类金刚石薄膜通常又被人们称为DLC薄膜，是英文词汇DiamondLikeCarbon的简称，它是一类性质近似于金刚石，具有高硬度.高电阻率.良好光学性能等，同时又具有自身独特摩擦学特性的非晶碳薄膜。碳元素因碳原子和碳原子之间的不同结合方式，从而使其终产生不同的物质:金刚石(diamond)-碳碳以sp3键的形式结合;石墨(graphite)-碳碳以sp2键的形式结合;而如同绪论里所述类金刚石(DLC)-碳碳则是以sp3和sp2键的形式结合，生成的无定形碳的一种亚稳定形态，它没有严格的定义，可以包括很宽性质范围的非晶碳，因此兼具了金刚石和石墨的优良特性;所以由类金刚石而来的DLC膜同样是一种亚稳态长程无序的非晶材料，碳原子间的键合方式是共价键，主要包含sp2和sp3两种杂化键，而在含氢的DLC膜中还存在一定数量的C-H键。由两个相同或不相同的原子轨道沿轨道对称轴方向相互重叠而形成的共价键，叫做σ键。σ键是原子轨道沿轴方向重叠而形成的，具有较大的重叠程度，因此σ键比较稳定。σ键是能围绕对称轴旋转，而不影响键的强度以及键跟键之间的角度(键角)。真空镀DLC膜的膜系结构。浦东DLC工艺

随着发动机技术的发展，特别是中重型柴油机，爆发压力越来越大，以及活塞材料替换为钢质材料，传统工艺的活塞销和连杆极易咬合。另外随着发动机噪音控制标准以及提升功耗的需求，对活塞销与活塞的配合间隙越来越小，传统工艺的活塞销对新的要求难以实现。DLC涂层活塞销，表面的DLC涂层是60%的类金刚石+30~40%C，能有效解决咬合问题，同时C有自润滑性，在润滑不良的状态下仍能有效工作，对以上存在的问题能较好的解决。DLC活塞销突出特点：1、提高载荷承载能力，抗咬合，特别是重型大功率柴油机；2、提高硬度，减少摩损，延长活塞销使用寿命，硬度可以达到HV3000；3、减少摩擦功损失，摩擦系数降低45%；4、降低噪音与排放；5、良好的干摩擦润滑性能；6、与润滑油的兼容性，良好的可湿性。浦东工具DLC公司类金刚石(DLC)膜涂层刀具的硬度高、摩擦系数低、耐摩擦和耐腐蚀性能强、抗粘结性能好。

DLC设备介绍：

一、多弧离子镀硬膜膜设备

1.沉积速率快，蒸发镀膜的膜层光洁度高

2、离化率高，膜层附着力好

3、有效镀膜区域￠650X1100，可以容纳750X1250X600的超大模具和齿轮厂家的超长拉刀，具有非常大的容积

应用于刀具、模具、大型镜面模、塑胶模、滚齿刀等产品的镀制

备注：真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做

二、类金刚石镀膜设备：

类金刚石镀膜设备应用于应用于模具、汽车、医疗、纺织、缝纫设备以及无油润滑和耐磨损零件的表面涂层等。

备注：真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做。

纳米压印是一种理想的光刻技术,它具有生产率和分辨率高的特点.脱模过程中,粘连限制了图形的精确转移,因此,抗粘连成为纳米压印技术需要解决的关键问题.氟化自组装单分子层是一种被多种应用的抗粘连涂层,介绍和分析了其在耐热性和降解方面的新的研究进展.介绍了类金刚石碳膜、在光刻胶上喷涂脱模剂和含氟表面活化剂在纳米压印抗粘连研究上的进展,分析了这些方法所存在的问题及纳米压印抗粘连的发展趋势.上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。DLC涂层的高硬度 低摩擦性能突出。

DLC薄膜制备技术的研究开始于七十年代。1971年Aisenberg和Chabot成功地利用碳离子束沉积出DLC薄膜以来，离子束沉积法(Ionbeamdeposition)是开始用于制备DLC膜。其后研究者发现了一系列生成DLC薄膜的办法。Maissel等在《薄膜工艺手册》一书中指出，大多数能够在气相中沉积的薄膜材料也能在液相中通过电化学方法合成，反之亦然。给DLC薄膜的制备带来了新的思路，现在除了常见的化学气相沉积(CVD)和物相沉积(PVD)，也可以通过液相的电化学沉积来制备DLC膜。因此通常在两个电极之间施加很高的电压，即利用强电场使溶液中的C-H、C-O和O-H等键发生断裂生成碳碎片，从而使含碳的成分以极性基团或离子的形式到达基片，并且在基片所处的高电位下得以活化，进而生成含一定sp3成分的类金刚石薄膜。DLC膜的性能包括了哪些？杭州铣刀DLC

大多数提升式配气机构的发动机采用类金刚石碳(DLC)涂层挺杆。浦东DLC工艺

为提高纺织机高速纺纱工况下钢丝圈表面的磨损性能,采用直流等离子气相沉积法在钢丝圈表面制备类金刚石涂层(DLC),采用原位扫描探针显微镜观测涂层表面形貌,测量并计算涂层硬度.结果发现,DLC涂层颗粒粒径约为100nm,呈岛状聚集分布,硬度约为18GPa.采用球-盘式摩擦试验机研究DLC涂层在不同载荷(20～100N)和不同转速(100～600r/min)条件下的摩擦特性.结果表明,在低载高速的条件下,DLC涂层具有良好的耐磨特性,符合钢丝圈的实际工况.采用傅里叶变换红外光谱分析涂层的磨损机制,结果发现,在摩擦磨损过程中从薄膜中释放出来的氢和涂层的剪切变形引起了DLC薄膜的石墨化SP3/SP2转变,从而降低了摩擦因数和磨损率.上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。浦东DLC工艺