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青浦真空DLC

来源: 发布时间:2021-12-09

类金刚石膜DLC因其具有抗磨性、化学惰性、沉积温度低、膜面光滑,可以将其作为一些电子产品的保护膜。如喷墨打印机墨盒加热层上、磁存储器的表面、录音机磁头极尖加一层类金刚石膜DLC保护层、不仅能有效的减少机械损伤,又不影响数据存储。类金刚石膜具有电阻率高、绝缘性强、化学惰性高和低电子亲和力等性能,且易在较大的基体上成膜。人们将类金刚石膜用作光刻电路板的掩膜,不仅可以避免操作过程中的机械损伤,还可以在去除薄膜表面的污染物允许用较激烈的机械或化学腐蚀方法,且同时不会破坏薄膜的表面,所以类金刚石膜有望代替SO2成为下一代集成电路的介质材料。近年来,类金刚石膜在微电子领域的应用,逐渐成为热点。采用类金刚石膜和碳膜交替出现的多层膜结构构造成的多量子阱结构,具有共振隧道效应的和独特的电特性,在微电子领域有着潜在的应用前景。类金刚石膜具有良好的表面平面光滑度,电子发射均匀性好,并且其具有负的电子亲和势,有效功函数相对较低的和较宽的禁带宽度,即使在较低的外电场作用下,也可产生较大的发生电流,这个性能在平板显示器中有着特殊的使用价值。DLC涂层结合强度不高,通过纳米调制等手段来提高其结合力。青浦真空DLC

类钻石膜 在70年代 发现 ,是一系列 含有 sp3 和sp2 键的非晶 碳膜,具有 与钻石膜 非常 接近 的性质 ——高硬度 、高弹性模量 、耐磨损 、低摩擦系数 、高阻力 、高透光率 、高化学 稳定性 等。 因此 ,类钻石膜 技术 被广泛应用 于机械 、电子 、光学 和医学 等各个领域 。 混合 的DLC薄膜 是非晶体 半导体材料 ,带宽 可在1-4e V之间 调制 ,大面积 生长 ,材料 本身 和加工过程 环保 ,在光电 检测 领域 的运用 潜力 非常 大。 但是 ,现在 DLC半导体 的混合 还没有 得到 n型或p型DLC半导体 的材料 。 上海 英屹涂料 技术 有限公司 引进 美国 PE -CVD 设备 技术 制造 的类钻石 DLC膜层沉积 速度快 ,膜厚可达 60 um 膜层硬度 高;膜层摩擦系数 低于 结合力 好;耐腐蚀性 能好;耐磨 膜层具有 自润滑性 优点 。 可以 解决 PVD涂层 不能 镀层 的工件 内孔 的问题 。 我司 涂层 早已 应用 于航空 机械 模具 电子医疗汽车发动机 构件 等领域 。宝山不锈钢DLC多少钱手表的DLC电镀原理是什么?

使用类金刚石薄膜(DiamondLikeCarbon,DLC)作为涂层,采用等离子体离子浸没注入技术PlasmaImmersionIonImplantationandDeposition,PIIID)对空间飞轮长寿命轴承沟道表面进行改性.结果表明,陪试件表面DLC改性后表面粗糙度、轴承内外沟道轮廓形状误差等特性未发生明显改变,改性层表面纳米硬度提高2倍左右;陪试件摩擦试验结果表明,改性后表面的摩擦学性能得到了明显改善;DLC涂层的稳定摩擦因数*为基体的1/3~1/4,有利于延长空间飞轮轴承的工作寿命.上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。

类金刚石薄膜(DLC)拥有高硬度,低摩擦、耐腐蚀等性能,已经应用于机械刀具、模具、汽车发动机部件等领域。但由于制备技术的限制,导致DLC存在残余应力较高、膜/基结合力差、摩擦性能不稳定、大面积均匀制备困难等问题。线性阳极离子束技术具有等离子体离化率高、大面积均匀沉积等特点,是制备高性能DLC薄膜的理想技术。针对DLC与基体结合性能较差的现状,首先从添加合适过渡层(W)匹配膜/基适应性出发,探讨W过渡层厚度对DLC薄膜物相、机械力学、摩擦学性能的影响。在此基础上,通过不同工艺W过渡层结构设计,研究其对膜/基性能的影响。为改善金属基体沉积DLC薄膜的工业化应用,根据不同类型过渡层性能的对比,优化过渡层设计,制备出膜/基结合强度高、机械性能良好的DLC复合薄膜,上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。DLC涂层的高硬度 低摩擦性能突出。

类金刚石碳膜(diamond-likecarbonfilms,简称DLC膜),是含有类似金刚石结构的非晶碳膜,也是我们在这里真正需要介绍的一种。DLC膜的基本成分是碳,由于其碳的来源和制备方法的差异,DLC膜可分为含氢和不含氢两大类。DLC膜是一种亚稳态长程无序的非晶材料,碳原子间的键合方式是共价键,主要包含sp2和sp3两种杂化键,在含氢DLC膜中还存在一定数量的C-H键。我们从1996年起开始磁过滤真空弧及沉积DLC膜研究,正在完善工业化技术。如等离子体源沉积法、离子束源沉积法、孪生中频磁控溅射法、真空阴极电弧沉积法和脉冲高压放点等。不同的制备方法,DLC膜的成分、结构和性能不同。类金刚石碳膜(Diamond-likecarbonfilms,简称DLC膜)作为新型的硬质薄膜材料具有一系列优异的性能,如高硬度、高耐磨性、高热导率、高电阻率、良好的光学透明性、化学惰性等,可用于机械、电子、光学、热学、声学、医学等领域,具有良好的应用前景。我们开发了等离子体-离子束源增强沉积系统,并同过该系统中的磁过滤真空阴极弧和非平衡磁控溅射来进行DLC膜的开发。该项技术用于电子、装饰、宇航、机械和信息等领域,用于摩擦、光学功能等用途。目前在我国技术正处于发展和完善阶段。类金刚石碳膜(DLC膜)的结构性质及其应用。无锡纳米DLC工艺

类金刚(DLC)石薄膜的分类。青浦真空DLC

DLC应用:汽车零部件:DLC在发动机部件成功应用的是掺杂金属的DLC(a-C:H:Me),Me-DLC的典型应用是涡轮增压柴油机燃油喷射器部件和轴承。Me-DLC涂层硬度在1200~2000Hv之间变化,与钢干磨摩擦系数通常在0.1~0.2之间。Me-DLC涂层的抗冲击疲劳的能力特别地得到了认可。切削刀具:钻头、铣刀DLC膜可以应用于钻头和铣刀上,特别是掺杂金属的DLC膜,它不仅具有高的硬度,还具有低的摩擦系数、抗有色金属粘结。许多具有延展性的金属或合金,在切削时容易出现沾粘刀具现象。高温时更与刀具产生反应造成加工困难,工具寿命减短。像这类的刀具如镀上DLC膜后可解决问题。镀有DLC膜的刀具适合用来加工铜合金、铝镁合金、陶瓷、碳化钨、铅合金、含碳材料(石墨、塑料及复合材料、橡胶)等。但由于碳原子会溶到铁系材料内,因此不适合用来加工含铁、钴、镍等材料。青浦真空DLC

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