类金刚石膜DLC因其具有抗磨性、化学惰性、沉积温度低、膜面光滑，可以将其作为一些电子产品的?；つ?。如喷墨打印机墨盒加热层上、磁存储器的表面、录音机磁头极尖加一层类金刚石膜DLC?；げ?、不仅能有效的减少机械损伤，又不影响数据存储。类金刚石膜具有电阻率高、绝缘性强、化学惰性高和低电子亲和力等性能，且易在较大的基体上成膜。人们将类金刚石膜用作光刻电路板的掩膜，不仅可以避免操作过程中的机械损伤，还可以在去除薄膜表面的污染物允许用较激烈的机械或化学腐蚀方法，且同时不会破坏薄膜的表面，所以类金刚石膜有望代替SO2成为下一代集成电路的介质材料。近年来，类金刚石膜在微电子领域的应用，逐渐成为热点。采用类金刚石膜和碳膜交替出现的多层膜结构构造成的多量子阱结构，具有共振隧道效应的和独特的电特性，在微电子领域有着潜在的应用前景。类金刚石膜具有良好的表面平面光滑度，电子发射均匀性好，并且其具有负的电子亲和势，有效功函数相对较低的和较宽的禁带宽度，即使在较低的外电场作用下，也可产生较大的发生电流，这个性能在平板显示器中有着特殊的使用价值。上海冶金所研制的DLC平面柱状阵列场发射平板显示器样品就是利用了这一原理。DLC镀膜钢领磨损原因与镀膜工艺改进。无锡金属DLC工艺

采用优化的沉积类金刚石(DLC)涂层工艺及过渡层技术,在硬质合金上制备出性能优良的DLC膜.实验室切削试验与工业生产现场切削表明:在切削铝青铜和共晶铝硅合金时,DLC膜涂层刀具使用寿命明显高于末涂层刀具.上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于0.1结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点?？梢越饩鯬VD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。南通表面DLC类金刚石薄膜(DLC)的制备方法及应用。

智能手机发展至今，硬件技术革新突飞猛进，不少千元手机都已经拥有了旗舰配置，足以满足日常使用的基本需求。都说眼睛是心灵的窗户，那么屏幕就是手机的窗户，而千元机的手机屏幕玻璃，往往质量堪忧，用不了几个星期，就会出现明显的划痕。类金刚石镀膜在原有屏幕玻璃的结构基础之上，额外覆盖了一层类金刚石薄膜，除了防污疏油、顺滑手感之外、增强玻璃硬度是重要的作用。经过oDLC类金刚石镀膜技术处理过的手机，其屏幕玻璃耐刮性能达到9H++级别，可以与蓝宝石玻璃相媲美。经过实际测试，用金属刀尖这样尖锐的物体反复刮擦，也不会留下任何痕迹，应付各种日常使用场景更是不在话下，oDLC类金刚石镀膜就像是给手机屏幕装上了一层金刚外衣，对手机屏幕起到至关重要的?；ぷ饔谩６杂诔Ｄ瓯┞对谖Ｏ栈肪持械氖只聊焕此?，oDLC类金刚石镀膜技术简直是救星一般的存在。

在众多类型的碳材料中，类金刚石薄膜(diamond-likecarbon,DLC)因其优异的性能吸引了世界范围内的关注和研究。DLC薄膜的结构处于金刚石和石墨结构之间的，主要是由金刚石结构的sp3杂化碳原子和石墨结构的sp2杂化碳原子混杂在一起形成的复杂三维网络结构构成[27]。根据晶体材料的特征分析，DLC薄膜通常呈现非晶态或非晶纳米晶复合结构。根据氢的有无可以分为含氢DLC薄膜(a-C:H)和不含氢DLC薄膜(a-C)。根据不同的含氢量和sp3与sp2杂化键的比例又分为不同的细类,如图1-1所示。在2005年德国工程师学会定制的“碳涂层”标准中，又可将DLC薄膜细分为不同的七大类[27]。由于DLC薄膜的结构介于金刚石和石墨之间，使其具有高的硬度，优异的减摩抗磨性能，同时还具有高的热导率、低的介电常数、宽带隙、良好的光学透过性以及优异的化学惰性和较好的生物相容性等。因而DLC薄膜不仅呈现良好的摩擦学性能，还具有良好的耐腐蚀性能。激光Roman光谱仪研究了DLC的结构组成。

利用ECR-PECVD技术在等离子体活化后的UHMWPE表面成功制备出一种含氢DLC薄膜。UHMWPE经等离子体活化提高了其表面能和表面粗糙度，增强了与DLC间的膜基结合强度。DLC薄膜的沉积，进一步提高了UHMWPE的表面硬度、表面抗擦伤能力和耐磨损能力。⑹UHMWPE表面金属过渡层的引入，提高了DLC薄膜的沉积速率和薄膜中sp3键的含量，进一步提高了UHMWPE的耐磨损性能⑺本文采用的“低温等离子体活化/强化预处理+DLC薄膜沉积”的双重表面改性技术对提高UHMWPE的耐磨性来说将起到双重保障作用。将该技术应用于UHMWPE人工关节臼的表面改性具有潜在的重要应用价值。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。真空镀DLC膜的膜系结构。南通表面DLC

类金刚石(DLC)膜涂层刀具的硬度高、摩擦系数低、耐摩擦和耐腐蚀性能强、抗粘结性能好。无锡金属DLC工艺

20世纪70年代早期，类金刚石（DLC）涂层才见诸报道。工业上应用这种涂层起源于汽车部件，如高压柴油喷射系统和动力传动部件。当今，具有特殊优势的各种DLC涂层已在一些领域得到应用。DLC涂层通常由sp3与sp2键的比值和氢含量来分类。当碳元素通过sp3键结合，就会形成金刚石；通过sp2键结合，就会形成石墨。当sp3与sp2键的比值增大时，涂层的硬度通常会增加。可在DLC涂层内加入钨（W-C∶H）之类的金属（此处C为碳，H为氢）；还可以加入其他元素如硅(Si-DLC)来改变涂层的摩擦系数或抗温性能。一种已用于切削刀具的复合涂层为高硬度的氮化物涂层（如TiAlN）加上较软的、具有润滑功能的顶层涂层（如W-C∶H）。因为排屑的改善，这种复合涂层在攻丝和钻削应用中显示出优异的效果。本文将重点讨论一种被称作四面体非晶碳(ta-C)的DLC涂层。无锡金属DLC工艺