类钻石膜 在70年代 发现 ,是一系列 含有 sp3 和sp2 键的非晶 碳膜,具有 与钻石膜 非常 接近 的性质 ——高硬度 、高弹性模量 、耐磨损 、低摩擦系数 、高阻力 、高透光率 、高化学 稳定性 等。 因此 ,类钻石膜 技术 被广泛应用 于机械 、电子 、光学 和医学 等各个领域 。 混合 的DLC薄膜 是非晶体 半导体材料 ,带宽 可在1-4e V之间 调制 ,大面积 生长 ,材料 本身 和加工过程 环保 ,在光电 检测 领域 的运用 潜力 非常 大。 但是 ,现在 DLC半导体 的混合 还没有 得到 n型或p型DLC半导体 的材料 。 上海 英屹涂料 技术 有限公司 引进 美国 PE -CVD 设备 技术 制造 的类钻石 DLC膜层沉积 速度快 ,膜厚可达 60 um 膜层硬度 高;膜层摩擦系数 低于 结合力 好;耐腐蚀性 能好;耐磨 膜层具有 自润滑性 优点 。 可以 解决 PVD涂层 不能 镀层 的工件 内孔 的问题 。 我司 涂层 早已 应用 于航空 机械 模具 电子医疗汽车发动机 构件 等领域 。PVD、IP、DLC,你搞懂这些表壳加工名词了吗?金山区不锈钢DLC多少钱
在工具镀领域我们实际上主要是利用了DLC的两大主要性能:摩擦性能:DLC膜不仅具有优异的耐磨性,而且具有很低的摩擦系数,一般低于,是一种优异的表面抗磨损改性膜。DLC的摩擦系数随制备工艺的不同和膜中成分的变化而变化,其摩擦系数比较低可达。掺杂金属元素可能降低其摩擦系数,但加入H能提高润滑作用,环境也对摩擦系数有一定的影响。但总的来说,DLC膜与传统的硬质薄膜(如上述的TiN、TiC、TiAlN等)相比,在摩擦系数方面具有明显优势,这些传统硬质薄膜的摩擦系数都在。DLC膜在磨损过程中,接触面存在的摩擦变形在DLC膜表面产生微小的C,从而在摩擦配副的接触面上形成一层转移膜,使接触面成为DLC膜的相互对磨,因而能够减小摩擦力,提高薄膜的抗磨损性,起到固体润滑的作用。高硬度DLC膜具有相对适中的硬度,较低的摩擦系数、低磨损率和优异的抗腐蚀性能。添加Cr元素后,可以调节高硬度类石墨膜的硬度和韧性,并能提高膜基结合强度,Cr含量在一定范围内,膜基结合强度能够达到非常理想的结果,而且具有良好的摩擦磨损性能。在一定载荷范围内,类石墨膜的摩擦系数随着载荷的提高而降低。DLC膜具有抗磨减摩的特性,是一种具有广阔应用前景的抗磨减摩镀层。 奉贤区刃具DLC涂层厂DLC薄膜的性能及常见制备方法。
在DLC薄膜应用的过程中,选择合适种类的DLC薄膜显得尤为重要。因此,DLC薄膜的分类以及分类标准的制定,直接影响了其在众多领域的应用。而传统的DLC薄膜分类方法通常需要根据DLC薄膜的微结构定量分析来完成。然而,这一方法需要基于大型同步辐射光源的X射线近边吸收精细结构谱(NEXAFS)分析碳元素的成分和状态;需要大型静电加速器的卢瑟福背散射弹性反冲(RBS/ERDA)或者中子源等分析氢元素含量,执行起来非常困难。因此,一般实验条件难以实现对DLC的准确分类,从而导致DLC在应用领域难以实现精细调控和定量研发。
由于DLC属亚稳态的材料,热稳定性差是限制DLC膜应用的一个重要因素,在300°C以上退火时即出现了sp3键向sp2键转变,为此,人们进行了大量的工作试图提高其热稳定性。有研究发现:Si的加入可以明显改善DLC膜的热稳定性,含20 at%Si的DLC膜在740°C退火时才出现sp3键向sp2键转变。同样,金属(如Ti、W、Cr)的掺入也可提高DLC膜的热稳定性,我们正在对这方面进行研究。纯DLC膜具有优异的耐蚀性,各类酸、碱甚至王水都很难侵蚀它。但掺杂有其他元素的DLC膜的耐蚀性有所下降,这是由于掺杂的元素首先被侵蚀,从而破坏了膜的连续性所致。
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DLC薄膜具有优异的电学性能,一般来说,含氢DLC薄膜电阻率比不含氢DLC薄膜的高,可能是由于氢稳定了薄膜中sp3杂化碳相的缘故。哟与DLC中的sp3杂化碳相和薄膜的电阻率有直接的关系,因此沉积工艺和离子束的能量都对DLC薄膜层电阻率有这很大的影响。DLC薄膜的电学特性在准金属与绝缘体之间变化且电阻率对结构变化非常敏感,其电阻率通常为1012-1016Ω?cm;通过掺杂金属或其他非金属元素,可以使DLC电阻率降低几个数量级,这与掺杂诱发薄膜石墨化有关。DLC薄膜的工程化应用工艺设计。金山区铣刀DLC
金刚石薄膜(DLC)的制备方法及应用。金山区不锈钢DLC多少钱
类金刚石薄膜的制备方法根据制备DLC薄膜碳源的不同,可将DLC薄膜的制备方法分为固体靶材为碳源的物相沉积法和含碳气体为碳源的化学气相沉积法。其中DLC薄膜的制备方法和性能也随着相应沉积技术的发展获得改进和提升。传统的气相沉积技术制备薄膜的能量来自于热源。为制备性能更为优异,功能应用多样化的新型特殊薄膜,传统的镀膜技术无法满足实际的需求。为使薄膜达到更优异的性能,逐渐地把各种气体放电技术引入到薄膜材料制备的过程中,进而发展形成了离子镀膜技术。离子镀膜技术能很大程度上增加膜层粒子的离化率,提高膜层粒子的整体能量,终高效地进行薄膜的制备。相应的,对于制备DLC薄膜的两种主要方法也进行了一定程度的补充优化。金山区不锈钢DLC多少钱