。对循环冷却水要求的研究：冷却水供量不足，冷凝器会发热，气流声音变大，真空度迅速下降，甚至蒸汽会返入抽气管。干式真空泵订做价格

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