由于天然金刚石储量有限，人造金刚石成为人们工业应用的优先，但仍然存在制备温度高、成膜面积有限、基材结合性差等缺点。为此，科学家发明了几乎可以媲美金刚石的材料：类金刚石碳基（英文：Diamond-likeCarbon，缩写DLC）薄膜。在很多方面DLC有着和金刚石相近的性能，这也正是DLC名字——像金刚石一样的碳——由来的主要原因。当前，DLC薄膜，由于具有优异的机械性能、良好的化学稳定性、生物相容性、独特的光学特性，已广泛应用于精密仪器、汽车电子、医疗器材、**工业等重要领域。然而，DLC薄膜是一种非晶态薄膜碳材料，从成键形式来看，其结构中不仅存在着碳元素的3种杂化键，sp、sp2、sp3，同时，由于制备技术的影响，结构中还存在少量的氢元素。这几种成键形式和元素的不同组合，构成不同形态的DLC结构，从而表现出不同的性质。类金刚石碳基薄膜材料。真空类金刚石公司

类金刚石的光学性能及应用。DLC薄膜具有良好的光学透明度，宽的光学带隙，在可见光区通常吸收率高，不透明，但是在红外区和微波频段则具有很高的透过率和较低的吸收率。由于DLC薄膜具有光谱宽透过率高、硬度高、摩擦系数小、化学稳定性好等优点，可以作为多种光学材料如硅、锗、玻璃、硫化锌等的增透/?；つ?，起到抗磨损、耐腐蚀、抗潮解和抗氧化的作用。国外已相继将其应用在太阳能硅电池、高功率二氧化碳激光器窗口、潜望镜红外窗口、陆瞄准具红外窗口、飞机前视红外窗口、导弹头罩窗口和宇航探测器等方面。类金刚石在机械性能与应用。DLC薄膜具有很高的硬度和弹性模量，不同的沉积方法制备的DLC薄膜硬度差异很大，尤其是用激光溅射或磁过滤阴极电弧法制备出的DLC薄膜，其硬度高达70-110GPa，与金刚石相当。因制备方法或者沉积的工艺参数以及成分不同，造成sp3/sp2比例以及氢含量不同，也会影响薄膜的力学性能。真空类金刚石公司离子束溅射法DLC膜的制备。

类金刚石在电学性能及应用。DLC薄膜具有优异的电学性能，一般来说，含氢DLC薄膜电阻率比不含氢的DLC薄膜的高，可能是由于氢稳定了薄膜中sp3相的缘故。由于DLC中的sp2相和薄膜的电阻率有直接的关系，因此沉积工艺和离子束的能量都对DLC薄膜层电阻率有着很大的影响。由于DLC薄膜的良好导热性能，它可以作为芯片中铜片散热器的绝缘电阻，能防止通常功率下因热膨胀系数不匹配而引起的铜片抓痕。此外，DLC在腐蚀介质中表现出极高的化学惰性，可以?；せ酌庠馔饨绺唇橹实娜苁?。纯的DLC薄膜表现出极好的耐蚀性，可以抵御各类酸碱甚至王水的侵蚀。另外，DLC薄膜具有较低的电子亲和势，是一种优异的冷阴极场发射材料，其中一个重要的应用领域就是场发射平面显示器件。

类金刚石薄膜的制备方法较多，相关的工艺层出不穷，因而对于不同应用场合，有相应的工艺方法，制备出对应性能要求的薄膜。通过改变制备方法的相关参数，调控薄膜中的sp3，sp2杂化键的比例及不同的氢含量可获得不同性能特征的DLC薄膜。如含氢与不含氢的DLC薄膜在不同湿度环境中会呈现不同的摩擦学特性。针对在特殊环境服役的DLC薄膜，如高承载，高速运转的零部件，也会对DLC薄膜进行适当的掺杂来改变薄膜内部交联碳基质混合网络的成键方式与薄膜表面的化学状态，进而提高薄膜的性能，以实现在实际工况中的应用。其中掺杂的金属主要有Ti、Cr、W、Mo、Al、Ni、Cu、Co、Nb等，非金属有Si、N、F等，化合物有过渡态金属氮化物，氧化物及其硫化物等。通过掺杂能一定程度上缓解DLC薄膜的高内应力，热稳定性差等缺陷，进而改善DLC薄膜的环境敏感性，扩大其应用场合。为增强薄膜与基材之间的结合力，减小薄膜脱落失效的可能性，通常采用过渡层和多层梯度结构设计。如在金属基材上镀制薄膜时。类金刚石薄膜的结构特点是什么？

类金刚石(DLC)膜涂层刀具的硬度高、摩擦系数低、耐摩擦和耐腐蚀性能强、抗粘结性能好,并且可以用来制作复杂、异型刀具,是未来刀具的一个重要发展方向.本文介绍了DLC膜的表面显微结构和Raman光谱并列举了DLC的制备方法(包括磁控溅射、离子束沉积、脉冲激光沉积、真空阴极电弧沉积、等离子体增强型化学气相沉积)与分类.从酸蚀法、施加过渡层、表面微喷砂处理和掺杂4个方面分析如何提高膜基结合力,探讨了DLC膜的摩擦性能受湿度、温度和加工条件的影响.例举了几个国内外DLC涂层硬质合金刀具的使用范例,指出了目前研究工作的不足之处,提出了下一步研究工作的重点是优化DLC膜的制备工艺、提高膜基结合力和热稳定性以及加强DLC涂层硬质合金刀具的磨损机理研究.上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点?？梢越饩鯬VD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。负偏压对DLC薄膜结构和摩擦学性能的影响。真空类金刚石公司

DLC涂层结合强度不高，通过纳米调制等手段来提高其结合力。真空类金刚石公司

随着现代科学技术的不断进步，普通硬质涂层和超硬涂层有了明显的发展，部分涂层已经在某些领域实现了应用。主要介绍了氮化物、碳化物、氧化物、硼化物等普通硬质涂层和金刚石、类金刚石(DLC)、cBN、纳米多层结构涂层及纳米复合涂层等超硬涂层的性能、应用、制备技术及其发展趋势，并对部分常见涂层面临的性能改进及其今后可能的发展方向进行了探讨。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点?？梢越饩鯬VD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。真空类金刚石公司