离子束溅射法DLC膜的制备及其性能表征采用离子束溅射方法，较低温度下在Ti6A14V合金基底上沉积了DLC薄膜，重点考察了直流叠加脉冲共生偏压大小对薄膜形貌、结构和摩擦学性能的影响。制备薄膜为菲晶碳膜，薄膜表面粗糙度随施加迭加偏压增大有先减小后增大趋势，而膜中sp3含量变化趋势则与之相反。在选定的实验条件下，-100V偏压时所制备的薄膜在空气环境及Hank’s溶液润滑下都具有比较优异的摩擦学性能。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。类金刚石涂层DLC纳米涂层加工。昆山铰刀类金刚石厂家

类金刚石(diamond-likecarbon,DLC)薄膜是一种同时含有sp2键和sp3键的非晶碳膜，其结构及性能介于金刚石与石墨之间，具有高硬度、高热导率、良好的化学惰性和耐磨性，在装备关键运动部件的表面防护方面有巨大应用前景，现已成为世界范围内被研究的薄膜材料之一。但DLC作为一种亚稳态材料，膜内残余压应力大、膜基结合强度低，高温下易发生化学键破坏，导致性能下降。向薄膜中添加异质元素是调控或提高DLC膜性能的有效方法。近日，省新材料研究所真空镀膜团队利用高功率脉冲磁控溅射复合中频磁控溅射技术制备了掺Si的纳米多层类金刚石(Si-DLC)薄膜，发现通过改变Si元素的含量可调控薄膜的摩擦学行为：低Si含量()的薄膜在界面处发生石墨化，起到润滑作用，降低磨损；高Si含量()的薄膜在摩擦过程中产生更多的sp3键，硬质颗粒分布在薄膜与对磨副之间，使薄膜的磨损率高于低Si含量状态。闵行区纳米类金刚石公司类石墨膜和类金刚石膜的区别?

经过对类金刚石涂层制备过程的分析发现，当基体表面薄膜的厚度大于或等于1um时，薄膜会发生脱落，这与膜体-基底之间热膨胀系数不匹配有关。因此，如何改善膜基结合力，提高薄膜稳定性引起业内人士关注。薄膜与基体之间结合力的大小与沉积方法及沉积工艺参数有关，因此选择合适的沉积压力、偏压等参数，有助于提高膜体与基体之间的结合力，并延长类金刚石膜层的使用时间。改善基体状态当基体表面存在缺陷时，会影响膜与基体之间的结合，对此可以利用超声波、金刚石研磨等机械方法来清洗刀具基体，表面污染物及氧化物；另外，采用化学酸蚀方法，能够去除刀具基体表面的钴，并能粗化基体，增加膜基接触面积，提高膜基结合力。添加过渡层膜基之间热膨胀系数不匹配导致结合力差，有研究者认为可以在类金刚石膜和硬质合金刀具之间添加另外一种材料，但是鉴于薄膜厚度不能超过1um,所以可以在刀具基体表面涂抹一层与硬质合金基体热膨胀系数相匹配的涂层如Ti和Si等作为过渡层来改善类金刚石碳膜与基体结合强度，提高膜基结合力。

在众多类型的碳材料中，类金刚石薄膜(diamond-likecarbon,DLC)因其优异的性能吸引了世界范围内的关注和研究。DLC薄膜的结构处于金刚石和石墨结构之间的，主要是由金刚石结构的sp3杂化碳原子和石墨结构的sp2杂化碳原子混杂在一起形成的复杂三维网络结构构成[27]。根据晶体材料的特征分析，DLC薄膜通常呈现非晶态或非晶纳米晶复合结构。根据氢的有无可以分为含氢DLC薄膜(a-C:H)和不含氢DLC薄膜(a-C)。根据不同的含氢量和sp3与sp2杂化键的比例又分为不同的细类,如图1-1所示。在2005年德国工程师学会定制的“碳涂层”标准中，又可将DLC薄膜细分为不同的七大类[27]。由于DLC薄膜的结构介于金刚石和石墨之间，使其具有高的硬度，优异的减摩抗磨性能，同时还具有高的热导率、低的介电常数、宽带隙、良好的光学透过性以及优异的化学惰性和较好的生物相容性等。因而DLC薄膜不仅呈现良好的摩擦学性能，还具有良好的耐腐蚀性能。类金刚石涂层的制备方法有哪些?

我们知道，在常温常压下金刚石是亚稳相，这其中碳原子的4 个价电子是以sp3杂化方式形成四面体配位的键合结构。而石墨则是一种更稳定的同素异形体，它的碳原子以sp2 杂化方式形成三配位键合结构。石墨的形成在热动力学上优于金刚石的形成，这意味着亚稳相的 sp2杂化键合只能在非平衡过程中形成。类金刚石薄膜都是亚稳态材料，在制备方法中需要有荷能离子轰击生长表面这一关键。自从Aisenberg 和Chabot 两位科学家利用碳离子束沉积出DLC 薄膜以来，人们已经成功地研究出了许多物相沉积、化学气相沉积以及液相法制备DLC 薄膜的新方法和新技术。类金刚石薄膜是混合物吗？松江表面类金刚石

负偏压对DLC薄膜结构和摩擦学性能的影响。昆山铰刀类金刚石厂家

固体润滑薄膜材料具有优异的摩擦学性能,可以有效降低相对运动摩擦副之间的摩擦磨损,是汽车节能减排技术的重要研究方向.对固体润滑薄膜尤其是DLC薄膜的摩擦学性能进行了介绍,研究了其在高压柴油喷射系统和发动机挺柱等零部件上的应用.台架试验结果表明,DLC薄膜可以有效降低发动机挺柱和柱塞等零部件表面的摩擦系数,减少供油和配气系统的摩擦损失,从而提高发动机的燃油经济性.上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。昆山铰刀类金刚石厂家