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表面DLC

来源: 发布时间:2022-03-27

经过长期的DLC薄膜合成过程中,研究人员发现,合成出来的DLC薄膜会因为不同的合成条件展现出不同的颜色状态,DLC薄膜的颜色也许能够用来简单的判断DLC的种类。为此,中国科学院深圳先进技术研究院唐永炳研究员及其团队成员周小龙博士、郑勇平博士,联合日本国立长冈技术科学大学斋藤秀俊教授,泰国国立同步辐射光源研究所SarayutTunmee博士等,通过选择不同物相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)等传统DLC薄膜沉积方法和改变沉积条件等途径,对所获得DLC薄膜颜色进行定量分析,并利用NEXAFS和RBS/ERDA等多种表征手段对其微结构和光学性能进行定量分析,同时结合从头算起的性原理模拟计算,较终揭示了DLC薄膜的颜色变化规律。类金刚石(DLC)的简介。表面DLC

采用高功率脉冲磁控溅射技术制备DLC膜层,研究了偏压的变化对膜层结构及主要力学性能的影响.利用扫描电镜、原子力显微镜、拉曼光谱仪、X射线光电子能谱仪、纳米压入仪、划痕仪和磨擦磨损试验仪分析检测了DLC膜结构与性能.结果表明:偏压的提高,有利于改善DLC膜的表面光洁度及致密性,DLC膜表面均方根粗糙度Rq由不施加偏压时的9nm降低至偏压为-350V的7nm;致密性的提高使沉积速率略有下降,膜层厚度减小.偏压的增加,DLC膜内部sp3含量先增加后减小趋势,在偏压为-250V时,DLC膜中sp3含量比较高.偏压的增大,DLC膜的硬度、杨氏模量和摩擦磨损等主要力学性能均呈先增大后减小的趋势,并在偏压为-250V时达到比较高值,与微观结构变化趋势相吻合.。嘉定DLC工艺类金刚石(DLC)涂层的主要成份是碳。

不同刀具材料对碳纤维复合材料的加工有较大的影响.通过合理选择钻头的基体材料和涂层材料,基于正交试验综合分析不同涂层材料、主轴转速及进给速度对钻削轴向力的影响.试验结果表明,涂层材料对轴向力的影响比较大,涂层钻头的钻削轴向力比无涂层YG6X钻头小很多,类金刚石涂层(DLC)钻头较小.TiAIN和TiCN涂层钻头都有不同程度的磨损,DLC钻头的耐磨性和加工质量都远远高于其他涂层.上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。

类金刚石薄膜又称山膜。碳的一种亚稳态,组成主要是碳,也含有氢,其量随工艺条件而异,多时可达20%。类金刚石具有很高的硬度、高导热性、高绝缘性、良好的化学稳定性、从红外到紫外的高光学透过率等。这与金刚石相似,但其性能数值均低于金刚石膜。类金刚石膜已开始用作耐磨涂层。类金刚石碳(DLC)是非晶结构,碳原子主要以sp3和sp2杂化键结合。含氢DLC又称为α-C:H,其中氢含量在20%到50%之间。无氢类金刚石膜包括无氢非晶碳(α-C)和四面体非晶碳(ta-C)膜。α-C膜含有一些sp3键;ta-C膜中以sp3键为主(sp3>70%)。结构类金刚石薄膜通常又被人们称为DLC薄膜,是英文词汇DiamondLikeCarbon的简称,它是一类性质近似于金刚石,具有高硬度.高电阻率.良好光学性能等,同时又具有自身独特摩擦学特性的非晶碳薄膜。碳元素因碳原子和碳原子之间的不同结合方式。类金刚石碳膜(DLC膜)的结构性质及其应用。

DLC薄膜的制备方法:利用化学气相沉积制备的DLC薄膜膜层致密,和基体结合力好。某些特殊薄膜还具有特异的光学、点穴和热血等各种物理和化学性能,这类膜层表现出许多优点,包括膜厚比较均匀,膜层质量稳定,绕镀性好且易于实现批量生产,因此得到了广泛应用。从沉积条件看,要实现气体与基体界面的化学反应,在沉积反应过程中必须有一定的开启能。按照开启方式的不同,可以分为热丝化学气相沉积(HFCVD)、直接光化学气相沉积(DPCVD)和等离子体增强化学气相沉积(PECVD)等几种方式。DLC涂层是在电离和分解的碳或烃类物质以通常为10-300eV的能量降落在基底表面时形成的。镇江镗刀DLC

优化的沉积类金刚石(DLC)涂层工艺及过渡层技术。表面DLC

DLC设备介绍:

一、多弧离子镀硬膜膜设备

1.沉积速率快,蒸发镀膜的膜层光洁度高

2、离化率高,膜层附着力好

3、有效镀膜区域¢650X1100,可以容纳750X1250X600的超大模具和齿轮厂家的超长拉刀,具有非常大的容积

应用于刀具、模具、大型镜面模、塑胶模、滚齿刀等产品的镀制

备注:真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做

二、类金刚石镀膜设备:

类金刚石镀膜设备应用于应用于模具、汽车、医疗、纺织、缝纫设备以及无油润滑和耐磨损零件的表面涂层等。

备注:真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做。 表面DLC

标签: 镀钛 类金刚石 DLC
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