采用高功率脉冲磁控溅射技术制备DLC膜层,研究了偏压的变化对膜层结构及主要力学性能的影响.利用扫描电镜、原子力显微镜、拉曼光谱仪、X射线光电子能谱仪、纳米压入仪、划痕仪和磨擦磨损试验仪分析检测了DLC膜结构与性能.结果表明:偏压的提高,有利于改善DLC膜的表面光洁度及致密性,DLC膜表面均方根粗糙度Rq由不施加偏压时的9nm降低至偏压为-350V的7nm;致密性的提高使沉积速率略有下降,膜层厚度减小.偏压的增加,DLC膜内部sp3含量先增加后减小趋势,在偏压为-250V时,DLC膜中sp3含量比较高.偏压的增大,DLC膜的硬度、杨氏模量和摩擦磨损等主要力学性能均呈先增大后减小的趋势,并在偏压为-250V时达到比较高值,与微观结构变化趋势相吻合.。DLC(类金刚石镀膜(Diamond-like carbon)) 。浦东新区纳米DLC哪个好

利用ECR-PECVD技术在等离子体活化后的UHMWPE表面成功制备出一种含氢DLC薄膜。UHMWPE经等离子体活化提高了其表面能和表面粗糙度，增强了与DLC间的膜基结合强度。DLC薄膜的沉积，进一步提高了UHMWPE的表面硬度、表面抗擦伤能力和耐磨损能力。⑹UHMWPE表面金属过渡层的引入，提高了DLC薄膜的沉积速率和薄膜中sp3键的含量，进一步提高了UHMWPE的耐磨损性能⑺本文采用的“低温等离子体活化/强化预处理+DLC薄膜沉积”的双重表面改性技术对提高UHMWPE的耐磨性来说将起到双重保障作用。将该技术应用于UHMWPE人工关节臼的表面改性具有潜在的重要应用价值。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。松江区DLC工艺不同过渡层对DLC薄膜力学性能和摩擦学性能的影响。

自上世纪80年代以来，类金刚石膜作为新型的膜材料一直是世界各国膜技术领域研究的热点之一。我国在类金刚石膜的研究方面取得了一定的进展，但与发达国家相比，还是有一定的差距。类金刚石膜的种类很多，其结构、工艺及机理极为复杂，主要是由于DLC是在非平衡态和等离子体状态下制备合成的，存在着许多争议尚未解决的问题。这些问题至今仍严重制约着类金刚石膜的研究进展。如高温稳定性问题，DLC在温度大于400℃时性能将明显变差；内应力问题，DLC中存在很大的内应力，它降低了类金刚石膜与基体的结合强度，使膜层容易起皱、脱落，阻碍了类金刚石膜的工业应用；同时，不同工艺制备的类金刚石膜的结构和性能差异很大。这些问题都将是未来类金刚石膜研究的主要方向。纳米多层类金刚石膜也是类金刚石膜的发展方向，但这方面的研究才刚刚起步。

类金刚石（diamond-likecarbon，DLC）具有比较高的硬度、高导热性、高绝缘性、良好的化学稳定性、从红外到紫外的高光学透过率和良好的减摩特性等。这与金刚石相似，但是，除减摩性能优良外，其它性能均低于金刚石膜。类金刚石膜可用于机械、电子、光学、热学、声学、医学等领域，并且作为减摩耐磨涂层应用于航空航天、金属加工、医疗器件等众多领域。类金刚石碳（DLC）是非晶结构，碳原子主要以sp3和sp2杂化键结合。碳元素因碳原子和碳原子之间的不同结合方式，从而使其终产生不同的物质：金刚石（diamond）中碳碳以sp3键的形式结合；石墨（graphite）中碳碳以sp2键的形式结合；类金刚石（DLC）膜中，碳碳则是以sp3和sp2键的形式结合，生成的无定形碳的一种亚稳定形态，可以包括很宽性质范围的非晶碳，因此兼具了金刚石和石墨的优良特性。类金刚石薄膜(DLC)的制备方法及应用。

DLC设备介绍：

一、多弧离子镀硬膜膜设备

1.沉积速率快，蒸发镀膜的膜层光洁度高

2、离化率高，膜层附着力好

3、有效镀膜区域￠650X1100，可以容纳750X1250X600的超大模具和齿轮厂家的超长拉刀，具有非常大的容积

应用于刀具、模具、大型镜面模、塑胶模、滚齿刀等产品的镀制

备注：真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做

二、类金刚石镀膜设备：

类金刚石镀膜设备应用于应用于模具、汽车、医疗、纺织、缝纫设备以及无油润滑和耐磨损零件的表面涂层等。

备注：真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做。 DLC类金刚石涂层性能及作用。浦东新区不锈钢DLC公司

激光Roman光谱仪研究了DLC的结构组成。浦东新区纳米DLC哪个好

陶瓷因其耐蚀、耐热、耐磨等优点，被多用于热涂在金属材料的表面，目前陶瓷涂层的方法主要有：热喷涂、等离子喷涂等，但工艺成本高，且陶瓷和衬材之间只是机械结合，结合层的力学性能差，特别是陶瓷和衬材之间的热膨胀系数差异较大，在冷态时，陶瓷受到衬材的压缩应力，时常发生裂纹，而运用原位反应技术在衬材的表层产生一层陶瓷层，其结合界面是冶金结合，原子相互扩散，结合强度高，工艺成本低，厚度可达数毫米，可用于要求耐蚀、耐磨、耐热的输送管道，如输送水泥、煤气、液化气以及具有固体颗粒的粉体的管道等。浦东新区纳米DLC哪个好